The utility model relates to an arsene/phosphane waste gas treatment device, which belongs to the technical field of waste gas treatment. The arsene/phosphine treatment device of the utility model comprises a liquid storage tank, a sampling device, a purification tower and a spray system which are arranged in the liquid storage tank and connected with the liquid storage tank; the sampling device comprises a connector with two openings at both ends; the top of the connector is provided with an air inlet and a liquid inlet; the connector is connected with the purification tower through the upper space of the liquid storage tank; the spray system includes a circulation connected with the liquid storage tank. Pump, connecting pipeline, first sprinkler area and second sprinkler area; the bottom structure of purification tower is baffle with holes; the purification tower is divided into primary purification tower and secondary purification tower with first and second baffles; both primary purification tower and secondary purification tower are filled with fillers; the first sprinkler area is above the fillers in the first purification tower; the fillers in the second purification tower are arranged on the top of the fillers. There is a second nozzle area on the side. The treatment device of the utility model has high efficiency for treating waste gas.
【技术实现步骤摘要】
一种砷烷/磷烷废气处理装置
本技术涉及一种砷烷/磷烷废气处理装置,属于废气处理
技术介绍
砷烷、磷烷是对人体有剧毒的物质,医学毒理研究表明成人吸入250ppm的砷烷、磷烷气体便会迅速死亡,而暴露在30ppm的砷烷、磷烷中30分钟亦可致命。长期暴露在10ppm的砷烷、磷烷也可致命。暴露于0.5ppm的砷烷、磷烷后出现中毒症状。国家环保标准,环境中的砷烷、磷烷最高允许高度为5×10-8。砷烷主要产生于半导体工业生产中厂炉管、离子植入制程、MOCVD制程的尾气中。而磷烷主要产生于乙炔生产、黄磷生产、饲料发酵等方面的尾气中。单独处理尾气中的砷烷或磷烷的方法很多。现有技术中常采用高锰酸钾溶液处理含砷烷/磷烷的废气,将高锰酸钾溶液自上而下喷淋与含砷烷/磷烷的废气在喷淋塔内接触吸收,采用高锰酸钾氧化法处理含砷废气,但是高锰酸钾与含砷废气进行氧化还原反应的时会产生锰的结晶物堵塞喷淋系统填料,造成设备停产。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种砷烷/磷烷废气处理装置,利用该装置处理废气中的砷烷/磷烷效率高达99%。为实现上述目的,本技术的技术方案是:一种砷烷/磷烷废气处理装置,包括储液箱、设置于所述储液箱上并与所述储液箱连通的进样装置、净化塔、喷淋系统;所述进样装置包括两端开口的连接器,所述连接器的顶端设有进气口和进液口,所述连接器通过所述储液箱的上部空间与所述净化塔连通;所述喷淋系统包括与所述储液箱连通的循环泵、连通管道、第一喷头区、第二喷头区;所述净化塔的底部结构为带孔的档板以实现所述净化塔与所述储液箱气液的流通;所述净化塔内设有第一隔板和第二隔板将所述净化塔分割为 ...
【技术保护点】
1.一种砷烷/磷烷废气处理装置,其特征在于,包括储液箱、设置于所述储液箱上并与所述储液箱连通的进样装置、净化塔、喷淋系统;所述进样装置包括两端开口的连接器,所述连接器的顶端设有进气口和进液口,所述连接器通过所述储液箱的上部空间与所述净化塔连通;所述喷淋系统包括与所述储液箱连通的循环泵、连通管道、第一喷头区、第二喷头区;所述净化塔的底部结构为带孔的档板以实现所述净化塔与所述储液箱气液的流通;所述净化塔内设有第一隔板和第二隔板将所述净化塔分割为一级净化塔和二级净化塔;所述一级净化塔和二级净化塔内均装有填料;所述一级净化塔中的填料的上方设有所述第一喷头区;所述二级净化塔中填料的上方设有所述第二喷头区。
【技术特征摘要】
1.一种砷烷/磷烷废气处理装置,其特征在于,包括储液箱、设置于所述储液箱上并与所述储液箱连通的进样装置、净化塔、喷淋系统;所述进样装置包括两端开口的连接器,所述连接器的顶端设有进气口和进液口,所述连接器通过所述储液箱的上部空间与所述净化塔连通;所述喷淋系统包括与所述储液箱连通的循环泵、连通管道、第一喷头区、第二喷头区;所述净化塔的底部结构为带孔的档板以实现所述净化塔与所述储液箱气液的流通;所述净化塔内设有第一隔板和第二隔板将所述净化塔分割为一级净化塔和二级净化塔;所述一级净化塔和二级净化塔内均装有填料;所述一级净化塔中的填料的上方设有所述第一喷头区;所述二级净化塔中填料的上方设有所述第二喷头区。2.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装置,其特征在于,所述储液箱上安装有pH传感器、温度传感器和ORP传感器。3.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装置,其特征在于,所述连通管道上设有温度控制装置。4.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装...
【专利技术属性】
技术研发人员:付华良,刘艳云,颜瑞,潘学明,王家璇,
申请(专利权)人:常州纺织服装职业技术学院,常州绿为环保科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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