A miniaturized X-ray array combined refractive lens integrated module includes an X-ray diaphragm for the first shaping and filtering of X-ray beams, an X-ray refractor for the second shaping of X-ray beams into parallel light, an X-ray array combined lens for focusing multiple X-ray sub-beams respectively, and a component bearing platform, which is used for bearing. The X-ray aperture, the X-ray refractor and the X-ray array combined refractive lens are arranged on the same optical axis in turn. The array structure layout of the X-ray array combined refractive lens ensures that the focus spot formed by each sub-beam is in the same position and on the optical axis. The utility model can simultaneously realize high micro-resolution and high sensitivity, and can carry out field analysis.
【技术实现步骤摘要】
一种微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件
本技术涉及X射线探测和成像领域,尤其是一种用于微束X射线荧光分析系统的新型X射线阵列组合折射透镜集成组件。
技术介绍
X射线荧光(XRF,X-RayFluorescence)分析系统能在常压下对各种形态(固态/液态/粉末等)样品进行简单快速、高分辨率和无损的元素定量测量分析。而微束X射线荧光分析系统(micro-XRF)因其具有更高的微区分辨率而受到广泛关注。微束X射线荧光分析系统(micro-XRF)通常都需要配备X射线聚焦器件。使用了X射线聚焦器件的X射线荧光分析系统,虽然微区分辨率大幅度提高(通常可以提高一个数量级以上),但计数率会下降,影响了探测灵敏度。已有技术基于X射线毛细管器件的荧光光谱仪(专利号:201010180956.6),使用X射线毛细管器件进行聚焦,微区分辨率通常只能达到几十微米,不仅微区分辨率不够高,且因计数率下降导致探测灵敏度也有一定程度的降低;同时结构复杂、尺寸庞大,无法实现便携。专利技术人之前也提出了一种便携式微束X射线荧光光谱仪(专利号:201310356270.1,是与本专利技术最接近的已有技术),用X射线组合折射透镜获得探测微束,虽然微区分辨率大幅度提高,但计数率低,影响了探测灵敏度。X射线组合折射透镜是集成型微结构器件,数值口径小,X射线光管发出的光不能全部被组合透镜接收,不仅使得计数率降低、而且浪费了X射线光能量,还增加了噪声。如果能专利技术新的器件结构,尽可能多的利用X射线光管发出的X射线光,则不仅能大幅度增加计数率、进而提高探测灵敏度,同时还能降低能耗、减小噪声。专利技术 ...
【技术保护点】
1.一种微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件,其特征在于,所述集成组件包括用于进行X射线光束第一次整形和滤波的X射线光阑、用于进行X射线光束第二次整形为类平行光的X射线折光器、用于对入射的多个X射线子光束分别进行聚焦的X射线阵列组合透镜和组件承载台,所述组件承载台用于承载所述X射线光阑、X射线折光器和X射线阵列组合折射透镜,所述X射线光阑、X射线折光器和X射线阵列组合折射透镜依次位于同一光轴上,所述X射线阵列组合折射透镜的阵列结构布局,保证每一个子光束所形成的聚焦焦斑在同一位置并位于光轴上。
【技术特征摘要】
1.一种微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件,其特征在于,所述集成组件包括用于进行X射线光束第一次整形和滤波的X射线光阑、用于进行X射线光束第二次整形为类平行光的X射线折光器、用于对入射的多个X射线子光束分别进行聚焦的X射线阵列组合透镜和组件承载台,所述组件承载台用于承载所述X射线光阑、X射线折光器和X射线阵列组合折射透镜,所述X射线光阑、X射线折光器和X射线阵列组合折射透镜依次位于同一光轴上,所述X射线阵列组合折射透镜的阵列结构布局,保证每一个子光束所形成的聚焦焦斑在同一位置并位于光轴上。2.如权利要求1所述的微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件,其特征在于,所述X射线光阑中,接收并进行第一次整形和滤波,所述第一次整形是指依据所述X射线阵列组合折射透镜的数值口径,对入射X射线光波进行整形;所述滤波是指将入射X射线光波分裂形成多个子光束,子光束的数目与X射线阵列组合折射透镜中的组合折射透镜数目相同。3.如权利要求1或2所述的微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件,其特征在于,所述X射线折光器中,接收已分裂成多个子光束的X射线光波并进行光束第二次整形,所述光束的第二次整形保证从X射线折光器出射的多个X射线子光束,均以类平行光的方式入射阵列中对应的X射线组合折射透镜。4.如权利要求1或2所述的微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件,其特征在于,所述X射线阵列组合折射透镜包含(M+1)个X射线组合折射透镜,所述M为正整数且为偶数,所述X射线阵列组合折射透镜沿其光轴呈轴对称分布,所述X射线阵列组合折射透镜的光轴与阵列中零级X射线组合折射透镜的光轴重合,所述X射线阵列组合折射透镜的光轴与阵列中的正负一级X射线组合折射透镜的光轴夹角为θ,所述X射线阵列组合折射透镜的光轴与阵列中的正负二级X射线组合折射透镜的光轴夹角为2θ,依此类推;所述X射线阵列组合折射透镜中(M+1)个组合折射透镜的布局结构,使得所有(M+1)个X射线组合折射透镜聚焦的焦斑在相同位置,且位于光轴上。5.如权利要求4所述的微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件,其特征在于,所述(M+1)个X射线组合折射透镜的结构和性能参数,依据下列公式得出:X射线波段的光学常数:n=1-δ+iβ(1)X射线组合折射透镜的焦距:X射线组合折射透镜的焦斑尺寸:X射线组合折射透镜的数值口径:其中n代表光学常数,δ代表X射线波段材料的折射,β代表X射线波段材料的吸收,N代表X射线组合折射透镜中折射单元的个数,以抛物面型折射单元为例,组合折射透镜抛物面顶点的曲率半径为R,抛物面的开口尺寸为R0,f代表X射线组合折射透镜的焦距,...
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