卷对卷方式的表面处理装置及使用它的成膜方法及成膜装置制造方法及图纸

本申请提供一种可抑制成本并且对长条基材以几乎不产生皱褶的方式进行处理的卷对卷方式的长条基材的表面处理装置。一种表面处理装置，其具有：2个罐状辊，其等将于真空室内以卷对卷方式搬送的长条树脂膜卷绕至外周面并利用循环于内部的冷媒使其冷却；及表面处理手段，其以设置于与所述2个罐状辊的外周面对向的位置的磁控溅镀阴极为代表；且所述2个罐状辊中、除位于最上游侧的第1罐状辊以外的第2罐状辊具备自外周面释放气体的气体释放机构。

Surface treatment device of coil-to-coil mode and its film forming method and device

The present application provides a surface treatment device for a long strip substrate in roll-to-roll mode, which can suppress costs and treat the strip substrate in a manner that produces almost no wrinkles. A surface treatment device includes: two canned rollers, which will be rolled in the vacuum chamber in a roll-to-roll fashion to the outer surface and cooled by circulating refrigerant inside; and a surface treatment method, which is represented by a magnetron sputtering cathode arranged in the circumferential orientation of the two canned rollers; and the two canned rollers are located in the most position except the outer one. The second pot-shaped roll besides the first pot-shaped roll on the upstream side has a gas releasing mechanism for releasing gas from the peripheral surface.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】卷对卷方式的表面处理装置及使用它的成膜方法及成膜装置
本专利技术涉及一种卷对卷方式的表面处理装置及使用它的成膜方法及成膜装置，该卷对卷方式的表面处理装置具备2个以上的罐状辊，上述罐状辊于对在真空室内以卷对卷方式搬送的长条基材进行表面处理时，将长条基材卷绕至外周面并使其冷却。
技术介绍
液晶面板、笔记型电脑、数位相机、行动电话等电子机器中使用于树脂膜上形成配线电路而成的可挠性配线基板。该可挠性配线基板可通过对在树脂膜的单面或者两面成膜金属膜而成的附有金属膜的树脂膜利用光微影法或蚀刻等薄膜技术对金属膜进行图案化加工而制作。近年来，可挠性配线基板的配线电路图案有更微细化、高密度化的倾向，伴随于此，对附有金属膜的树脂膜要求平坦且无皱褶的。作为上述附有金属膜的树脂膜的制造方法，已知有利用接着剂将金属箔贴附于树脂膜而制造的方法(3层基板的制造方法)、于金属箔涂布树脂溶液后使其干燥而制造的方法(浇铸法)、单独利用真空成膜法或者同时使用真空成膜法与湿式镀覆法于树脂膜成膜金属膜而制造的方法(金属喷敷法)等。上述制造方法中，于金属喷敷法中的真空成膜法中，使用真空蒸镀法、溅镀法、离子镀覆法、离子束溅镀法等。例如，作为溅镀法，于专利文献1中揭示有如下方法，即，于聚酰亚胺绝缘层上溅镀铬层后溅镀铜，由此形成导体层，于专利文献2中揭示有一种可挠性电路基板用材料，该可挠性电路基板用材料是由通过以铜镍合金为靶的溅镀而形成的第一金属薄膜与通过以铜为靶的溅镀而形成的第2金属薄膜按此顺序积层于聚酰亚胺膜上而成。于利用上述真空成膜法于聚酰亚胺膜等树脂膜成膜金属膜而制作附有金属膜的树脂膜的情形时，一般使用一面以卷对卷方式连续地搬送长条树脂膜一面高效率地进行真空成膜的装置。于利用该真空成膜装置进行溅镀成膜的情形时，溅镀法一般密接力优异，但与真空蒸镀法相比，对树脂膜赋予的热负荷较大，故而有时于成膜时树脂膜产生皱褶。因此，于该真空成膜装置中采用如下溅镀网版涂布机，其一面于真空室内自退绕辊将长条树脂膜以卷对卷的方式搬送至卷取辊，同时将该长条树脂膜卷绕至设置于其搬送路径的罐状辊的外周面使其冷却，一面连续地进行真空成膜。例如，于专利文献3中揭示有作为溅镀网版涂布机的一例的退绕卷取式(卷对卷方式)的真空溅镀装置。该退绕卷取式的真空溅镀装置具备发挥罐状辊的作用的冷却辊，进而进行通过设置于冷却辊的至少膜送入侧或者送出侧的副辊而使长条树脂膜密接于冷却辊的控制。然而，如非专利文献1中所记载般，罐状辊的外周面从微观上来看并不平坦，故而罐状辊的外周面和与其接触而搬送的长条树脂膜之间存在介隔真空空间而隔开的间隙(间隙部)。因此，有成膜时所产生的长条树脂膜的热无法高效率地传递至罐状辊的情形，此成为使长条树脂膜产生皱褶的原因。为了解决该问题，提出有如下技术，即，于溅镀网版涂布机中，自罐状辊的外周面释放气体而使该外周面与长条树脂膜之间的间隙部的热导率比真空高。例如，于专利文献4中揭示有于罐状辊的外周面设置成为气体的释放孔的多个微细孔的技术，于专利文献5中揭示有于罐状辊的外周面设置成为气体的释放孔的槽的技术。进而，亦已知有如下方法，即，以多孔质体构成罐状辊本身，将该多孔质体自身的微细孔设为气体释放孔。再者，根据非专利文献2，记载有：于释放气体为氩气且其气体压力为500Pa的情形时，于罐状辊的外周面与树脂膜之间的间隙部的距离为约40μm以下的分子流区域，间隙部的热传导为250(W/m2·K)。于分子流区域的范围内，该间隙部的气体分子越多，即气体压力越高时，基于气体的分子流的热传递效率越是提高。且说，于利用上述溅镀网版涂布机对长条树脂膜的两面进行成膜的情形时，进行如下步骤，即，首先，自退绕辊沿一方向将长条树脂膜搬送至卷取辊并仅对其中一面成膜后，将该仅对单面成膜的长条树脂膜自卷取辊取下并安装至退绕辊，再次自退绕辊沿一方向将长条树脂膜搬送至卷取辊并对另一面进行成膜。然而，该方法由于在单面成膜后必须暂时将真空室内向大气开放，故而生产效率差。因此，如专利文献6、7及8所示般，提出使用具备2个罐状辊的成膜装置而成膜，由此，自退绕辊至卷取辊沿一方向搬送一次即可对树脂膜的正面与背面的两面连续地成膜。
技术介绍
文献专利文献专利文献1：日本特开平2-98994号公报专利文献2：日本专利第3447070号公报专利文献3：日本特开昭62-247073号公报专利文献4：国际公开第2005/001157号专利文献5：美国专利第3414048号说明书专利文献6：日本特开2013-049914号公报专利文献7：日本特开2013-049915号公报专利文献8：日本特开2013-049916号公报非专利文献非专利文献1："VacuumHeatTransferModelsforWebSubstrates:ReviewofTheoryandExperimentalHeatTransferData,"2000SocietyofVacuumCoaters,43rd.AnnualTechnicalConferenceProceeding,Denver,April15-20,2000,p.335非专利文献2："ImprovementofWebConditionbytheDepositionDrumDesign,"2000SocietyofVacuumCoaters,50th.AnnualTechnicalConferenceProceeding(2007),p.749。
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]使用如上述专利文献4或专利文献5所示的于罐状辊的外周面具备气体释放孔的所谓附有气体释放机构的罐状辊搬送长条树脂膜的情形时，克服释放至间隙部的气体的气体压力而将长条树脂膜压抵于罐状辊的外周面的阻力是通过将长条树脂膜的搬送方向的张力除以罐状辊的半径而求得。通过以不超过该阻力的方式调整间隙部的气体压力，可将罐状辊的外周面与长条树脂膜之间的间隙大致设为零，成为于该外周面的微小凹凸部的凹部分充满气体的状态，而长条树脂膜主要接触于该凹凸部的凸部分。若该间隙部的气体压力超过上述阻力，则间隙部的间隔变大，而自长条树脂膜的宽度方向的两缘部开始泄漏气体。于该情形时，因气体泄漏而导致气体压力不会高至某种程度以上。如上所述，附有气体释放机构的罐状辊由于构造本身较复杂，故而花费成本，而且为了将长条树脂膜稳定地卷绕至罐状辊的外周面而必须调整间隙部的气体压力，因此，若具备2个以上的罐状辊的溅镀网版涂布机的所有罐状辊均采用附有气体释放机构的罐状辊，则成本过高而成为问题。本专利技术是鉴于上述以往的问题而完成的，其目的在于提供一种卷对卷方式的长条基材的表面处理装置及其方法，该卷对卷方式的长条基材的表面处理装置是具备2个以上的罐状辊而通过仅一方向的卷对卷的搬送便可对两面进行处理的长条基材的表面处理装置，其可抑制成本并且可对长条基材以几乎不产生皱褶的方式进行处理。[解决问题的手段]本专利技术者为了达成上述目的而反复进行潜心研究，结果获得以下见解：成膜前的长条树脂膜即便实施干燥处理亦略微吸湿，于使用2个罐状辊逐面地对两面进行成膜的情形时，有时于第1面的成膜时因溅镀等的热负荷而使水分等自长条树脂膜释放，由此，即便不使用附有气体释放机构的罐状辊，上述间隙部亦不会成为完全真空状本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种卷对卷方式的表面处理装置，其具有：至少2个罐状辊，其等将于真空室内以卷对卷方式搬送的长条基材卷绕至外周面并利用循环于内部的冷媒使其冷却；及表面处理手段，其设置于与上述罐状辊的外周面对向的位置；其特征在于：上述至少2个罐状辊中，除位于最上游侧的罐状辊以外的至少1个罐状辊具备自外周面释放气体的气体释放机构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.23 JP 2016-1627871.一种卷对卷方式的表面处理装置，其具有：至少2个罐状辊，其等将于真空室内以卷对卷方式搬送的长条基材卷绕至外周面并利用循环于内部的冷媒使其冷却；及表面处理手段，其设置于与上述罐状辊的外周面对向的位置；其特征在于：上述至少2个罐状辊中，除位于最上游侧的罐状辊以外的至少1个罐状辊具备自外周面释放气体的气体释放机构。2.根据权利要求1所述的卷对卷方式的表面处理装置，其中，具有上述气体释放机构的罐状辊于其外周厚壁部于圆周方向上隔开大致均等的间隔地遍及全周具有沿旋转轴方向延伸的多个气体导入路，所述多个气体导入路的每一个具有沿该旋转轴方向以大致均等的间隔向外周面侧开口的多个气体释放孔，并且具备于位于罐状辊的外周面中未卷绕有上述长条基材的非包覆部时使气体停止的机构。3.一种卷对卷方式的成膜装置，其中，根据权利要求1或2所述的表面处理手段为干式成膜手段。4.根据权利要求3所述的卷对卷方式的成膜装置，其中，上述干...

【专利技术属性】
技术研发人员：大上秀晴，
申请(专利权)人：住友金属矿山股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP