一种防止泛油的油扩散泵制造技术

技术编号:20985383 阅读:34 留言:0更新日期:2019-04-29 19:51
本实用新型专利技术公开了一种防止泛油的油扩散泵,包括泵体、蒸汽导管、装油槽、扩散喷嘴、喷射喷嘴和出气管,所述泵体内设置有装油槽,所述装油槽的上方设置有蒸汽导管,所述蒸汽导管的右侧设置有喷射喷嘴,所述喷射喷嘴连接有出气管,所述装油槽的下方设置有加热装置,所述装油槽及加热装置的四周设置有保温装置,所述泵体上缠绕有螺旋管,所述螺旋管的一端连接制冷装置。本实用新型专利技术所提供的一种防止泛油的油扩散泵,冷却温度降低较大,防止扩散泵泛油的效果明显,整个系统可靠、耐用,实现起来比较方便,不必对整个镀膜机的真空系统作改动。

An Oil Diffusion Pump to Prevent Oil Flooding

The utility model discloses an oil diffusion pump for preventing oil flooding, which comprises a pump body, a steam conduit, an oil filling tank, a diffusion nozzle, a jet nozzle and an outlet pipe. The pump body is provided with an oil filling tank, a steam conduit is arranged above the oil filling tank, a jet nozzle is arranged on the right side of the steam conduit, the jet nozzle is connected with an outlet pipe, and the lower part of the oil filling tank is arranged. A heating device is arranged around the oil filling tank and the heating device. The pump body is wound with a spiral pipe, and one end of the spiral pipe is connected with a refrigeration device. The oil diffusion pump provided by the utility model can prevent oil flooding, and the cooling temperature decreases greatly. The effect of preventing oil flooding of the diffusion pump is obvious. The whole system is reliable and durable, and it is convenient to realize, and the vacuum system of the whole coating machine need not be changed.

【技术实现步骤摘要】
一种防止泛油的油扩散泵
本技术涉及扩散泵
,特别涉及一种防止泛油的油扩散泵。
技术介绍
油扩散泵由于其价格低、使用寿命长,被广泛地应用在真空镀膜机的高真空系统上,为了防止扩散泵的“油蒸汽”进入真空室内,通常在扩散泵的上方加一“水冷障板”。即使如此,扩散泵的“油蒸汽”还会微量地进入真空室内。这种情况我们称之为扩散泵的“泛油”。如果扩散泵的泛油较为严重的话,会影响镀制出“光学薄膜”的性能。主要表现为光学薄膜在基底上的“附着力”,以及薄膜的“激光损伤阈值”的降低。所以高真空镀膜机的制造商们均在努力地设法降低扩散泵的“油蒸汽”进入真空室的“量”,以提高镀制出的光学薄膜的质量。譬如:设计出“光学密封”结构的“水冷障板”,以及在扩散泵的“顶级”的上部加“水冷帽罩”等,但仍然出现有泛油的问题,因此现有的油扩散泵还需要进一步的改进。
技术实现思路
针对上述现有的油扩散泵会有微量的油蒸汽进入真空室内的问题,本技术要解决的技术问题是提供一种防止泛油的油扩散泵。为了解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:一种防止泛油的油扩散泵,包括泵体、蒸汽导管、装油槽、扩散喷嘴、喷射喷嘴和出气管,所述泵体内设置有装油槽,所述装油槽的上方设置有蒸汽导管,所述蒸汽导管的右侧设置有喷射喷嘴,所述喷射喷嘴连接有出气管,所述装油槽的下方设置有加热装置,所述装油槽及加热装置的四周设置有保温装置,所述泵体上缠绕有螺旋管,所述螺旋管的一端连接制冷装置。上述方案的优选方案为:所述制冷装置为氟利昂制冷装置,所述制冷装置的上方设置有送风机,所述送风机连接螺旋管,通过送风机把制冷装置的冷气送螺旋管中,对泵本进行散热,防止油蒸汽进入真空室内。上述方案的优选方案为:所述螺旋管一端连接有废气收集装置,对螺旋管的废气进行收集处理,防止造成空气污染。上述方案的优选方案为:所述装油槽内设置有挡板,所述挡板的上方设置有拉杆,所述拉杆的前端设置有活塞,所述活塞与挡板固定连接,通过拉杆来控制油扩散泵的工作,操作方便。有益效果:本技术的一种防止泛油的油扩散泵,制冷装置为氟利昂制冷装置,氟利昂制冷装置的上方设置有送风机,送风机连接螺旋管,通过送风机把氟利昂制冷装置的冷气送螺旋管中,对泵体进行散热,可以达到零下20度的低温,防止油蒸汽进入真空室内,从而可以有效的防止泛油。本技术所提供的一种防止泛油的油扩散泵,冷却温度降低较大,防止扩散泵泛油的效果明显,整个系统可靠、耐用,实现起来比较方便,不必对整个镀膜机的真空系统作改动。附图说明图1为本技术一种防止泛油的油扩散泵的结构示意图。图中:1-泵体,2-进气口,3-拉杆,4-蒸汽导管,5-喷射喷嘴,6-出气管,7-废气收集装置,8-保温装置,9-加热装置,10-装油槽,11-挡板,12-活塞,13-扩散喷嘴,14-螺旋管,15-制冷装置,16-送风机。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进,因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图1所示,本技术提供了一种防止泛油的油扩散泵,包括泵体1、蒸汽导管4、装油槽10、扩散喷嘴13、喷射喷嘴5和出气管6,泵体1内设置有装油槽10,装油槽10的上方设置有蒸汽导管4,蒸汽导管4的右侧设置有喷射喷嘴5,喷射喷嘴5连接有出气管6,装油槽10的下方设置有加热装置6,装油槽10及加热装置9的四周设置有保温装置8,泵体1上缠绕有螺旋管14,螺旋管14的一端连接制冷装置15。其中,制冷装置15为氟利昂制冷装置,制冷装置15的上方设置有送风机16,送风机16连接螺旋管14,通过送风机16把制冷装置15的冷气送螺旋管中,对泵本进行散热,防止油蒸汽进入真空室内。其中,螺旋管14一端连接有废气收集装置7,对螺旋管的废气进行收集处理,防止造成空气污染。其中,装油槽10内设置有挡板11,挡板11的上方设置有拉杆3,拉杆3的前端设置有活塞12,活塞12与挡板12固定连接,通过拉杆来控制油扩散泵的工作,操作方便。由上所述,本技术达到了如下技术效果:冷却温度降低较大,防止扩散泵泛油的效果明显,整个系统可靠、耐用,实现起来比较方便,不必对整个镀膜机的真空系统作改动。以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对技术专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本技术构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本技术的保护范围。因此,本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种防止泛油的油扩散泵,其特征在于,包括泵体、蒸汽导管、装油槽、扩散喷嘴、喷射喷嘴和出气管,所述泵体内设置有装油槽,所述装油槽的上方设置有蒸汽导管,所述蒸汽导管的右侧设置有喷射喷嘴,所述喷射喷嘴连接有出气管,所述装油槽的下方设置有加热装置,所述装油槽及加热装置的四周设置有保温装置,所述泵体上缠绕有螺旋管,所述螺旋管的一端连接制冷装置。

【技术特征摘要】
1.一种防止泛油的油扩散泵,其特征在于,包括泵体、蒸汽导管、装油槽、扩散喷嘴、喷射喷嘴和出气管,所述泵体内设置有装油槽,所述装油槽的上方设置有蒸汽导管,所述蒸汽导管的右侧设置有喷射喷嘴,所述喷射喷嘴连接有出气管,所述装油槽的下方设置有加热装置,所述装油槽及加热装置的四周设置有保温装置,所述泵体上缠绕有螺旋管,所述螺旋管的一端连接制冷装置。2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱民稷
申请(专利权)人:苏州市唯嘉光学有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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