一种晶圆片刷洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆片刷洗机，包括机体，所述机体顶部的左侧开设有清洗槽，所述清洗槽的顶部焊接有环形水管，所述环形水管顶部的左侧固定安装有接水管，所述接水管的一端贯穿机体并延伸至其外，所述环形水管的底部均匀安装有出水头，所述清洗槽的中部活动安装有清洗板，所述清洗板的一端套接有断齿齿轮，所述清洗槽的底部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端转动连接有转动齿轮。该晶圆片刷洗机，通过设置集刷洗与烘干于一体的机构，能够在刷洗完成后，自动进入烘干程序，无需转运等复杂操作，大大简化了加工流程，同时该刷洗机构采用多角度无死角式清洗，起到了刷洗彻底的目的，大大提高了刷洗效率。

A Wafer Brushing Machine

The utility model discloses a wafer brushing machine, which comprises a body, a cleaning groove is arranged on the left side of the top of the body, an annular water pipe is welded on the top of the cleaning groove, a connecting water pipe is fixed on the left side of the top of the annular water pipe, one end of the connecting water pipe runs through the body and extends to the outside, the bottom of the annular water pipe is evenly installed with a water head, and the cleaning groove is fixed on the bottom of the annular water pipe. A cleaning plate is movably installed in the middle. One end of the cleaning plate is sleeved with a broken tooth gear. The bottom of the cleaning groove is fixed with a first motor, and the output end of the first motor is rotated with a rotating gear. The wafer brushing machine can automatically enter the drying process after the brushing is completed without transshipment and other complex operations by setting a mechanism integrating brushing and drying, which greatly simplifies the processing process. At the same time, the wafer brushing machine adopts multi-angle non-dead angle cleaning, which has achieved the purpose of thorough brushing and greatly improved the efficiency of brushing.

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片刷洗机
本技术涉及晶圆片加工设备
，具体为一种晶圆片刷洗机。
技术介绍
晶圆片是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。在晶圆片的刷洗工序中，目前大部分采用的是人工刷洗，也有部分采用刷洗设备清洗，现有的刷洗设备，存在刷洗不彻底、工序繁杂的缺陷，因此降低了刷洗效率。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆片刷洗机，解决了现有晶圆片刷洗设备刷洗效率低的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆片刷洗机，包括机体，所述机体顶部的左侧开设有清洗槽，所述清洗槽的顶部焊接有环形水管，所述环形水管顶部的左侧固定安装有接水管，所述接水管的一端贯穿机体并延伸至其外，所述环形水管的底部均匀安装有出水头，所述清洗槽的中部活动安装有清洗板，所述清洗板的一端套接有断齿齿轮，所述清洗槽的底部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端转动连接有转动齿轮，所述转动齿轮的顶部与断齿齿轮的底部相啮合，所述机体的顶部焊接有基台，所述基台的顶部固定安装有第一伸缩气缸，所述第一伸缩气缸的自由端焊接有顶座，所述顶座的底部固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端转动连接有刷毛板，所述刷毛板位于清洗槽的上方，所述机体顶部的右侧开设有烘干槽，所述清洗槽与烘干槽之间开设有斜槽，所述机体的内腔安装有第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸的自由端安装有闭合板，所述闭合板位于斜槽内，所述烘干槽的底部固定安装有烘板，所述烘板上均匀安装有烘干管，所述机体的底部对称焊接有减震底座。优选的，所述机体的内腔开设有排泄槽，所述排泄槽的底部贯穿机体的底部，所述机体的底部焊接有滑座，所述滑座上滑动安装有盛接盒。优选的，所述清洗槽的右侧焊接有定位凸台，且定位凸台位于斜槽的底部。优选的，所述清洗板上开设有漏孔。(三)有益效果本技术提供了一种晶圆片刷洗机。具备以下有益效果：该晶圆片刷洗机，通过设置集刷洗与烘干于一体的机构，能够在刷洗完成后，自动进入烘干程序，无需转运等复杂操作，大大简化了加工流程，同时该刷洗机构采用多角度无死角式清洗，起到了刷洗彻底的目的，大大提高了刷洗效率，首先将晶圆片放置在清洗板的顶部，通过接水管接通水源，然后开启第一伸缩气缸，带动刷毛板下降，直至其沉入至与晶圆片接触的位置，然后同步开启第二电机以及出水头，由第二电机带动刷毛板转动，继而对晶圆片进行刷洗，同时水通过出水头喷出，结合刷毛板的转动对晶圆片进行往复式刷洗，实现刷洗彻底、干净的目的，清洗后的废水通过清洗板上的漏孔漏下，清洗干净后，开启第一电机，带动转动齿轮转动，继而带动断齿齿轮转动，断齿齿轮上的啮齿为六分之一圆周，因此当断齿齿轮转动六十度后，自动停止转动，此时清洗板正好转动至与斜槽相平齐的位置，此时清洗好的晶圆片由于重力作用滑落进斜槽内，开启第二伸缩气缸，带动闭合板上移，将斜槽的通道打开，使晶圆片自动落入烘干槽底部的烘板上，然后通过烘干管对晶圆片进行烘干，整个过程流畅而便捷，从而完成了刷洗以及烘干，对于清洗槽内的废水，则流入排泄槽内，继而排入至盛接盒内存储，并定期清理。附图说明图1为本技术结构剖面示意图；图2为本技术机体结构俯视图。图中：1、机体；2、清洗槽；3、环形水管；4、接水管；5、出水头；6、清洗板；7、断齿齿轮；8、第一电机；9、转动齿轮；10、基台；11、第一伸缩气缸；12、顶座；13、第二电机；14、刷毛板；15、斜槽；16、第二伸缩气缸；17、闭合板；18、烘干槽；19、烘板；20、烘干管；21、减震底座；22、排泄槽；23、滑座；24、盛接盒；25、定位凸台。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-2所示，本技术提供一种技术方案：一种晶圆片刷洗机，通过设置集刷洗与烘干于一体的机构，能够在刷洗完成后，自动进入烘干程序，无需转运等复杂操作，大大简化了加工流程，同时该刷洗机构采用多角度无死角式清洗，起到了刷洗彻底的目的，大大提高了刷洗效率，包括机体1，机体1顶部的左侧开设有清洗槽2，清洗槽2的顶部焊接有环形水管3，环形水管3顶部的左侧固定安装有接水管4，接水管4的一端贯穿机体1并延伸至其外，环形水管3的底部均匀安装有出水头5，清洗槽2的中部活动安装有清洗板6，清洗板6上开设有漏孔，清洗板6的一端套接有断齿齿轮7，清洗槽2的底部固定安装有第一电机8，第一电机8的输出端转动连接有转动齿轮9，转动齿轮9的顶部与断齿齿轮7的底部相啮合，机体1的顶部焊接有基台10，基台10的顶部固定安装有第一伸缩气缸11，第一伸缩气缸11的自由端焊接有顶座12，顶座12的底部固定安装有第二电机13，第二电机13的输出端转动连接有刷毛板14，刷毛板14位于清洗槽2的上方，首先将晶圆片放置在清洗板6的顶部，通过接水管4接通水源，然后开启第一伸缩气缸11，带动刷毛板14下降，直至其沉入至与晶圆片接触的位置，然后同步开启第二电机13以及出水头5，由第二电机13带动刷毛板14转动，继而对晶圆片进行刷洗，同时水通过出水头5喷出，结合刷毛板14的转动对晶圆片进行往复式刷洗，实现刷洗彻底、干净的目的，机体1的内腔开设有排泄槽22，排泄槽22的底部贯穿机体1的底部，机体1的底部焊接有滑座23，滑座23上滑动安装有盛接盒24，对于清洗槽2内的废水，则流入排泄槽22内，继而排入至盛接盒24内存储，并定期清理，机体1顶部的右侧开设有烘干槽18，清洗槽2与烘干槽18之间开设有斜槽15，清洗后的废水通过清洗板6上的漏孔漏下，清洗干净后，开启第一电机8，带动转动齿轮9转动，继而带动断齿齿轮7转动，断齿齿轮7上的啮齿为六分之一圆周，因此当断齿齿轮7转动六十度后，自动停止转动，此时清洗板6正好转动至与斜槽15相平齐的位置，此时清洗好的晶圆片由于重力作用滑落进斜槽15内，清洗槽2的右侧焊接有定位凸台25，且定位凸台25位于斜槽15的底部，设置定位凸台25，起到对清洗板6定位的作用，确保清洗板6与斜槽15对齐，机体1的内腔安装有第二伸缩气缸16，第二伸缩气缸16的自由端安装有闭合板17，闭合板17位于斜槽15内，烘干槽18的底部固定安装有烘板19，烘板19上均匀安装有烘干管20，开启第二伸缩气缸16，带动闭合板17上移，将斜槽15的通道打开，使晶圆片自动落入烘干槽18底部的烘板19上，然后通过烘干管20对晶圆片进行烘干，整个过程流畅而便捷，从而完成了刷洗以及烘干，机体1的底部对称焊接有减震底座21。使用时，首先将晶圆片放置在清洗板6的顶部，通过接水管4接通水源，然后开启第一伸缩气缸11，带动刷毛板14下降，直至其沉入至与晶圆片接触的位置，然后同步开启第二电机13以及出水头5，由第二电机13带动刷毛板14转动，继而对晶圆片进行刷洗，同时水通过出水头5喷出，结合刷毛板14的转动对晶圆片进行往复式刷洗，实现刷洗彻底、干净的目的，清洗后的废水通过清洗板6上的漏本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆片刷洗机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)顶部的左侧开设有清洗槽(2)，所述清洗槽(2)的顶部焊接有环形水管(3)，所述环形水管(3)顶部的左侧固定安装有接水管(4)，所述接水管(4)的一端贯穿机体(1)并延伸至其外，所述环形水管(3)的底部均匀安装有出水头(5)，所述清洗槽(2)的中部活动安装有清洗板(6)，所述清洗板(6)的一端套接有断齿齿轮(7)，所述清洗槽(2)的底部固定安装有第一电机(8)，所述第一电机(8)的输出端转动连接有转动齿轮(9)，所述转动齿轮(9)的顶部与断齿齿轮(7)的底部相啮合，所述机体(1)的顶部焊接有基台(10)，所述基台(10)的顶部固定安装有第一伸缩气缸(11)，所述第一伸缩气缸(11)的自由端焊接有顶座(12)，所述顶座(12)的底部固定安装有第二电机(13)，所述第二电机(13)的输出端转动连接有刷毛板(14)，所述刷毛板(14)位于清洗槽(2)的上方，所述机体(1)顶部的右侧开设有烘干槽(18)，所述清洗槽(2)与烘干槽(18)之间开设有斜槽(15)，所述机体(1)的内腔安装有第二伸缩气缸(16)，所述第二伸缩气缸(16)的自由端安装有闭合板(17)，所述闭合板(17)位于斜槽(15)内，所述烘干槽(18)的底部固定安装有烘板(19)，所述烘板(19)上均匀安装有烘干管(20)，所述机体(1)的底部对称焊接有减震底座(21)。...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片刷洗机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)顶部的左侧开设有清洗槽(2)，所述清洗槽(2)的顶部焊接有环形水管(3)，所述环形水管(3)顶部的左侧固定安装有接水管(4)，所述接水管(4)的一端贯穿机体(1)并延伸至其外，所述环形水管(3)的底部均匀安装有出水头(5)，所述清洗槽(2)的中部活动安装有清洗板(6)，所述清洗板(6)的一端套接有断齿齿轮(7)，所述清洗槽(2)的底部固定安装有第一电机(8)，所述第一电机(8)的输出端转动连接有转动齿轮(9)，所述转动齿轮(9)的顶部与断齿齿轮(7)的底部相啮合，所述机体(1)的顶部焊接有基台(10)，所述基台(10)的顶部固定安装有第一伸缩气缸(11)，所述第一伸缩气缸(11)的自由端焊接有顶座(12)，所述顶座(12)的底部固定安装有第二电机(13)，所述第二电机(13)的输出端转动连接有刷毛板(14)，所述刷毛板(14)位于清洗槽(2)的上方，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李继忠，
申请(专利权)人：江苏科沛达半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32