The utility model discloses an oil diffusion pump for preventing oil flooding, which comprises a pump body, a steam conduit, an oil filling tank, a diffusion nozzle, a jet nozzle and an outlet pipe. The pump body is provided with an oil filling tank, a steam conduit is arranged above the oil filling tank, a jet nozzle is arranged on the right side of the steam conduit, the jet nozzle is connected with an outlet pipe, and the lower part of the oil filling tank is arranged. A heating device is arranged around the oil filling tank and the heating device. The pump body is wound with a spiral pipe, and one end of the spiral pipe is connected with a refrigeration device. The oil diffusion pump provided by the utility model can prevent oil flooding, and the cooling temperature decreases greatly. The effect of preventing oil flooding of the diffusion pump is obvious. The whole system is reliable and durable, and it is convenient to realize, and the vacuum system of the whole coating machine need not be changed.
【技术实现步骤摘要】
一种防止泛油的油扩散泵
本技术涉及扩散泵
,特别涉及一种防止泛油的油扩散泵。
技术介绍
油扩散泵由于其价格低、使用寿命长,被广泛地应用在真空镀膜机的高真空系统上,为了防止扩散泵的“油蒸汽”进入真空室内,通常在扩散泵的上方加一“水冷障板”。即使如此,扩散泵的“油蒸汽”还会微量地进入真空室内。这种情况我们称之为扩散泵的“泛油”。如果扩散泵的泛油较为严重的话,会影响镀制出“光学薄膜”的性能。主要表现为光学薄膜在基底上的“附着力”,以及薄膜的“激光损伤阈值”的降低。所以高真空镀膜机的制造商们均在努力地设法降低扩散泵的“油蒸汽”进入真空室的“量”,以提高镀制出的光学薄膜的质量。譬如:设计出“光学密封”结构的“水冷障板”,以及在扩散泵的“顶级”的上部加“水冷帽罩”等,但仍然出现有泛油的问题,因此现有的油扩散泵还需要进一步的改进。
技术实现思路
针对上述现有的油扩散泵会有微量的油蒸汽进入真空室内的问题,本技术要解决的技术问题是提供一种防止泛油的油扩散泵。为了解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:一种防止泛油的油扩散泵,包括泵体、蒸汽导管、装油槽、扩散喷嘴、喷射喷嘴和出气管,所述泵体内设置有装油槽,所述装油槽的上方设置有蒸汽导管,所述蒸汽导管的右侧设置有喷射喷嘴,所述喷射喷嘴连接有出气管,所述装油槽的下方设置有加热装置,所述装油槽及加热装置的四周设置有保温装置,所述泵体上缠绕有螺旋管,所述螺旋管的一端连接制冷装置。上述方案的优选方案为:所述制冷装置为氟利昂制冷装置,所述制冷装置的上方设置有送风机,所述送风机连接螺旋管,通过送风机把制冷装置的冷气送螺旋管中,对泵本进行散热 ...
【技术保护点】
1.一种防止泛油的油扩散泵,其特征在于,包括泵体、蒸汽导管、装油槽、扩散喷嘴、喷射喷嘴和出气管,所述泵体内设置有装油槽,所述装油槽的上方设置有蒸汽导管,所述蒸汽导管的右侧设置有喷射喷嘴,所述喷射喷嘴连接有出气管,所述装油槽的下方设置有加热装置,所述装油槽及加热装置的四周设置有保温装置,所述泵体上缠绕有螺旋管,所述螺旋管的一端连接制冷装置。
【技术特征摘要】
1.一种防止泛油的油扩散泵,其特征在于,包括泵体、蒸汽导管、装油槽、扩散喷嘴、喷射喷嘴和出气管,所述泵体内设置有装油槽,所述装油槽的上方设置有蒸汽导管,所述蒸汽导管的右侧设置有喷射喷嘴,所述喷射喷嘴连接有出气管,所述装油槽的下方设置有加热装置,所述装油槽及加热装置的四周设置有保温装置,所述泵体上缠绕有螺旋管,所述螺旋管的一端连接制冷装置。2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱民稷,
申请(专利权)人:苏州市唯嘉光学有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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