一种砷烷/磷烷废气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种砷烷/磷烷废气处理装置，属于废气处理技术领域。本实用新型专利技术的砷烷/磷烷处理装置，包括储液箱、设置于储液箱上并与储液箱连通的进样装置、净化塔、喷淋系统；进样装置包括两端开口的连接器，连接器的顶端设有进气口和进液口，连接器通过储液箱的上部空间与净化塔连通；喷淋系统包括与储液箱连通的循环泵、连通管道、第一喷头区、第二喷头区；净化塔的底部结构为带孔的档板；净化塔内设有第一隔板和第二隔板将净化塔分割为一级净化塔和二级净化塔；一级净化塔和二级净化塔内均装有填料；一级净化塔中的填料的上方设有第一喷头区；二级净化塔中填料的上方设有第二喷头区。本实用新型专利技术的处理装置对废气的处理效率高。

An Arsene/Phosphane Waste Gas Processing Unit

The utility model relates to an arsene/phosphane waste gas treatment device, which belongs to the technical field of waste gas treatment. The arsene/phosphine treatment device of the utility model comprises a liquid storage tank, a sampling device, a purification tower and a spray system which are arranged in the liquid storage tank and connected with the liquid storage tank; the sampling device comprises a connector with two openings at both ends; the top of the connector is provided with an air inlet and a liquid inlet; the connector is connected with the purification tower through the upper space of the liquid storage tank; the spray system includes a circulation connected with the liquid storage tank. Pump, connecting pipeline, first sprinkler area and second sprinkler area; the bottom structure of purification tower is baffle with holes; the purification tower is divided into primary purification tower and secondary purification tower with first and second baffles; both primary purification tower and secondary purification tower are filled with fillers; the first sprinkler area is above the fillers in the first purification tower; the fillers in the second purification tower are arranged on the top of the fillers. There is a second nozzle area on the side. The treatment device of the utility model has high efficiency for treating waste gas.

【技术实现步骤摘要】
一种砷烷/磷烷废气处理装置
本技术涉及一种砷烷/磷烷废气处理装置，属于废气处理

技术介绍
砷烷、磷烷是对人体有剧毒的物质，医学毒理研究表明成人吸入250ppm的砷烷、磷烷气体便会迅速死亡，而暴露在30ppm的砷烷、磷烷中30分钟亦可致命。长期暴露在10ppm的砷烷、磷烷也可致命。暴露于0.5ppm的砷烷、磷烷后出现中毒症状。国家环保标准，环境中的砷烷、磷烷最高允许高度为5×10-8。砷烷主要产生于半导体工业生产中厂炉管、离子植入制程、MOCVD制程的尾气中。而磷烷主要产生于乙炔生产、黄磷生产、饲料发酵等方面的尾气中。单独处理尾气中的砷烷或磷烷的方法很多。现有技术中常采用高锰酸钾溶液处理含砷烷/磷烷的废气，将高锰酸钾溶液自上而下喷淋与含砷烷/磷烷的废气在喷淋塔内接触吸收，采用高锰酸钾氧化法处理含砷废气，但是高锰酸钾与含砷废气进行氧化还原反应的时会产生锰的结晶物堵塞喷淋系统填料，造成设备停产。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种砷烷/磷烷废气处理装置，利用该装置处理废气中的砷烷/磷烷效率高达99％。为实现上述目的，本技术的技术方案是：一种砷烷/磷烷废气处理装置，包括储液箱、设置于所述储液箱上并与所述储液箱连通的进样装置、净化塔、喷淋系统；所述进样装置包括两端开口的连接器，所述连接器的顶端设有进气口和进液口，所述连接器通过所述储液箱的上部空间与所述净化塔连通；所述喷淋系统包括与所述储液箱连通的循环泵、连通管道、第一喷头区、第二喷头区；所述净化塔的底部结构为带孔的档板以实现所述净化塔与所述储液箱气液的流通；所述净化塔内设有第一隔板和第二隔板将所述净化塔分割为一级净化塔和二级净化塔；所述一级净化塔和二级净化塔内均装有填料；所述一级净化塔中的填料的上方设有所述第一喷头区；所述二级净化塔中填料的上方设有所述第二喷头区。进一步的，上述连接器优选为锥形连接器。进一步优选为锥形连接瓶。所述储液箱上安装有pH传感器、温度传感器和ORP(氧化还原电位)传感器。所述档板上的孔的孔径小于所述填料的直径。所述孔既能实现气液的流通而不能使填料通过。填料可以增大气液接触面积及分散气流，加大喷淋设备对废气的处理效率。所述一级净化塔和二级净化塔串联连接。所述连通管道上设有温度控制装置。由于温度会影响吸收液的pH，进而影响吸收液对废气的处理效果，本技术在吸收液流通的管道上设置温度控制器，用于控制吸收液的温度，保证吸收液作用于废气时具有好的净化效果。所述第一隔板和所述第二隔板之间的空间形成气道供气体流通。所述第一隔板与所述净化塔的顶端之间有空隙；所述第二隔板与所述净化塔的顶端接触。所述第一隔板的下端由所述净化塔延伸至所述储液箱中的液面以下。所述第一隔板将储液箱中吸收液的上部空间割成第一通道和第二通道；第一通道连通与一级净化塔相通，第二通道与二级净化塔相连通。所述第二喷头区的上方设有除雾器，所述除雾器的上方设有与外界连通的排气口。循环液在经喷淋系统喷出后形成小液滴，大部分的小液滴会喷洒在填料上，但有一小部分小液滴会随着气流由排气口排出，除雾器可以收集这部分小液滴，不让循环液排出污染环境。所述第一喷头区由三个以上的喷头组成。所述第二喷头区由三个以上的喷头组成。所述喷淋系统还包括设置于所述连通管道与所述进液口之间的支液管。所述储液箱内装有吸收液，所述吸收液为次氯酸钠溶液。上述次氯酸钠溶液在室温下均可与磷烷或砷烷发生氧化还原反应，生成相应的磷的氧化物或砷的氧化物，该氧化物溶于水，不会产生沉淀物，也不会产生结晶物等堵塞喷淋系统，能够连续地对废气进行处理。所述吸收液的ORP值为600～1000；所述吸收液的pH为7～9；所述吸收液的温度为18～25℃。吸收液的ORP值、pH及温度均会影响吸收液对砷烷/磷烷的处理效果，上述通过严格控制吸收液的ORP值、pH及温度保证废气中砷烷/磷烷的处理效果，使净化后的废气能够直接排出符合国家标准。所述储液箱上还安装有ORP调节装置和pH调节装置。当通过pH传感器、OPR传感器监测到储液箱中的吸收液的pH及ORP值超出一定范围时，通过pH调节装置加入磷酸或氢氧化钠调节pH使其满足条件，通过ORP调节装置加入次氯酸钠以使ORP值达到要求，以保证对废气中砷烷/磷烷的净化效果。本技术的砷烷/磷烷废气处理装置，废气从进气口通入进样装置，同时通过循环泵将储液箱中的吸收液输送至进液口进入进样装置，废气和吸收液在进样装置中达到气液混合，砷烷/磷烷与吸收液发生氧化还原反应，废气得到初步的净化；储液箱中的吸收液通过循环泵进入到喷头，通过喷头雾化后喷洒至填料腔内；上述初步净化后的废气进入填料腔与填料表面的吸收液进一步发生氧化还原反应，废气得到进一步净化。采用本技术的砷烷/磷烷废气处理装置进行处理，具体为：废气从进气口通入进样装置，同时通过循环泵将储液箱中的吸收液输送至进液口进入进样装置，废气和吸收液在进样装置中达到气液混合，砷烷/磷烷与吸收液发生氧化还原反应，废气得到初步的净化；储液箱中的吸收液通过循环泵进入到第一喷头区和第二喷头区，通过第一喷头区/第二喷头区雾化后喷洒至一级净化塔和二级净化塔的填料表面；上述初步净化后的废气通过第一通道进入一级净化塔与填料表面的吸收液进一步发生氧化还原反应，废气得到二次净化；之后，二次净化后的废气通过第二通道进入二级净化塔，进行三次净化，净化后的气体经除雾器除雾后由排气口排出。本技术的砷烷/磷烷废气处理装置结构简单，对温度、pH、ORP值实施严格的监测，达到吸收液与废气充分发生还原反应的最佳条件，保证废气的处理效率，使处理后的废气能够直接排出，符合国家标准的规定。本技术的砷烷/磷烷废气处理装置，简单可行，相比于现有技术具有以下优势：1)采用次氯酸钠作为吸收液，在与废气中的砷烷/磷烷发生氧化还原反应时不会产生沉淀物及颗粒物，无重金属锰，无锰的结晶物产生，避免锰的结晶物堵塞喷淋系统，造成设备停产，且影响设备使用寿命；2)本技术处理装置中采用多功能进气口，既包括进气口又包括进液口，在进样装置中实现气液混合，提高废气的处理效率；3)本技术的处理装置增设温度传感器，实时检测吸收液的温度，同时增加循环液温度控制装置，保证吸收液温度恒定，进而保证吸收液pH的稳定，最终保证废气的处理效率。采用本技术的砷烷/磷烷废气处理装置，对废气进行多次净化，对砷烷/磷烷的净化效率达99％以上，具有较好的应用前景。附图说明图1为本技术实施例中的砷烷/磷烷废气处理的结构示意图。图中零部件名称及编号分别为：储液箱1喷淋系统2进样装置3净化塔4pH传感器11ORP传感器12温度传感器13pH调节装置14ORP调节装置15循环泵21连通管道22第一喷头区23第二喷头区24支液管25锥形连接器31进气口32进液口33挡板41第一隔板42第二隔板43一级净化塔44二级净化塔45气道46填料47除雾器48排气口49温度控制装置5第一通道6第二通道7具体实施方式现在结合附图对本技术作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。请参阅图1，本技术实施例提供了一种砷烷/磷烷废气处理装置，包括储液箱1、喷淋系统2、进样本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，包括储液箱、设置于所述储液箱上并与所述储液箱连通的进样装置、净化塔、喷淋系统；所述进样装置包括两端开口的连接器，所述连接器的顶端设有进气口和进液口，所述连接器通过所述储液箱的上部空间与所述净化塔连通；所述喷淋系统包括与所述储液箱连通的循环泵、连通管道、第一喷头区、第二喷头区；所述净化塔的底部结构为带孔的档板以实现所述净化塔与所述储液箱气液的流通；所述净化塔内设有第一隔板和第二隔板将所述净化塔分割为一级净化塔和二级净化塔；所述一级净化塔和二级净化塔内均装有填料；所述一级净化塔中的填料的上方设有所述第一喷头区；所述二级净化塔中填料的上方设有所述第二喷头区。

【技术特征摘要】
1.一种砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，包括储液箱、设置于所述储液箱上并与所述储液箱连通的进样装置、净化塔、喷淋系统；所述进样装置包括两端开口的连接器，所述连接器的顶端设有进气口和进液口，所述连接器通过所述储液箱的上部空间与所述净化塔连通；所述喷淋系统包括与所述储液箱连通的循环泵、连通管道、第一喷头区、第二喷头区；所述净化塔的底部结构为带孔的档板以实现所述净化塔与所述储液箱气液的流通；所述净化塔内设有第一隔板和第二隔板将所述净化塔分割为一级净化塔和二级净化塔；所述一级净化塔和二级净化塔内均装有填料；所述一级净化塔中的填料的上方设有所述第一喷头区；所述二级净化塔中填料的上方设有所述第二喷头区。2.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，所述储液箱上安装有pH传感器、温度传感器和ORP传感器。3.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，所述连通管道上设有温度控制装置。4.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装...

【专利技术属性】
技术研发人员：付华良，刘艳云，颜瑞，潘学明，王家璇，
申请(专利权)人：常州纺织服装职业技术学院，常州绿为环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32