The invention relates to the field of display technology, and discloses an anti-blocking component and an evaporation plating equipment, which comprises a main anti-blocking plate for preventing the blockage of the crucible nozzle. The main anti-blocking plate faces one side of the crucible nozzle surface with an opening facing the concave surface of the crucible nozzle. When the main guard component is used, the concave opening of the main guard plate faces the crucible nozzle to prevent the crucible nozzle from being blocked. The concave structure enlarges the surface area of the main guard plate towards the side of the crucible nozzle because the main guard plate faces concave surface on one side of the crucible nozzle, which reduces the accumulation of the adhesion layer formed by the main guard plate towards the side of the crucible nozzle in the middle of the main guard plate directly opposite the crucible nozzle in a unit time, thus effectively weakening the material spalling on the board and causing plugging holes in the crucible nozzle. Risks.
【技术实现步骤摘要】
一种防着组件以及蒸镀设备
本专利技术涉及显示
,特别涉及一种防着组件以及蒸镀设备。
技术介绍
柔性自发光显示器中较关键的技术是发光层的镀膜,而膜层实现发光,需要有阴极和阳极的导电功能。在现有制备工艺中一般采用金属腔室来蒸镀阴极,而要使金属层膜厚均匀,必须使得蒸镀过程中的坩埚蒸发速率保持稳定。但是,金属材料密度大,膜层厚,在蒸镀过程中容易在防着板上累积,因而,易造成防着板上材料剥落掉入坩埚喷嘴口,造成坩埚喷嘴发生塞孔的风险。
技术实现思路
本专利技术提供了一种防着组件以及蒸镀设备,上述防着组件通过改变自身结构设计,使材料的积累具有一定的方向性,可有效地降低坩埚喷嘴发生塞孔的风险。为达到上述目的,本专利技术提供以下技术方案:一种防着组件,包括:用于防止坩埚喷嘴被堵塞的主防着板,所述主防着板朝向所述坩埚喷嘴的一侧表面为开口朝向所述坩埚喷嘴的凹面。上述防着组件中,防着组件包括主防着板,主防着板一侧表面为凹面。具体的,在使用上述主防着组件时,主防着板的凹面开口朝向坩埚喷嘴、用以防止坩埚喷嘴被堵塞。需要说明的是,由于主防着板朝向坩埚喷嘴的一侧表面为凹面,则凹形结构增大了主防着板朝向坩埚喷嘴一侧的表面积,使得单位时间内,主防着板朝向坩埚喷嘴一侧形成的附着层在主防着板正对坩埚喷嘴的中部积累量减少,可有效削弱防着板上材料剥落、造成坩埚喷嘴发生塞孔的风险。优选地,所述主防着板的横截面为弧形,所述弧形凸向背离所述坩埚喷嘴的一侧。优选地,所述弧形为圆形的一部分;或者,所述弧形为椭圆形的一部分。优选地,所述主防着板朝向所述坩埚喷嘴的一侧表面形成有网孔层。优选地,还包括设于所述主防 ...
【技术保护点】
1.一种防着组件,其特征在于,包括:用于防止坩埚喷嘴被堵塞的主防着板,所述主防着板朝向所述坩埚喷嘴的一侧表面为开口朝向所述坩埚喷嘴的凹面。
【技术特征摘要】
1.一种防着组件,其特征在于,包括:用于防止坩埚喷嘴被堵塞的主防着板,所述主防着板朝向所述坩埚喷嘴的一侧表面为开口朝向所述坩埚喷嘴的凹面。2.根据权利要求1所述的防着组件,其特征在于,所述主防着板的横截面为弧形,所述弧形凸向背离所述坩埚喷嘴的一侧。3.根据权利要求2所述的防着组件,其特征在于,所述弧形为圆形的一部分;或者,所述弧形为椭圆形的一部分。4.根据权利要求3所述的防着组件,其特征在于,所述主防着板朝向所述坩埚喷嘴的一侧表面形成有网孔层。5.根据权利要求1所述的防着组件,其特征在于,还包括设于所述主防着板背离所述坩埚喷嘴一侧、用于对所述主防着板的边缘部进行冷却的冷却装置。6.根据权利要求5所述的防着组件,其特征在于,所述冷却装置包括用于对...
【专利技术属性】
技术研发人员:金明洙,曾利,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,绵阳京东方光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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