刀具切削装置制造方法及图纸

提供刀具切削装置，将维护的频率抑制得较低。刀具切削装置具有从收纳有卡盘工作台、刀具轮和清洗喷嘴的加工室中吸引包含清洗液和加工屑的氛围气而排出的吸引单元，吸引单元包含：第1吸引路，其一端侧与加工室连接；分离室，其与第1吸引路的另一端侧连接，从自加工室排出的氛围气中分离出清洗液和加工屑；第2吸引路，其一端侧与分离室连接，另一端侧与吸引源连接；门，其设置于分离室的底部，将在分离室中分离出的清洗液和加工屑积存于上部；和开闭机构，其对门进行开闭从而使积存于门的上部的清洗液和加工屑落下而排出至分离室外，开闭机构按照规定时机使门开闭，在除规定时机以外的期间限制分离室外的氛围气从分离室的底部向第2吸引路流入。

Tool Cutting Device

Tool cutting devices are provided to reduce maintenance frequency. The cutter cutting device has an attraction unit which is discharged from the processing room with chuck table, cutter wheel and cleaning nozzle to attract the atmosphere containing cleaning fluid and processing chip. The attraction unit includes: the first attraction circuit, one end of which is connected with the processing room; the separation chamber, which is connected with the other end of the first attraction circuit, is connected to separate the cleaning fluid and the cleaning fluid from the atmosphere discharged from the processing room. Processing chips; the second attraction path, one end of which is connected with the separation chamber and the other end is connected with the attraction source; the door, which is set at the bottom of the separation chamber, stores the separated cleaning fluid and processing chips in the separation chamber on the upper part; and the opening and closing mechanism, which opens and closes the door so that the cleaning fluid and processing chips stored in the upper part of the door fall and discharge to the separation chamber, and the opening and closing mechanism is in accordance with the rules. Timely opening and closing of the door and restricting the outdoor air flow from the bottom of the separation chamber to the second attraction path during the period except the prescribed time.

【技术实现步骤摘要】
刀具切削装置
本专利技术涉及刀具切削装置。
技术介绍
公知有如下的刀具切削装置：使被称为刀具的切削用工具切入至以半导体晶片或封装基板等为代表的板状的被加工物而形成平坦的面(例如，参照专利文献1)。在刀具切削装置中，一边使刀具沿着圆轨道旋转一边使被加工物在相对于该圆轨道平行的方向上移动，从而使刀具的前端与被加工物的被加工区域接触而对被加工物进行切削。但是，当利用上述那样的沿着圆轨道旋转的刀具对被加工物进行切削时，会大量产生细长至某一程度的加工屑(切屑)。因此，为了能够将该加工屑适当地去除，在刀具切削装置中设置有朝向被加工物的被加工区域喷射清洗用的流体的喷嘴和将从喷嘴喷射的流体与加工屑一起吸引而排出的吸引单元等。专利文献1：日本特开2014-18942号公报上述的吸引单元利用以真空泵为代表的吸引源所产生的吸引力对流体和加工屑进行吸引，因此需要预先在吸引源的上游侧将加工屑去除，以便确保不在该吸引源中产生不良情况，因此在吸引源的上游侧通常设置有用于将加工屑去除的过滤器。但是，在这样的构造的吸引单元中，在过滤器的上游侧容易积存加工屑，为了维持性能必须频繁地进行维护。其结果是，刀具切削装置的停止时间变长，因此装置的运转率会降低。另外，对于维护作业的操作者的负荷也较大。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供刀具切削装置，能够将维护的频率抑制得较低。根据本专利技术的一个方式，提供刀具切削装置，其具有：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；刀具切削单元，其使具有切刃且安装于与该保持面垂直的旋转轴的下端的刀具轮旋转而对该卡盘工作台所保持的被加工物从上表面侧进行切削；清洗喷嘴，其对该卡盘工作台所保持的被加工物的上表面侧提供清洗液；以及吸引单元，其从收纳有该卡盘工作台、该刀具轮以及该清洗喷嘴的加工室中吸引包含该清洗液和加工屑的氛围气而排出，该吸引单元包含：第1吸引路，其一端侧与该加工室连接；分离室，其与该第1吸引路的另一端侧连接，从自该加工室排出的该氛围气中分离出该清洗液和该加工屑；第2吸引路，其一端侧与该分离室连接，另一端侧与吸引源连接；门，其设置于该分离室的底部，能够将在该分离室中分离出的该清洗液和该加工屑积存于上部；以及开闭机构，其对该门进行开闭从而使积存于该门的该上部的该清洗液和该加工屑落下而排出至该分离室外，该开闭机构按照规定的时机对该门进行开闭，从而在除了该规定的时机以外的期间限制该分离室外的氛围气从该分离室的底部向该第2吸引路流入。在上述的本专利技术的一个方式中，优选该刀具切削装置还具有：排出管，其将在该加工室内落下的该清洗液和该加工屑排出至该加工室外；以及网状的捕获部件，其接受通过该排出管而排出至该加工室外的该清洗液和该加工屑，并对该加工屑进行捕获，该捕获部件接受通过该排出管而排出至该加工室外的该清洗液和该加工屑，并且接受从该门落下而排出至该分离室外的该清洗液和该加工屑。本专利技术的一个方式的刀具切削装置具有吸引单元，该吸引单元包含：分离室，其从自加工室排出的氛围气中分离出清洗液和加工屑；门，其设置于分离室的底部，能够将在分离室中分离出的清洗液和加工屑积存于上部；以及开闭机构，其对门进行开闭。因此，能够利用分离室从自加工室排出的氛围气中分离出清洗液和加工屑，并且能够通过门的开闭对来自该分离室的清洗液和加工屑的排出进行控制。即，加工屑不容易积存于吸引单元内，因此能够将维护的频率抑制得较低。另外，在除了对门进行开闭的时机以外的期间，限制分离室外的氛围气从设置有门的分离室的底部流入，因此通过适当地控制对门进行开闭的时机，从而在对被加工物进行切削时吸引单元的吸引力也不会降低。附图说明图1是示意性示出刀具切削装置的结构例的立体图。图2是示意性示出刀具切削装置的结构例的局部剖视主视图。标号说明2：刀具切削装置；4：基台；4a、4b：开口；6：支承构造；8：搬送单元；10a、10b：盒；12：定心机构；14：搬入单元；16：X轴移动工作台；18a：工作台罩；18b：防尘防滴罩；20：卡盘工作台；22：Z轴移动单元；24：Z轴导轨；26：Z轴移动板；28：Z轴滚珠丝杠；30：Z轴脉冲电动机；32：刀具切削单元；34：主轴壳体；36：主轴；38：刀具轮；40：切刃(刀具)；42：搬出单元；44：清洗单元；46：操作面板；52：罩；52a：加工室；54：清洗喷嘴；56：排出管；56a：一端；56b：另一端；58：回收层；60：捕获部件；62：台车；64：管道；66：吸引单元；68：吸引源；70：第1吸引路；72：分离机；72a：分离室；74：障壁(挡板)；76：第2吸引路；78：门；80：开闭机构；11：被加工物；13：晶片；15：密封层；17：保护部件；21：清洗液(液体)；23：加工屑；25：混合物。具体实施方式参照附图，对本专利技术的一个方式的实施方式进行说明。图1是示意性示出本实施方式的刀具切削装置2的结构例的立体图，图2是示意性示出刀具切削装置2的结构例的局部剖视主视图。如图1和图2所示，刀具切削装置2具有对各构成要素进行支承的基台4。在基台4的后端设置有壁状的支承构造6。在基台4的上表面前侧形成有开口4a，在该开口4a内配置有对板状的被加工物11进行搬送的搬送单元8。被加工物11例如是在由硅(Si)等材料形成的晶片13(图2)的上表面侧设置有由树脂等材料形成的密封层15(图2)而得到的封装基板。在该被加工物11的下表面侧(与密封层15相反的一侧)粘贴有例如以树脂制的粘接带为代表的保护部件17(图2)。另外，对于被加工物11的材质、形状、构造、大小等没有限制。例如也可以将由其他半导体、陶瓷、树脂、金属等材料形成的基板作为被加工物11。另外，也可以不在被加工物11上粘贴保护部件17。在开口4a的侧方的区域载置有对被加工物11进行收纳的盒10a、10b。在载置有盒10a的区域的后方设置有定心机构12。定心机构12例如对利用搬送单元8从盒10a中搬送的被加工物11的中心的位置进行调整。在定心机构12的后方设置有对被加工物11进行保持而进行旋转的搬入单元14。在搬入单元14的后方形成有开口4b。在该开口4b内配置有：X轴移动工作台16(图2)；X轴移动单元(未图示)，其使X轴移动工作台16在X轴方向(前后方向)上移动；工作台罩18a，其覆盖X轴移动工作台16；以及防尘防滴罩18b，其覆盖X轴移动单元。X轴移动单元具有与X轴方向平行的一对X轴导轨(未图示)，在X轴导轨上以能够滑动的方式安装有X轴移动工作台16。在X轴移动工作台16的下表面侧设置有螺母部(未图示)，在该螺母部螺合有与X轴导轨平行的X轴滚珠丝杠(未图示)。在X轴滚珠丝杠的一个端部连结有X轴脉冲电动机(未图示)。利用X轴脉冲电动机使X轴滚珠丝杠旋转，从而X轴移动工作台16沿着X轴导轨在X轴方向上移动。在X轴移动工作台16的上表面侧设置有对被加工物11进行吸引、保持的卡盘工作台20。卡盘工作台20与电动机等旋转驱动源(未图示)连结，绕与Z轴方向(铅垂方向)大致平行的旋转轴旋转。另外，卡盘工作台20通过上述的X轴移动单元在被加工物11被搬入、搬出的前方的搬入搬出区域和对被加工物11进行切削的后方的切削区域之间移动。卡盘工作台20的上表面成为对被加工物1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刀具切削装置，其特征在于，该刀具切削装置具有：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；刀具切削单元，其使具有切刃且安装于与该保持面垂直的旋转轴的下端的刀具轮旋转而对该卡盘工作台所保持的被加工物从上表面侧进行切削；清洗喷嘴，其对该卡盘工作台所保持的被加工物的上表面侧提供清洗液；以及吸引单元，其从收纳有该卡盘工作台、该刀具轮以及该清洗喷嘴的加工室中吸引包含该清洗液和加工屑的氛围气而排出，该吸引单元包含：第1吸引路，其一端侧与该加工室连接；分离室，其与该第1吸引路的另一端侧连接，从自该加工室排出的该氛围气中分离出该清洗液和该加工屑；第2吸引路，其一端侧与该分离室连接，另一端侧与吸引源连接；门，其设置于该分离室的底部，能够将在该分离室中分离出的该清洗液和该加工屑积存于上部；以及开闭机构，其对该门进行开闭从而使积存于该门的该上部的该清洗液和该加工屑落下而排出至该分离室外，该开闭机构按照规定的时机对该门进行开闭，从而在除了该规定的时机以外的期间限制该分离室外的氛围气从该分离室的底部向该第2吸引路流入。

【技术特征摘要】
2017.10.13 JP 2017-1995381.一种刀具切削装置，其特征在于，该刀具切削装置具有：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；刀具切削单元，其使具有切刃且安装于与该保持面垂直的旋转轴的下端的刀具轮旋转而对该卡盘工作台所保持的被加工物从上表面侧进行切削；清洗喷嘴，其对该卡盘工作台所保持的被加工物的上表面侧提供清洗液；以及吸引单元，其从收纳有该卡盘工作台、该刀具轮以及该清洗喷嘴的加工室中吸引包含该清洗液和加工屑的氛围气而排出，该吸引单元包含：第1吸引路，其一端侧与该加工室连接；分离室，其与该第1吸引路的另一端侧连接，从自该加工室排出的该氛围气中分离出该清洗液和该加工屑；第2吸引路，其一端侧与该分离室连接，另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：波冈伸一，小林真，生岛充，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本,JP