多轮组系统的主轮直径检知方法技术方案

一种多轮组系统的主轮直径检知方法，包含下列步骤:(A)设定线材最终跑线于所述多轮组系统的线速度目标值VT，再针对主轮输入假定直径RS。(B)量测固定直径转动件的转速，以获得所述线材运行于所述多轮组系统的线速度真实值VR。(C)检知所述线速度目标值VT与所述线速度真实值VR是否满足VT/VR＝1，若否，则修正所述假定直径RS并重回到步骤(A)，若是，则所输入的所述假定直径RS确实为所述主轮的真实直径Rr。将本发明专利技术应用于晶圆切片机的多轮组系统时，能借通过明确得知主轮真实直径值，而使所述多轮组系统于跑线过程中缩减张力轮发生位移的机会，以利所述多轮组系统发展高线速制程。

Main Wheel Diameter Detection Method for Multi-Wheel Group System

A method for checking the diameter of the main wheel of a multi-wheel group system includes the following steps: (A) setting the final running line of the wire rod to the target value VT of the linear speed of the multi-wheel group system, and then inputting the assumed diameter RS for the main wheel. (B) Measure the rotational speed of a fixed diameter rotating member to obtain the true value VR of the linear speed of the wire rod running in the multi-wheel group system. (C) Check whether the target value of linear velocity VT and the true value of linear velocity VR satisfy VT/VR=1. If not, correct the assumed diameter RS and return to step A. If so, the assumed diameter RS input is indeed the true diameter Rr of the main wheel. When the invention is applied to the multi-wheel group system of a wafer microtome, by clearly knowing the true diameter value of the main wheel, the multi-wheel group system can reduce the chance of the tension wheel displacement in the running process, so as to facilitate the multi-wheel group system to develop the high-speed production process.

【技术实现步骤摘要】
多轮组系统的主轮直径检知方法
本专利技术涉及一种检知方法，特别是涉及一种多轮组系统的主轮直径检知方法。
技术介绍
参阅图1与图2，现有多轮组系统的主轮直径检知方法(在此以晶圆切片机的多轮组系统为例说明)，该多轮组系统9包括两个主轮91、位于所述主轮91两相反侧的一个第一张力轮92与一个第二张力轮93、位于该第一、第二张力轮92、93两相反侧的一个第一线辊轮94与一个第二线辊轮95，及一个运行于所述主轮91、该第一张力轮92、该第二张力轮93、该第一线辊轮94与该第二线辊轮95的线材96。该多轮组系统9还包括两个分别与该第一张力轮92与该第二张力轮93连接的松紧调节装置97，所述松紧调节装置97分别用于改变所对应的该第一、第二张力轮92、93的位置，借此调节该线材96本身的张力。图2所示的松紧调节装置97是钟摆式。现有多轮组系统的主轮直径检知方法包含下列步骤:步骤一S100：设定该线材96最终跑线于该多轮组系统9的一个线速度目标值VT，输入该线材96绕过所述主轮91后的一个假定直径RS(这边所述假定直径RS是一个输入值，并非真实量测值)，然后推算所述主轮91的转速。所述「输入」是指把一个数值设定至该多轮组系统9的跑线控制编程中。步骤二S200：让该线材96运行于该多轮组系统9。此时该线材96是以单一方向移动，例如是自该第二线辊轮95经所述主轮91往该第一线辊轮94移动(如图2中实心箭头所示)，其中，原绕设于该第二线辊轮95的该线材96不断远离该第二线辊轮95，该第一线辊轮94不断将朝其运行的该线材96卷收于其上，应能理解的是，位于该多轮组系统9中的所述主轮91、该第一张力轮92、该第二张力轮93、该第一线辊轮94或该第二线辊轮95均会依各自直径不同而有不同的转速。步骤三S300：检知位于所述主轮91与该第一线辊轮94间的该第一张力轮92是否偏移原预设位置，若是，则依照该第一张力轮92的偏移量与偏移方向去修正该第一线辊轮94的直径，再回到步骤二S200，其中所述修正该第一线辊轮94的直径是指在跑线控制编程中修正该第一线辊轮94的直径参数；若否，则该第一张力轮92会维持在原处而不会偏移，此时，所述主轮91与该第一线辊轮94是同步转动状态，该线材96离开于所述主轮91的线量等于该线材96卷收于该第一线辊轮94的线量，且该多轮组系统9于跑线过程中呈稳定状态，该线材96趋于一个固定线速度。上述现有多轮组系统的主轮直径检知方法，只能使该多轮组系统9趋于稳态，该固定线速度并不一定等同于步骤一S100中所设定的线速度目标值VT，所输入的该假定直径RS也无法确认是否为该线材96绕过所述主轮91后的真正直径，补充说明的是，每一个主轮91在使用上，其外表面会包覆一层包覆材，该包覆材上会形成凹沟供该线材96来回移动，因此，对于每一个主轮91而言，在径向上该线材96位于凹沟何处便会影响主轮91的真正直径。由于知道主轮91真实直径后，该多轮组系统9于跑线过程中能缩减该第一张力轮92发生位移的机会，以利于该多轮组系统9发展高线速切割制程。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能获得主轮真实直径的多轮组系统的主轮直径检知方法。本专利技术的多轮组系统的主轮直径检知方法，所述多轮组系统包括均能转动的主轮、固定直径转动件，及线材，所述线材绕过所述主轮及所述固定直径转动件且随所述主轮与所述固定直径转动件的运转而移动。所述多轮组系统的主轮直径检知方法包含下列步骤:(A)针对主轮输入假定直径:设定所述线材于所述多轮组系统的线速度目标值VT，再针对具真实直径Rr的所述主轮输入假定直径RS。(B)量测固定直径转动件的转速:量测所述固定直径转动件的转速，以得所述线材运行于所述多轮组系统的线速度真实值VR。(C)检知所述线速度目标值VT与所述线速度真实值VR是否满足下列条件:VT/VR＝1，其中，若VT/VR<1，则调高所述假定直径RS，若VT/VR>1，则调低所述假定直径RS，若满足所述条件，则所输入的所述假定直径RS为所述主轮的真实直径Rr。本专利技术的多轮组系统的主轮直径检知方法，所述固定直径转动件沿轴向具有小径部及连接所述小径部的大径部，所述多轮组系统还包括位于所述主轮与所述固定直径转动件间的张力轮组，所述张力轮组具有供所述线材绕过于其上且能受所述线材张力作用而移动的张力轮，所述多轮组系统的主轮直径检知方法还包含位于所述步骤(A)与所述步骤(B)间的步骤(A1)检知所述张力轮是否偏移原预设位置，若是，则依所述张力轮的偏移量与偏移方向修正所述固定直径转动件的所述小径部的直径再回到所述步骤(A)，若否，则所述线材自所述小径部移动至所述大径部并以单圈方式绕设于所述大径部后再进行所述步骤(B)。本专利技术的多轮组系统的主轮直径检知方法，所述张力轮组还具有位于所述主轮与所述张力轮间的第一惰轮，及位于所述固定直径转动件与所述张力轮间的第二惰轮，所述第一惰轮与所述第二惰轮用于改变所述线材的走线方向。本专利技术的多轮组系统的主轮直径检知方法，所述多轮组系统还包括用于卷绕所述线材的绕线辊轮，所述固定直径转动件位于所述主轮与所述绕线辊轮间，所述多轮组系统的主轮直径检知方法还包含位于所述步骤(A)与所述步骤(B)间的步骤(A1)检知所述线材离开于所述主轮的线量是否等于所述线材缠绕于所述绕线辊轮的绕线量，若是，则进行所述步骤(B)，若否，则偏移所述绕线辊轮至适当位置，使所述线材离开于所述主轮的线量等于所述线材缠绕于所述绕线辊轮的绕线量后，再进行所述步骤(B)。本专利技术的多轮组系统的主轮直径检知方法，所述多轮组系统还包括用于卷绕所述线材的绕线辊轮，及供所述线材绕过且能受所述线材张力作用而移动的张力轮，所述张力轮位于所述主轮与所述绕线辊轮间，所述固定直径转动件位于所述主轮与所述绕线辊轮间，所述多轮组系统的主轮直径检知方法还包含位于所述步骤(A)与所述步骤(B)间的步骤(A1)检知所述张力轮是否偏移原预设位置，若是，则依所述张力轮的偏移量与偏移方向修正所述绕线辊轮的直径再回到所述步骤(A)，若否，则进行所述步骤(B)。本专利技术的多轮组系统的主轮直径检知方法，所述多轮组系统还包括位于所述主轮与所述绕线辊轮间的第一惰轮与所述固定直径转动件，所述第一惰轮与所述固定直径转动件均能用于改变所述线材的走线方向。本专利技术的多轮组系统的主轮直径检知方法，所述张力轮是沿直线方向移动。本专利技术的多轮组系统的主轮直径检知方法，所述绕线辊轮具有小径部，及连接所述小径部一侧的大径部，所述小径部与所述大径部彼此具有相同旋转轴且同步转动。本专利技术的多轮组系统的主轮直径检知方法，在所述步骤(A)中，基于所述线速度目标值VT及所述假定直径RS能推得所述主轮于所述多轮组系统中的转速ω。本专利技术的有益效果，在于能确实获得主轮真实直径，如此，将本专利技术应用于晶圆切片机的多轮组系统时，能通过明确得知主轮真实直径值，而使所述多轮组系统于跑线过程中缩减张力轮发生位移的机会，以利所述多轮组系统发展高线速制程，例如线速大于25m/s，或是等于30m/s，甚至大于等于35m/s的系统。此外，还能有助于执行晶圆切片作业的工程师去掌握切割线材本身的状态，以确保产出的晶片恒维持在一定质量。附图说明本专利技术的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多轮组系统的主轮直径检知方法，所述多轮组系统包括均能转动的主轮、固定直径转动件，及线材，所述线材绕过所述主轮及所述固定直径转动件且随所述主轮与所述固定直径转动件的运转而移动，其特征在于：所述多轮组系统的主轮直径检知方法包含下列步骤:(A)针对主轮输入假定直径:设定所述线材于所述多轮组系统的线速度目标值VT，再针对具真实直径Rr的所述主轮输入假定直径RS；(B)量测固定直径转动件的转速:量测所述固定直径转动件的转速，以得所述线材运行于所述多轮组系统的线速度真实值VR；及(C)检知所述线速度目标值VT与所述线速度真实值VR是否满足下列条件:VT/VR＝1，其中，若VT/VR<1，则调高所述假定直径RS，若VT/VR>1，则调低所述假定直径RS，若满足所述条件，则所输入的所述假定直径RS为所述主轮的真实直径Rr。

【技术特征摘要】
2017.10.13 TW 1061351531.一种多轮组系统的主轮直径检知方法，所述多轮组系统包括均能转动的主轮、固定直径转动件，及线材，所述线材绕过所述主轮及所述固定直径转动件且随所述主轮与所述固定直径转动件的运转而移动，其特征在于：所述多轮组系统的主轮直径检知方法包含下列步骤:(A)针对主轮输入假定直径:设定所述线材于所述多轮组系统的线速度目标值VT，再针对具真实直径Rr的所述主轮输入假定直径RS；(B)量测固定直径转动件的转速:量测所述固定直径转动件的转速，以得所述线材运行于所述多轮组系统的线速度真实值VR；及(C)检知所述线速度目标值VT与所述线速度真实值VR是否满足下列条件:VT/VR＝1，其中，若VT/VR<1，则调高所述假定直径RS，若VT/VR>1，则调低所述假定直径RS，若满足所述条件，则所输入的所述假定直径RS为所述主轮的真实直径Rr。2.根据权利要求1所述的多轮组系统的主轮直径检知方法，其特征在于：所述固定直径转动件沿轴向具有小径部及连接所述小径部的大径部，所述多轮组系统还包括位于所述主轮与所述固定直径转动件间的张力轮组，所述张力轮组具有供所述线材绕过于其上且能受所述线材张力作用而移动的张力轮，所述多轮组系统的主轮直径检知方法还包含位于所述步骤(A)与所述步骤(B)间的步骤(A1)检知所述张力轮是否偏移原预设位置，若是，则依所述张力轮的偏移量与偏移方向修正所述固定直径转动件的所述小径部的直径再回到所述步骤(A)，若否，则所述线材自所述小径部移动至所述大径部并以单圈方式绕设于所述大径部后再进行所述步骤(B)。3.根据权利要求2所述的多轮组系统的主轮直径检知方法，其特征在于：所述张力轮组还具有位于所述主轮与所述张力轮间的第一惰轮，及位于所述固定直径转动件与所述张力轮间的第二惰轮，所述第一惰轮与所述第二惰轮用于改变所述线材的走线方向。4.根据权利要求2或3所述的多轮组系统的主...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷世爵，陈展添，
申请(专利权)人：友达晶材股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71