固态成像装置及其制造方法和电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及能够抑制混色发生的固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备。所述固态成像装置设置有布置在像素区域中的多个像素。每个像素都具有：设置在光电转换单元上的第一光学滤波层；配置在第一光学滤波层上的第二光学滤波层；和用于针对各像素分隔第一光学滤波层的至少一部分的分隔壁。与至少一个所述像素对应的第一光学滤波层和第二光学滤波层中的一者由红外截止滤波器形成，而另一者由滤色器形成。本发明专利技术能够应用于设置有可见光像素的CMOS图像传感器。

Solid State Imaging Device and Its Manufacturing Method and Electronic Equipment

The invention relates to a solid-state imaging device capable of suppressing color mixing, a manufacturing method of the solid-state imaging device and an electronic device. The solid-state imaging device is provided with a plurality of pixels arranged in a pixel area. Each pixel has: a first optical filter layer disposed on the photoelectric conversion unit; a second optical filter layer disposed on the first optical filter layer; and a partition wall for separating at least part of the first optical filter layer for each pixel. One of the first optical filter layer and the second optical filter layer corresponding to at least one of the pixels is formed by an infrared cut-off filter and the other by a color filter. The invention can be applied to a CMOS image sensor with visible light pixels.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】固态成像装置及其制造方法和电子设备
本专利技术涉及固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备，特别地，涉及能够抑制混色发生的固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备。
技术介绍
常规地，使用可见光进行成像和使用红外光进行成像的固态成像装置是已知的。在这样的固态成像装置中，红外光像素例如能够通过叠加红色(R)和蓝色(B)滤色器而形成。在这种情况下，所有像素(可见光像素和红外光像素)在波长为700nm或以上的红外光区域中具有大致相同的透光率。因此，可见光像素和红外光像素之间发生混色，从而颜色分离和S/N(信噪比)劣化。同时，例如，专利文献1公开了将红外截止滤波器形成在可见光像素的滤色器的下方。该红外截止滤波器由通过交替层叠具有高折射率的物质和具有低折射率的物质而获得的多层干涉膜形成。引用列表专利文献专利文献1：特开号为2009-158944的日本专利申请
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题然而，在专利文献1的红外截止滤波器中，红外光的透射分布依赖于入射角，或者步骤的数量增加从而提高工艺的难度。鉴于上述情况做出本专利技术，本专利技术能够在红外光的透射分布不依赖于入射角的同时抑制像素之间发生混色，且步骤的数量不会提高导致工艺的难度增加。技术问题的解决方案本专利技术的固态成像装置包括布置在像素区域中的多个像素。每个像素都具有：配置在光电转换单元上的第一光学滤波层；配置在第一光学滤波层上的第二光学滤波层；和用于针对各像素分隔第一光学滤波层的至少一部分隔离的分隔壁。至少一个所述像素中的第一光学滤波层和第二光学滤波层中的一者由红外截止滤波器形成，而另一者由滤色器形成。根据本专利技术的固态成像装置的制造方法是用于制造如下固态成像装置的制造方法：所述固态成像装置包括布置在像素区域中的多个像素，每个像素都具有：配置在光电转换单元上的第一光学滤波层；配置在第一光学滤波层上的第二光学滤波层；和用于针对各像素分隔第一光学滤波层的至少一部分的分隔壁，所述方法包括：形成所述分隔壁；形成所述第一光学滤波层；以及形成所述第二光学滤波层，其中，至少一个所述像素中的第一光学滤波层和第二光学滤波层中的一者由红外截止滤波器形成，而另一者由滤色器形成。本专利技术的电子设备包括固态成像装置，该固态成像装置包括布置在像素区域中的多个像素，其中，每个像素都具有：配置在光电转换单元上的第一光学滤波层；配置在第一光学滤波层上的第二光学滤波层；和用于针对各像素分离第一光学滤波层的至少一部分的分隔壁，且至少一个所述像素中的第一光学滤波层和第二光学滤波层中的一者由红外截止滤波器形成，而另一者由滤色器形成。本专利技术包括布置在像素区域中的多个像素。每个像素都具有：配置在光电转换单元上的第一光学滤波层；配置在第一光学滤波层上的第二光学滤波层；和用于针对各像素分隔第一光学滤波层的至少一部分的分隔壁。至少一个所述像素中的第一光学滤波层和第二光学滤波层中的一者由红外截止滤波器形成，而另一者由滤色器形成。本专利技术的技术效果根据本专利技术，能够抑制像素之间发生混色。注意，这里所述的效果不一定是限制性的，而可以是本公开中说明的任意效果。附图说明图1是图示了常规的固态成像装置中的像素的构造例的横截面图。图2图示了可见光像素和红外光像素的光谱特性。图3是图示了本专利技术的固态成像装置的构造例的框图。图4是图示了根据本专利技术的第一实施例的固态成像装置中的像素的构造例的横截面图。图5图示了光学滤波层的平面排布的示例。图6图示了光学滤波层的平面排布的另一示例。图7图示了红外截止滤波器的颜色材料的示例。图8图示了红外截止滤波器的光谱特性的示例。图9是用于说明像素形成处理的流程图。图10用于说明像素形成步骤。图11用于说明像素形成步骤。图12用于说明像素形成步骤。图13图示了可见光像素和红外光像素的光谱特性。图14图示了红外截止滤波器的光谱特性的另一示例。图15图示了红外截止滤波器的光谱特性的又一示例。图16图示了双带通滤波器的光谱特性的示例。图17是图示了整体固态成像装置的构造例的横截面图。图18是图示了像素的另一构造例的横截面图。图19是图示了像素的又一构造例的横截面图。图20是图示了像素的又一构造例的横截面图。图21是图示了像素的又一构造例的横截面图。图22是图示了像素的又一构造例的横截面图。图23是图示了像素的又一构造例的横截面图。图24是图示了像素的又一构造例的横截面图。图25是图示了像素的又一构造例的横截面图。图26是图示了像素的又一构造例的横截面图。图27是图示了像素的又一构造例的横截面图。图28是图示了像素的又一构造例的横截面图。图29是图示了像素的又一构造例的横截面图。图30是图示了像素的又一构造例的横截面图。图31是图示了像素的又一构造例的横截面图。图32是图示了像素的又一构造例的横截面图。图33是图示了像素的又一构造例的横截面图。图34是图示了图像处理装置的构造例的框图。图35是图示了根据本专利技术的第二实施例的固态成像装置中的像素的构造例的横截面图。图36图示了光学滤波层的平面排布的示例。图37是用于说明像素形成处理的流程图。图38用于说明像素形成步骤。图39是图示了整体固态成像装置的构造例的横截面图。图40是图示了像素的另一构造例的横截面图。图41是图示了像素的又一构造例的横截面图。图42是图示了像素的又一构造例的横截面图。图43是图示了像素的又一构造例的横截面图。图44是图示了像素的又一构造例的横截面图。图45是图示了像素的又一构造例的横截面图。图46是图示了像素的又一构造例的横截面图。图47是图示了像素的又一构造例的横截面图。图48是图示了像素的又一构造例的横截面图。图49是图示了像素的又一构造例的横截面图。图50是图示了像素的又一构造例的横截面图。图51是图示了像素的又一构造例的横截面图。图52是图示了像素的又一构造例的横截面图。图53是图示了应用本专利技术的正面照射型固态成像装置的构造例的横截面图。图54是图示了正面照射型固态成像装置的另一构造例的横截面图。图55是图示了应用本专利技术的背面照射型固态成像装置的构造例的横截面图。图56图示了能够应用本专利技术的层叠型固态成像装置的构造例的概要。图57是图示了层叠型固态成像装置的第一构造例的横截面图。图58是图示了层叠型固态成像装置的第二构造例的横截面图。图59是图示了层叠型固态成像装置的第三构造例的横截面图。图60是图示了能够应用本专利技术的层叠型固态成像装置的另一构造例的横截面图。图61是图示了能够应用本专利技术的共享多个像素的固态成像装置的第一构造例的平面图。图62是图示了能够应用本专利技术的共享多个像素的固态成像装置的第一构造例的横截面图。图63图示了共享四个像素的共享像素单元的等效电路的示例。图64是图示了能够应用本专利技术的共享多个像素的固态成像装置的第二构造例的平面图。图65是图示了本专利技术的电子设备的构造例的框图。图66图示了使用图像传感器的使用例。图67图示了内窥镜手术系统的示意性构造例。图68是图示了相机头部和CCU的功能构造例的框图。图69是图示了车辆控制系统的示意性构造例的框图。图70是图示了车外信息检测单元和成像单元的安装位置的示例的说明图。具体实施方式以下，将参照附图说明本专利技术的实施例。注意，在本说明书和附图中，将相同的附图标记给予具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固态成像装置，其包括布置在像素区域中的多个像素，其中，每个所述像素都具有：配置在光电转换单元上的第一光学滤波层；配置在所述第一光学滤波层上的第二光学滤波层；和用于针对各所述像素分隔所述第一光学滤波层的至少一部分的分隔壁，并且至少一个所述像素中的所述第一光学滤波层和所述第二光学滤波层中的一者由红外截止滤波器形成，而另一者由滤色器形成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.02 JP 2016-171862;2017.08.24 JP 2017-160851.一种固态成像装置，其包括布置在像素区域中的多个像素，其中，每个所述像素都具有：配置在光电转换单元上的第一光学滤波层；配置在所述第一光学滤波层上的第二光学滤波层；和用于针对各所述像素分隔所述第一光学滤波层的至少一部分的分隔壁，并且至少一个所述像素中的所述第一光学滤波层和所述第二光学滤波层中的一者由红外截止滤波器形成，而另一者由滤色器形成。2.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中，所述红外截止滤波器由添加了有机或无机颜色材料的有机材料形成。3.根据权利要求2所述的固态成像装置，其中，所述红外截止滤波器具有如下光谱特性：透光率在700nm或以上的波长区域中为20％或以下。4.根据权利要求3所述的固态成像装置，其中，所述红外截止滤波器具有如下光谱特性：700nm或以上的波长区域中存在最大吸收波长。5.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中，所述红外截止滤波器也形成在所述像素区域以外的区域中。6.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中，所述分隔壁由金属膜和Si氧化物膜中的至少一者形成。7.根据权利要求6所述的固态成像装置，其中，所述分隔壁包括折射率等于或低于所述滤色器的折射率的有机树脂。8.根据权利要求6所述的固态成像装置，其中，所述分隔壁包括含有填充物的有机树脂。9.根据权利要求6所述的固态成像装置，其中，所述分隔壁的高度至少为100nm或以上。10.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中，所述像素还包括用于针对各所述像素分隔所述光电转换单元的其它分隔壁。11.根据权利要求10所述的固态成像装置，其中，所述其它分隔壁与所述分隔壁一体化地形成。12.根据权利要求1所述的固态成像装置，所述固态成像...

【专利技术属性】
技术研发人员：中食慎太郎，狭山征博，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP