一种阵列基板及其制备方法、显示装置制造方法及图纸

技术编号:20923031 阅读:20 留言:0更新日期:2019-04-20 11:05
本申请公开了一种阵列基板及其制备方法、显示装置,用以提高显示产品的显示效果以及提高谐振腔的制作良率。本申请实施例提供的一种阵列基板,该阵列基板具有多种发光颜色的子像素单元;各所述子像素单元包括由相对设置的反射层和阴极形成的谐振腔,所述谐振腔还包括:位于所述反射层和所述阴极之间的阳极,以及位于所述阳极和所述阴极之间的发光功能层;相同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度相同,且不同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度不同;不同发光颜色的所述子像素单元的所述阳极的厚度相同,不同发光颜色的所述子像素单元的所述发光功能层的厚度相同。

An array substrate, its preparation method and display device

The application discloses an array substrate, a preparation method and a display device for improving the display effect of the display product and the production yield of the resonator. An array substrate provided in the embodiment of this application has sub-pixel units of various luminous colors, each of which includes a resonant cavity formed by a relatively arranged reflector layer and a cathode, and the resonant cavity also includes an anode between the reflector layer and the cathode, and a luminous functional layer between the anode and the cathode; The length of the resonant cavity of the sub-pixel unit of the light-emitting color is the same, and the length of the resonant cavity of the sub-pixel unit of the different light-emitting color is different; the thickness of the anode of the sub-pixel unit of the different light-emitting color is the same, and the thickness of the light-emitting functional layer of the sub-pixel unit of the different light-emitting color is the same.

【技术实现步骤摘要】
一种阵列基板及其制备方法、显示装置
本申请涉及显示
,尤其涉及一种阵列基板及其制备方法、显示装置。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode,OLED)由于具有自发光、高效率、低工作电压、轻薄、可柔性化等优点,在显示等领域应用广泛。一般有机发光材料的发射带比较宽,光谱半峰全宽大约在100纳米左右,这对于实现全色显示所要求的饱和色有一定的差距。为了提高全色显示的效果,在器件中引入光学谐振腔的方法被证明是一种很好的方法。与普通的有机发光器件相比,具有谐振腔的有机发光器件可以获得单色性较好的发光,实现窄带发射,发射强度增强,并对发射波长有选择性作用。现有技术具有谐振腔的有机发光器件的阳极材料需要包含反射率较高的金属,反射阳极通常是三层的堆栈结构,如氧化铟锡(ITO)/银(Ag)/ITO等。现有技术为了使得不同颜色子像素的谐振腔的腔长不同,通过在不同颜色的子像素的反射金属之上设置不同厚度的ITO来实现。而ITO难以形成较厚的膜层,限制谐振腔的腔长多样性,限制提高全色显示效果。并且在刻蚀形成不同厚度的ITO的工艺中,容易出现ITO刻蚀残留或过刻的问题,影响谐振腔的良率。综上,现有技术形成不同腔长的谐振腔的方案限制提高全色显示效果且影响谐振腔的制作良率。
技术实现思路
本申请实施例提供了一种阵列基板及其制备方法、显示装置,用以提高显示产品的显示效果以及提高谐振腔的制作良率。本申请实施例提供的一种阵列基板,该阵列基板具有多种发光颜色的子像素单元;各所述子像素单元包括由相对设置的反射层和阴极形成的谐振腔,所述谐振腔还包括:位于所述反射层和所述阴极之间的阳极,以及位于所述阳极和所述阴极之间的发光功能层;相同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度相同,且不同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度不同;不同发光颜色的所述子像素单元的所述阳极的厚度相同,不同发光颜色的所述子像素单元的所述发光功能层的厚度相同。本申请实施例提供的阵列基板,不同发光颜色的子像素单元的阳极的厚度相同,不同发光颜色的子像素单元的发光功能层的厚度相同,即本申请实施例提供的阵列基板,通过设置不同发光颜色的子像素单元中除了发光功能层和阳极之外谐振腔膜层具有不同的厚度,来实现不同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度不同,这样,由于无需通过设置不同厚度的阳极从而不会出现阳极刻蚀残留或过刻的问题,不会影响谐振腔的制作良率。并且,通过设置不同发光颜色的子像素单元中除了发光功能层和阳极之外谐振腔膜层具有不同的厚度,还可以实现谐振腔的腔长的多样性,提高显示产品全色显示的效果。可选地,所述谐振腔还包括位于所述反射层和所述阳极之间的绝缘层。本申请实施例提供的阵列基板,由于反射层和阳极之间设置有绝缘层,从而阳极的功函数不会被反射层拉底,可以降低OLED的开启电压,进而可以降低显示产品的功耗。并且反射层和阳极之间设置有绝缘层还可以改善阳极材料的表面粗糙度,提升器件的寿命。可选地,不同发光颜色的所述子像素单元的所述反射层的厚度不相同和/或,不同发光颜色的所述子像素单元的所述绝缘层的厚度不相同。可选地,所述阵列基板还包括薄膜晶体管,所述反射层整层设置且具有露出所述薄膜晶体管的漏极的过孔,所述阳极通过所述过孔与所述薄膜晶体管的漏极电连接。本申请实施例提供的阵列基板,由于反射层整层设置,仅在阳极与漏极电连接区域具有过孔,从而可以提升反射层对TFT阵列的遮光效果,提升TFT阵列的工作可靠性。可选地,所述反射层的材料为金属。可选地,所述阳极的材料为氧化铟锡。本申请实施例提供的一种阵列基板的制备方法,该方法包括:在所述衬底上形成多种发光颜色的子像素单元;其中,各所述子像素单元包括由相对设置的反射层和阴极形成的谐振腔,所述谐振腔还包括:位于所述反射层和所述阴极之间的阳极,以及位于所述阳极和所述阴极之间的发光功能层;相同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度相同,且不同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度不同;不同发光颜色的所述子像素单元的所述阳极的厚度相同,不同发光颜色的所述子像素单元的所述发光功能层的厚度相同。可选地,在所述衬底上形成多种发光颜色的子像素单元,具体包括:在所述衬底之上依次形成反射层、绝缘层、阳极、发光功能层、阴极;其中,不同发光颜色的所述子像素单元的所述反射层的厚度不相同,和/或不同发光颜色的所述子像素单元的所述绝缘层的厚度不相同。可选地,所述衬底包括薄膜晶体管像素电路,在所述衬底之上依次形成反射层、绝缘层、阳极、发光功能层、阴极,具体包括:在所述薄膜晶体管像素电路之上形成金属反射层,所述金属反射层具有露出所述薄膜晶体管漏极的过孔;在所述金属反射层之上形成绝缘层,所述绝缘层具有露出所述薄膜晶体管漏极的过孔;采用干法刻蚀工艺处理所述绝缘层,使得不同发光颜色的所述子像素单元的所述绝缘层的厚度不相同;在所述绝缘层之上形成阳极,所述阳极通过所述绝缘层的过孔以及所述金属反射层的过孔与所述薄膜晶体管漏极电连接;在所述阳极之上依次形成发光功能层、阴极。本申请实施例提供的一种显示装置,所述显示装置包括本申请实施例提供的上述阵列基板。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域的普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的一种阵列基板的示意图;图2为本申请实施例提供的沿图1中AA’的截面示意图;图3为本申请实施例提供的另一种阵列基板的示意图;图4为本申请实施例提供的又一种阵列基板的示意图;图5为本申请实施例提供的一种阵列基板的制备方法的示意图。具体实施方式本申请实施例提供了一种阵列基板,如图1所示,该阵列基板具有多种发光颜色的子像素单元;图1中AA’的截面图如图2所示,各所述子像素单元包括由相对设置的反射层1和阴极2形成的谐振腔3,所述谐振腔3还包括:位于所述反射层1和所述阴极2之间的阳极4,以及位于所述阳极4和所述阴极2之间的发光功能层5;如图1、2所示的阵列基板包括红色子像素单元R、绿色子像素单元G以及蓝色子像素单元B,图2中发光功能层5包括红光发光功能层6、绿光发光功能层7以及蓝光发光功能层8;相同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔3的长度相同,且不同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔3的长度不同;不同发光颜色的所述子像素单元的所述阳极4的厚度相同,不同发光颜色的所述子像素单元的所述发光功能层5的厚度相同。本申请实施例提供的阵列基板,不同发光颜色的子像素单元的阳极的厚度相同,不同发光颜色的子像素单元的发光功能层的厚度相同,即本申请实施例提供的阵列基板,通过设置不同发光颜色的子像素单元中除了发光功能层和阳极之外谐振腔膜层具有不同的厚度,来实现不同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度不同,这样,由于无需通过设置不同厚度的阳极从而不会出现阳极刻蚀残留的问题,不会影响谐振腔的制作良率。并且,通过设置不同发光颜色的子像素单元中除了发光功能层和阳极之外谐振腔膜层具有不同的厚度,还可以实现谐振腔的腔长的多样性,提高显示产品全色显示的效果。图1中,以阵列基板包括红色子像素本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阵列基板,其特征在于,该阵列基板具有多种发光颜色的子像素单元;各所述子像素单元包括由相对设置的反射层和阴极形成的谐振腔,所述谐振腔还包括:位于所述反射层和所述阴极之间的阳极,以及位于所述阳极和所述阴极之间的发光功能层;相同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度相同,且不同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度不同;不同发光颜色的所述子像素单元的所述阳极的厚度相同,不同发光颜色的所述子像素单元的所述发光功能层的厚度相同。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板,其特征在于,该阵列基板具有多种发光颜色的子像素单元;各所述子像素单元包括由相对设置的反射层和阴极形成的谐振腔,所述谐振腔还包括:位于所述反射层和所述阴极之间的阳极,以及位于所述阳极和所述阴极之间的发光功能层;相同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度相同,且不同发光颜色的所述子像素单元的谐振腔的长度不同;不同发光颜色的所述子像素单元的所述阳极的厚度相同,不同发光颜色的所述子像素单元的所述发光功能层的厚度相同。2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述谐振腔还包括位于所述反射层和所述阳极之间的绝缘层。3.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,不同发光颜色的所述子像素单元的所述反射层的厚度不相同和/或,不同发光颜色的所述子像素单元的所述绝缘层的厚度不相同。4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板还包括薄膜晶体管,所述反射层整层设置且具有露出所述薄膜晶体管的漏极的过孔,所述阳极通过所述过孔与所述薄膜晶体管的漏极电连接。5.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述反射层的材料为金属。6.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阳极的材料为氧化铟锡。7.一种阵列基板的制备方法,其特征在于,该方法包括:在所述衬底上形成多种发光颜色的子像素单元;其中,各所述子像素单元包括由相对设置的反射层和阴极形成的谐振腔,所述谐振腔还包括:位...

【专利技术属性】
技术研发人员:王国英宋振
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司
类型:发明
国别省市:北京,11

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