一种湿式机台槽内载具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种湿式机台槽内载具，包括载具架、机台槽、气体通入装置传动机构、密封舱、气体输入管道、气体干燥装置、吸气机、气体过滤装置、载具座、气体通入装置和铁氟龙顶杆，所述载具座设于机台槽内，所述密封舱设于载具座上，所述气体通入装置传动机构设于密封舱内，所述载具架设于载具座上端，所述铁氟龙顶杆固定于载具座上，所述气体通入装置设于载具座上且位于铁氟龙顶杆下侧，所述气体输入管道一端连接气体通入装置，另一端连接吸气机，所述气体过滤装置与气体干燥装置在吸气机与气体通入装置之间的气体输入管道依次安装，本实用新型专利技术增加铁氟龙顶杆及气体通入装置，使产品在载具内做顺/逆时针的移动，提升制程均匀度与产品良率。

A Wet Machine Table Slot Carrier

The utility model discloses a carrier in a wet machine table trough, which comprises a carrier rack, a machine table trough, a transmission mechanism of a gas inlet device, a sealing chamber, a gas inlet pipeline, a gas drying device, an aspirator, a gas filter device, a carrier seat, a gas inlet device and a Teflon top rod. The carrier is located in the machine table trough, the sealing chamber is located on the carrier seat, and the gas inlet is arranged on the carrier seat. The transmission mechanism of the device is arranged in the sealed cabin, the carrier is mounted on the upper end of the carrier seat, the iron fluoride dragon top rod is fixed on the carrier seat, the gas inlet device is mounted on the carrier seat and is located on the lower side of the iron fluoride dragon top rod, one end of the gas input pipeline is connected with the gas inlet device, the other end is connected with the suction machine, and the gas filtering device and the gas drying device are connected with the suction machine and the gas drying device. The gas input pipelines between the feeding devices are installed sequentially. The utility model adds a Teflon top rod and a gas feeding device, which makes the product move clockwise/counterclockwise in the carrier, and improves the process uniformity and product yield.

【技术实现步骤摘要】
一种湿式机台槽内载具
本技术属于半导体湿式制程设备领域；涉及湿式机台槽内载具设计技术；具体是一种湿式机台槽内载具。
技术介绍
在半导体湿式制程中，机台槽体内的载具是必不可少的，其作用是将产品放置在载具上，再将载具放入槽内与化学品进行反应，达到清洁或蚀刻制程效果。一般湿式制程机台的槽内载具放置在载台，产品与载具为多点接触，且接触面积较大，对于特定的产品或制程可能造成接触区域反应状况不佳，造成制程均匀度以及产品良率下降等问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种湿式机台槽内载具。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种湿式机台槽内载具，包括载具架、机台槽、气体通入装置传动机构、密封舱、气体输入管道、气体干燥装置、吸气机、气体过滤装置、载具座、气体通入装置以及铁氟龙顶杆，所述载具座设于机台槽内，所述密封舱设于载具座上，所述气体通入装置传动机构设于密封舱内，所述载具架设于载具座上端，所述铁氟龙顶杆固定于载具座上，所述气体通入装置设于载具座上且位于铁氟龙顶杆下侧，所述气体输入管道一端连接气体通入装置，另一端连接吸气机，所述气体过滤装置与气体干燥装置在吸气机与气体通入装置之间的气体输入管道依次安装。所述载具架为上大下小的支架，所述载具架侧壁下端设有凹槽，所述凹槽恰好与铁氟龙顶杆相配合，所述载具架侧壁涂有铁氟龙。所述气体通入装置传动机构包括第一转动轴、第一传动皮带轮、传动皮带、第二转动轴、第二传动皮带轮、传动电机以及传动电机固定架，所述第一转动轴安装于机台槽侧壁的轴承上，所述第一转动轴一端连接气体通入装置，另一端连接第一传动皮带轮，所述传动电机通过传动电机固定架安装于密封舱的内侧壁上，所述第二转动轴一端连接传动电机输出轴承，另一端连接第二传动皮带轮，所述第一传动皮带轮与第二传动皮带轮通过传动皮带连接。所述气体干燥装置包括空气干燥剂、干燥装置外壳以及干燥过滤网，所述空气干燥剂与干燥过滤网设于干燥装置外壳内，所述空气干燥剂外侧包裹有干燥过滤网，所述干燥过滤网固定于干燥装置外壳内侧壁上，所述干燥装置外壳两端连接有气体输入管道。所述干燥装置外壳两端连接气体输入管道处的内侧壁设有螺纹，所述气体输入管道与干燥装置外壳两端连接处的外侧壁设有螺纹，两者螺纹配合。所述气体过滤装置包括过滤上盖、过滤外壳、过滤网以及滤芯，所述过滤上盖上端安装有气体输入管道，所述过滤外壳下端侧面设有气体输入管道，所述过滤网以及滤芯设于过滤外壳内侧，所述过滤上盖设于过滤外壳上端面，所述滤芯包裹于过滤网内部。所述过滤上盖与过滤外壳通过螺纹配合。所述气体通入装置包括气体通入装置外壳、外壳气体入口、通入装置电机密封舱、通入装置电机固定架、气体输入底座、底座气体输出口、通入装置电机、第一通入装置皮带轮、第一通入装置转动轴、通入装置皮带、第二通入装置转动轴、第二通入装置皮带轮、通入装置皮带传动密封舱、气体通入装置体积改变器、气体输出喷口以及气体通入装置外壳出气通道，所述气体通入装置外壳出气通道设于气体通入装置外壳外侧，所述气体通入装置体积改变器通过改变器转动轴设于气体通入装置外壳内侧，所述气体输出喷口设于气体通入装置外壳出气通道上，所述气体通入装置外壳下端安装有气体输入底座，所述气体通入装置外壳下端设有外壳气体入口，所述气体输入底座上端设有底座气体输出口，所述气体输入底座下端连接气体输入管道，所述底座气体输出口与外壳气体入口相配合，所述通入装置电机通过通入装置电机固定架固定于通入装置电机密封舱内，所述通入装置电机密封舱固定于气体通入装置外壳上，所述第一通入装置皮带轮安装于第一通入装置转动轴上，所述第二通入装置皮带轮安装于第二通入装置转动轴，所述第一通入装置皮带轮与第二通入装置皮带轮通过通入装置皮带连接，所述第一通入装置转动轴与装置电机输出轴连接，所述第二通入装置转动轴与改变器转动轴连接，所述通入装置皮带传动密封舱设于第一通入装置皮带轮、第二通入装置皮带轮以及通入装置皮带外侧且与通入装置电机密封舱连接。所述气体通入装置体积改变器为一个空心半圆柱壳体，圆柱中心位置设有改变器转动轴，通过改变器转动轴转动带动空心半圆柱体转动，从而改变气体通入装置外壳的内部空间，即改变气体通入装置外壳内部可用体积。所述气体通入装置外壳出气通道在气体输出喷口位置为一个小平面，所述小平面上设有四排喷口，且所有气体输出喷口呈斜向排列。所述气体通入装置外壳两端固定有外壳轴，所述改变器转动轴通过轴承设于外壳轴内部，所述外壳轴与第一转动轴连接。将产品放置在载具架上，再将载具架放入机台槽内的载具座上使其与化学品进行反应，载具座上设有的铁氟龙顶杆将产品顶起，避免产品下端与载具架接触，同时启动吸气机，吸气机将空气由气体输入管道通过气体过滤装置以及气体干燥装置进入气体输入底座，从气体输入底座的底座气体输出口进入气体通入装置外壳，由气体通入装置外壳的气体输出喷口喷出，此时启动传动电机，从而使得第二传动皮带轮转动，通过传动皮带带动第一传动皮带轮转动，使第一转动轴转动，带动外壳轴转动，从而使得气体通入装置外壳转动，通过调节传动电机，使气体通入装置外壳转动一个角度，让气体通入装置外壳上的气体输出喷口使产品在载具架上做顺时针移动，转动另一个角度，让气体通入装置外壳上的气体输出喷口使产品在载具架上做逆时针移动；当需要增大气体压力，使产品在载具架上更快的移动时，启动通入装置电机，从而使第一通入装置皮带轮转动，通过通入装置皮带第二通入装置皮带轮被第一通入装置皮带轮带动，从而使第二通入装置转动轴转动，导致改变器转动轴转动，进而使气体通入装置体积改变器在气体通入装置外壳内转动，使气体通入装置外壳内部体积变小，从而提高了气体压强，提高喷气速度与喷气压力，使产品在载具架上更快的移动时。本技术的有益效果：本技术通过增加铁氟龙顶杆以及气体通入装置，将载具架放入机台槽内的载具座，通过铁氟龙顶杆，载具架内的产品会被铁氟龙顶杆顶起，减少产品与载具接触位置与接触面积，槽体下方的气体通入装置，可控制喷出气体的角度与压力，使产品在载具内按照一定的速度做顺时针或者逆时针的移动，改善了产品固定位置持续与载具接触，有效的提升了制程的均匀度与产品生产的良品率。附图说明为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本技术作进一步的说明。图1是本技术一种湿式机台槽内载具的总体结构示意图；图2是本技术一种湿式机台槽内载具的气体通入装置传动机构结构示意图；图3是本技术一种湿式机台槽内载具的气体干燥装置结构示意图；图4是本技术一种湿式机台槽内载具的气体过滤装置结构示意图；图5是本技术一种湿式机台槽内载具的气体气体通入装置结构示意图；图6是本技术一种湿式机台槽内载具的气体通入装置横剖面结构示意图；图7是本技术一种湿式机台槽内载具的气体通入装置外壳出气通道正视图。具体实施方式如图1-7所示，一种湿式机台槽内载具，包括载具架1、机台槽2、气体通入装置传动机构3、密封舱4、气体输入管道5、气体干燥装置6、吸气机7、气体过滤装置8、载具座9、气体通入装置10以及铁氟龙顶杆11，其特征在于，载具座9设于机台槽2内，密封舱4设于载具座9上，气体通入装置传动机构3设于密封舱4内，载具架1设于载具座9上端，铁氟龙顶杆1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种湿式机台槽内载具，包括载具架(1)、机台槽(2)、气体通入装置传动机构(3)、密封舱(4)、气体输入管道(5)、气体干燥装置(6)、吸气机(7)、气体过滤装置(8)、载具座(9)、气体通入装置(10)以及铁氟龙顶杆(11)，其特征在于，所述载具座(9)设于机台槽(2)内，所述密封舱(4)设于载具座(9)上，所述气体通入装置传动机构(3)设于密封舱(4)内，所述载具架(1)设于载具座(9)上端，所述铁氟龙顶杆(11)固定于载具座(9)上，所述气体通入装置(10)设于载具座(9)上且位于铁氟龙顶杆(11)下侧，所述气体输入管道(5)一端连接气体通入装置(10)，另一端连接吸气机(7)，所述气体过滤装置(8)与气体干燥装置(6)在吸气机(7)与气体通入装置(10)之间的气体输入管道(5)依次安装；所述载具架(1)为上大下小的支架，所述载具架(1)侧壁下端设有凹槽，所述凹槽恰好与铁氟龙顶杆(11)相配合，所述载具架(1)侧壁涂有铁氟龙。

【技术特征摘要】
1.一种湿式机台槽内载具，包括载具架(1)、机台槽(2)、气体通入装置传动机构(3)、密封舱(4)、气体输入管道(5)、气体干燥装置(6)、吸气机(7)、气体过滤装置(8)、载具座(9)、气体通入装置(10)以及铁氟龙顶杆(11)，其特征在于，所述载具座(9)设于机台槽(2)内，所述密封舱(4)设于载具座(9)上，所述气体通入装置传动机构(3)设于密封舱(4)内，所述载具架(1)设于载具座(9)上端，所述铁氟龙顶杆(11)固定于载具座(9)上，所述气体通入装置(10)设于载具座(9)上且位于铁氟龙顶杆(11)下侧，所述气体输入管道(5)一端连接气体通入装置(10)，另一端连接吸气机(7)，所述气体过滤装置(8)与气体干燥装置(6)在吸气机(7)与气体通入装置(10)之间的气体输入管道(5)依次安装；所述载具架(1)为上大下小的支架，所述载具架(1)侧壁下端设有凹槽，所述凹槽恰好与铁氟龙顶杆(11)相配合，所述载具架(1)侧壁涂有铁氟龙。2.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体通入装置传动机构(3)包括第一转动轴(31)、第一传动皮带轮(32)、传动皮带(33)、第二转动轴(34)、第二传动皮带轮(35)、传动电机(36)以及传动电机固定架(37)，所述第一转动轴(31)安装于机台槽(2)侧壁的轴承上，所述第一转动轴(31)一端连接气体通入装置(10)，另一端连接第一传动皮带轮(32)，所述传动电机(36)通过传动电机固定架(37)安装于密封舱(4)的内侧壁上，所述第二转动轴(34)一端连接传动电机(36)输出轴承，另一端连接第二传动皮带轮(35)，所述第一传动皮带轮(32)与第二传动皮带轮(35)通过传动皮带(33)连接。3.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体干燥装置(6)包括空气干燥剂(61)、干燥装置外壳(62)以及干燥过滤网(63)，所述空气干燥剂(61)与干燥过滤网(63)设于干燥装置外壳(62)内，所述空气干燥剂(61)外侧包裹有干燥过滤网(63)，所述干燥过滤网(63)固定于干燥装置外壳(62)内侧壁上，所述干燥装置外壳(62)两端连接有气体输入管道(5)；所述干燥装置外壳(62)两端连接气体输入管道(5)处的内侧壁设有螺纹，所述气体输入管道(5)与干燥装置外壳(62)两端连接处的外侧壁设有螺纹，两者螺纹配合。4.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体过滤装置(8)包括过滤上盖(81)、过滤外壳(82)、过滤网(83)以及滤芯(84)，所述过滤上盖(81)上端安装有气体输入管道(5)，所述过滤外壳(82)下端侧面设有气体输入管道(5)，所述过滤网(83)以及滤芯(84)设于过滤外壳(82)内侧，所述过滤上盖(81)设于过滤外壳(82)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏杰，罗文滨，
申请(专利权)人：安徽宏实自动化装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34