滤波盒组件及反应腔室制造技术

本实用新型专利技术提供的一种滤波盒组件及反应腔室，其包括引入插座、插座转接件和壳体，插座转接件上设置有第一转接口和第二转接口，其中，第一转接口与引入插座插接，第二转接口与壳体上的线缆开口相对应，待滤波线缆依次通过第二转接口和线缆开口引入壳体中，并且，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配，本实用新型专利技术通过插座转接件使引入插座和壳体连接，避免引入插座直接插接在壳体上而致使必须在壳体上设置直径过大的开口，进而避免射频波泄漏至壳体中，从而提高滤波效果。

Filter Box Module and Reaction Chamber

The utility model provides a filter box assembly and a reaction chamber, which comprises an introduction socket, a socket adapter and a shell. The socket adapter is provided with a first and a second transfer interface. The first transfer interface is connected with the introduction socket, and the second transfer interface corresponds to the cable opening on the shell. The cable to be filtered is introduced into the shell through the second transfer interface and the cable opening in turn. In addition, the size of the cable opening and/or the second switching interface corresponds to the size of the cable to be filtered. The utility model connects the lead-in socket and the housing through the socket switching parts, avoids the direct insertion of the lead-in socket into the housing, which causes the opening with too large diameter to be set on the housing, thereby avoiding the leakage of radio frequency wave into the housing, thereby improving the filtering effect.

【技术实现步骤摘要】
滤波盒组件及反应腔室
本技术属于半导体制造
，具体涉及一种滤波盒组件及反应腔室。
技术介绍
在半导体刻蚀设备中，通常将射频电源提供的射频能量传输到腔室中，电离高真空状态下的特殊气体(如氩气Ar、氦气He、氮气N2、氢气H2、等)，产生含有大量的电子、离子、激发态的原子、分子和自由基等活性粒子的等离子体，这些活性粒子和置于腔体内并曝露在等离子体环境下的晶圆之间发生复杂的相互作用，使晶圆材料表面发生各种物理和化学反应，从而使材料表面性能发生变化，完成晶圆的刻蚀工艺。在半导体器件的制造过程中，为了在半导体晶片上进行淀积、蚀刻等工艺处理，一般通过静电吸盘(Electrostaticchuck，简称ESC)产生静电引力来吸附固定和支撑晶片。因为需要对等离子体进行吸引，所以下电极连接至射频功率源。为了防止射频功率通过ESC回流入静电卡盘电压源从而损坏电压源，需要滤波器滤除射频信号。滤波盒用于容纳滤波器。图1为现有的一种滤波盒的结构图。如图1所示，滤波盒包括壳体2，在壳体2上设置有引入插座1和引出插座4，滤波器3设置在壳体2中。在使用时，将从射频环境中引出的需要滤波的线缆通过引入插座1引入滤波器3，通过滤波器3将射频波滤掉，并通过引出插座4引出，达到滤波效果。在上述滤波盒中，壳体2在对应引入插座1的位置处设置有开口，该开口的尺寸与引入插座1的尺寸相适配，引入插座1在该开口处通过卡扣固定在壳体2中，但是，由于该开口直径过大(14mm*24mm)，引入插座1在延伸至开口后通过卡扣固定在壳体中时，会导致部分射频波泄漏至壳体中，影响电气信号控制，从而影响滤波效果。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种滤波盒组件及反应腔室，以解决现有技术中壳体上开口过大而导致的滤波效果差的问题。本技术提供了一种滤波盒组件，包括壳体和引入插座，引入插座用于向壳体引入待滤波线缆，其特征在于，滤波盒组件还包括插座转接件，插座转接件固定在壳体上；插接转接件上设置有第一转接口和第二转接口，壳体上设置有线缆开口，其中，第一转接口与引入插座插接，第二转接口与线缆开口相对应；待滤波线缆依次通过第二转接口和线缆开口引入至壳体中；并且，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配。其中，插座转接件包括第一分体和第二分体，且对应地分别在第一分体和第二分体上设置有第一凹部和第二凹部，第一凹部与第二凹部对接能形成第二转接口。其中，第一分体与第二分体通过螺钉固定连接。其中，在第一分体上形成有凹槽，第二分体在与第一分体对接时位于凹槽中，且凹槽的槽底处设有第一凹部。其中，插座转接件包括相对设置的第一转接板和第二转接板，其中，第一转接口为贯穿第一转接板厚度的第一通孔，第二转接口为贯穿第二转接板厚度的第二通孔。其中，插座转接件具有空腔，第一转接口经由空腔与第二转接口接通。其中，第二转接板上还设置有贯穿其厚度的固定孔，插接转接件通过螺钉与壳体固定连接。其中，线缆开口和/或第二转接口的尺寸小于等于4mm。其中，滤波盒组件还包括引出插座，引出插座用于将壳体中的滤波线缆引出，在壳体上还设置有引出插座开口，引出插座与引出插座开口插接。本技术还提供了一种反应腔室，包括滤波盒组件和设置在滤波盒组件中的滤波器，其中，滤波盒组件为本技术提供的滤波盒组件。本技术具有以下有益效果：本技术提供的滤波盒组件，其包括引入插座、插座转接件和壳体，插座转接件上设置有第一转接口和第二转接口，其中，第一转接口与引入插座插接，第二转接口与壳体上的线缆开口相对应，待滤波线缆依次通过第二转接口和线缆开口引入至壳体中，并且，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配，本技术通过插座转接件使引入插座和壳体连接，避免引入插座直接插接在壳体上而致使必须在壳体上设置直径过大的开口，进而避免射频波泄漏至壳体中，从而提高滤波效果。本技术提供的反应腔室，其采用本技术实施例提供的上述滤波盒组件，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配，避免引入插座直接插接在壳体上而致使必须在壳体上设置直径过大的开口，进而避免射频波泄漏至壳体中，从而提高滤波效果。附图说明图1为现有的一种滤波盒的结构图；图2为本技术实施例提供的一种滤波盒组件的结构图；图3A为本技术实施例提供的第一分体的结构图；图3B为本技术实施例提供的第二分体的结构图；图3C为本技术实施例提供的第一分体的另一视角的结构图。其中，1-引入插座；2-壳体；3-滤波器；4-引出插座；20-壳体；30-插座转接件；301-第一转接口；310-第一分体；311-第一凹部；312-固定孔；320-第二分体；321-第二凹部。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图来对本技术提供的滤波盒体组件及反应腔室进行详细描述。图2为本技术实施例提供的一种滤波盒组件的结构图。如图2所示，本技术实施例提供了一种滤波盒组件，包括壳体20、引入插座1和插座转接件30，其中，引入插座1用于向壳体20引入待滤波线缆(图中未示出)。插座转接件30固定在壳体20上，插接转接件30上设置有第一转接口301和第二转接口，在壳体20上设置有线缆开口，其中，第一转接口301与引入插座1插接，第二转接口与线缆开口相对应，待滤波线缆依次通过第二转接口和线缆开口引入至壳体20中，并且，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配。本技术提供的滤波盒组件，其包括引入插座、插座转接件30和壳体20，插座转接件上设置有第一转接口301和第二转接口，其中，第一转接口301与引入插座插接，第二转接口与壳体上的线缆开口相对应，待滤波线缆依次通过第二转接口和线缆开口引入至壳体中，并且，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配，本技术通过插座转接件30使引入插座和壳体20连接，避免引入插座直接插接在壳体20上而致使必须在壳体20上设置直径过大的开口，进而避免射频波泄漏至壳体20中，从而提高滤波效果。需要说明的是，线缆开口和第二转接口中的一者与待滤波线缆的尺寸相适配即可。优选地，线缆开口和第二转接口均与待滤波线缆的尺寸相适配，所谓相适配指的是尺寸相近或尺寸一致。其中，线缆开口和/或第二转接口尺寸小于等于4mm，当满足该尺寸条件时，能够有效防止射频泄漏至壳体20中，达到射频防护的目的，保证电气信号的稳定性。下面对插座转接件的结构进行详细描述。图3A为本技术实施例提供的第一分体的结构图，图3B为本技术实施例提供的第二分体的结构图。请一并参阅图3A和图3B，插座转接件30包括第一分体310和第二分体320，且分别在第一分体310和第二分体320上设置有第一凹部311和第二凹部321，第一凹部311与第二凹部321对接能形成第二转接口。为了便于安装，本技术通过第一凹部311与第二凹部321的对接形成第二转接口，在使用过程中，先使待滤波线缆卡在第一凹部311内，再将第二凹部321与第一凹部311对接，从而实现待滤波线缆的固定。在第一分体310上形成有凹槽，第二分体320为与该凹槽相对应的矩形结构，在与第一分体310对接时第二分体3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滤波盒组件，包括壳体和引入插座，所述引入插座用于向所述壳体引入待滤波线缆，其特征在于，所述滤波盒组件还包括插座转接件，所述插座转接件固定在所述壳体上；所述插座转接件上设置有第一转接口和第二转接口，所述壳体上设置有线缆开口，其中，所述第一转接口与所述引入插座插接，所述第二转接口与所述线缆开口相对应；所述待滤波线缆依次通过所述第二转接口和所述线缆开口引入至所述壳体中；并且，所述线缆开口和/或所述第二转接口的尺寸与所述待滤波线缆的尺寸相适配。

【技术特征摘要】
1.一种滤波盒组件，包括壳体和引入插座，所述引入插座用于向所述壳体引入待滤波线缆，其特征在于，所述滤波盒组件还包括插座转接件，所述插座转接件固定在所述壳体上；所述插座转接件上设置有第一转接口和第二转接口，所述壳体上设置有线缆开口，其中，所述第一转接口与所述引入插座插接，所述第二转接口与所述线缆开口相对应；所述待滤波线缆依次通过所述第二转接口和所述线缆开口引入至所述壳体中；并且，所述线缆开口和/或所述第二转接口的尺寸与所述待滤波线缆的尺寸相适配。2.根据权利要求1所述的滤波盒组件，其特征在于，所述插座转接件包括第一分体和第二分体，且对应地分别在所述第一分体和第二分体上设置有第一凹部和第二凹部，所述第一凹部与所述第二凹部对接能形成所述第二转接口。3.根据权利要求2所述的滤波盒组件，其特征在于，所述第一分体与所述第二分体通过螺钉固定连接。4.根据权利要求2所述的滤波盒组件，其特征在于，在所述第一分体上形成有凹槽，所述第二分体在与所述第一分体对接时位于所述凹槽中，且所述凹槽的槽底处设有所述第一凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：栾大为，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11