The invention provides a composite piezoelectric substrate for filter, including piezoelectric substrate layer, transition layer and conductive layer arranged in sequence, the transition layer is beryllium film and the conductive layer is aluminium film. The composite piezoelectric substrate is grown on the surface of piezoelectric substrate using beryllium or magnesium of hexagonal crystal system as transition film, and the bonding between beryllium or magnesium of the same lattice structure and piezoelectric substrate is good, thus solving the problem of aluminium film. The problem of poor bonding between beryllium or magnesium films and piezoelectric substrates due to their different lattice structures; moreover, beryllium or magnesium films and aluminium films are all metal films, which depend on metal bonds and bond well.
【技术实现步骤摘要】
滤波器用复合压电基片及其制备方法
本专利技术涉及滤波器用基片制备
,尤其涉及一种滤波器用复合压电基片及其制备方法。
技术介绍
在声表面波器件中,铝膜由于有比较低的声阻,是生产声表面波的最适合的材料。但铝膜在生长过程中,由于和基体压电材料晶格不匹配,生长的铝膜晶格严格扭曲,铝膜应力较大,在声表面波应用中,由于高频、高功率的声电作用下,很容易产生因铝膜与基体材料分离而导致电极脱落的现象。而在声表面波滤波器的蜂窝无线应用中,要求器件能承受大至1W的发射或接受功率。然而在大电流作用下,由于铝原子的迁移效应,电极处很容易断路或短路,高功率给基片表面带来的高温使器件很易失效。
技术实现思路
有必要提出一种滤波器用复合压电基片。还有必要提出一种复合压电基片的制备方法。一种滤波器用复合压电基片,包括依次设置的压电基体层、过渡层、导电层,所述过渡层为铍膜,所述导电层为铝膜。一种制备所述复合压电基片的方法,包括以下步骤:步骤1、将压电基体层置于混合酸溶液中浸泡,使基片表面处于疏水状态,有利于金属原子在上面的附着;步骤2、利用磁控溅射在压电基体层的表面沉积一层过渡层薄膜;步骤3、利用磁控溅射在过渡层的表面沉积一层导电层。本专利技术选择与声表面波滤波器的叉指换能器200基片晶格结构相匹配的金属作为溅射膜材料,以提升叉指换能器的使用寿命和温度稳定性。附图说明图1为所述叉指换能器设置于复合压电基片上的结构示意图。图2为部分复合压电基片的截面图。图中:复合压电基片100、压电基体层10、过渡层20、导电层30、叉指换能器200。具体实施方式为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案, ...
【技术保护点】
1.一种滤波器用复合压电基片,其特征在于:包括依次设置的压电基体层、过渡层、导电层,所述过渡层为铍膜,所述导电层为铝膜。
【技术特征摘要】
1.一种滤波器用复合压电基片,其特征在于:包括依次设置的压电基体层、过渡层、导电层,所述过渡层为铍膜,所述导电层为铝膜。2.如权利要求1所述的滤波器用复合压电基片,其特征在于:所述过渡层为镁膜。3.如权利要求2所述的滤波器用复合压电基片,其特征在于:所述过渡层为多层结构,所述过渡层的多层结构为依次间隔设置的铍膜、镁膜。4.如权利要求2所述的滤波器用复合压电基片,其特征在于:所述压电基体层的材料为铌酸锂、钽酸锂、石英、硅酸镓镧之一。5.一种制备如权利要求1-4之一所述的复合压电基片的方法,其特征在于包括以下...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖学峰,张学锋,雷顺京,张欢,韦海成,
申请(专利权)人:北方民族大学,
类型:发明
国别省市:宁夏,64
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