可折叠显示面板及其制作方法和可折叠显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种可折叠显示面板及其制作方法和可折叠显示装置，所述可折叠显示面板包括：一柔性衬底，在所述柔性衬底上沿背离柔性衬底方向依次层叠设置有一阻挡层、一缓冲层、一有源层、一栅极绝缘层和一栅极，在所述栅极绝缘层和栅极上设置有一第一有机绝缘层，所述第一有机绝缘层覆盖所述栅极，在所述第一有机绝缘层上设置一金属箔层，在所述金属箔层上设置一第二有机绝缘层；所述第一有机绝缘层和所述第二有机绝缘层是由有机材料制成；所述金属箔层中的金属箔为交叉互联的网状结构。

Foldable Display Panel and Its Making Method and Foldable Display Device

The present invention provides a foldable display panel and its fabrication method and a foldable display device. The foldable display panel includes a flexible substrate on which a barrier layer, a buffer layer, an active layer, a gate insulating layer and a gate are arranged in turn along the direction away from the flexible substrate, and a first one is arranged on the gate insulating layer and the gate. The first organic insulating layer covers the gate, a metal foil layer is arranged on the first organic insulating layer, a second organic insulating layer is arranged on the metal foil layer, the first organic insulating layer and the second organic insulating layer are made of organic materials, and the metal foil in the metal foil layer is a cross-connected network structure.

【技术实现步骤摘要】
可折叠显示面板及其制作方法和可折叠显示装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种可折叠显示面板及其制作方法和可折叠显示装置。
技术介绍
显示产品目前正在蓬勃发展，并且随着消费者对笔记本电脑、智能手机、电视、平板电脑、智能手表和健身腕带等各类产品的需求的持续提升，将来会涌现出更多的新显示产品。特别是，市场上的智能手机显示屏的主流趋势是全面屏，随着人们对智能手机超薄、形态多元化的需求不断增强，于是，可折叠的智能手机可能成为显示产业发展的新方向和产能突破点。这样，相对于目前所使用的背板技术，可折叠智能手机的技术需求及产品的信赖性要求会更高。如果将现有低温多晶硅(LowTemperaturePoly-silicon，简称LTPS)背板技术直接移植至可折叠产品上，那么可折叠产品可能会产生背板脆裂的问题，且产品的可靠性较低。有鉴于此，需提供一种新型的可折叠显示面板或显示装置，以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种可折叠显示面板及其制作方法和可折叠显示装置，所述可折叠显示面板通过将传统的无机绝缘层替换为耐弯折的有机绝缘层，以提高显示面板的可弯折性；另外，在有机绝缘层层间新增交叉互联的金属箔层，从而在提高显示面板的耐弯折特性的同时，提高弯折后的可恢复性，进一步提高产品的信赖性和可靠度。根据本专利技术的一方面，本专利技术提供了一种可折叠显示面板，其包括：一柔性衬底，在所述柔性衬底上沿背离柔性衬底方向依次层叠设置有一阻挡层、一缓冲层、一有源层、一栅极绝缘层和一栅极，在所述栅极绝缘层和栅极上设置有一第一有机绝缘层，所述第一有机绝缘层覆盖所述栅极，在所述第一有机绝缘层上设置一金属箔层，在所述金属箔层上设置一第二有机绝缘层；所述第一有机绝缘层和所述第二有机绝缘层是由有机材料制成；所述金属箔层中的金属箔为交叉互联的网状结构。在本专利技术的一实施例中，在所述柔性衬底和所述第一有机绝缘层之间沿背离柔性衬底方向依次层叠设置有一聚酰亚胺层、一阻挡层、一缓冲层、一有源层、一第一栅极绝缘层、一第一栅极、一第二栅极绝缘层和一第二栅极。在本专利技术的一实施例中，在所述第二有机绝缘层、所述金属箔层、所述第一有机绝缘层、所述第二栅极绝缘层和所述第一栅极绝缘层中设置源极和漏极；在所述第二有机绝缘层上设置有一平坦层，在平坦层上设置有一阳极层和像素定义层以及设置在所述像素定义层上的隔离柱。在本专利技术的一实施例中，所述缓冲层包括沿背离柔性衬底方向依次层叠设置的第一缓冲层、第二缓冲层和第三缓冲层，所述第一缓冲层由氮化硅材料制成，第二缓冲层由氧化硅材料制成，第三缓冲层由非晶矽材料制成；所述第一缓冲层的厚度为500埃，所述第二缓冲层的厚度为2000～3000埃，所述第三缓冲层的厚度为400～500埃。在本专利技术的一实施例中，所述栅极绝缘层包括第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层，所述栅极也包括第一栅极和第二栅极；其中所述第一栅极绝缘层、第一栅极、第二栅极绝缘层和所述第二栅极沿背离柔性衬底方向依次层叠设置。在本专利技术的一实施例中，所述第一栅极绝缘层由氧化硅材料制成，所述第一栅极绝缘层的厚度的900～1500埃；所述第二栅极绝缘层由氮化硅材料制成，所述第二栅极绝缘层的厚度的1000～1300埃。根据本专利技术的另一方面，提供一种可折叠显示装置，所述可折叠显示装置包括上述可折叠显示面板。根据本专利技术的又一方面，提供一种可折叠显示面板的制作方法，其包括以下步骤：(a)提供一柔性衬底；(b)在柔性衬底上设置一阻挡层；(c)在所述阻挡层上依次沉积氮化硅层、氧化硅层和非晶硅层，以形成缓冲层；(d)在所述缓冲层上形成一有源层，并且对所述有源层进行曝光显影、刻蚀和剥膜制程，以图案化所述有源层；(e)在所述有源层和所述缓冲层上设置一第一栅极绝缘层，所述第一栅极绝缘层覆盖所述有源层，在所述第一栅极绝缘层上沉积一第一金属层，并且对所述第一金属层图案化，以形成第一栅极；(f)在第一栅极绝缘层和第一栅极上设置一第二栅极绝缘层，所述第二栅极绝缘层覆盖所述第一栅极，在所述第二栅极绝缘层上沉积一第二金属层，并且对所述第二金属层图案化，以形成第二栅极，并构建存储电容；(g)在所述第二栅极绝缘层和第二栅极上形成一第一有机绝缘层；(h)在所述第一有机绝缘层上沉积一金属层，并且对所述金属层进行图案化以形成一金属箔层；(i)在所述金属箔层上形成一第二有机绝缘层。在本专利技术的一实施例中，所述方法还包括：在步骤(g)中，采用光罩制程，在所述第一有机绝缘层中形成第一过孔和第二过孔。在本专利技术的一实施例中，所述方法还包括：在步骤(i)中，采用光罩制程和刻蚀制程，在所述第二有机绝缘层、所述金属箔层、所述第一有机绝缘层、所述第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层内形成第三过孔和第四过孔，所述第三过孔和所述第四过孔的位置分别与所述第一过孔和所述第二过孔的位置相对应。在本专利技术的一实施例中，所述方法还包括：在步骤(i)之后包括以下步骤：(i1)在所述第三过孔和所述第四过孔内填充金属材料，以分别形成源极和漏极；(i2)在所述第二有机绝缘层上涂覆树脂以形成一平坦层，并且在所述平坦层上形成一阳极层和像素定义层，并且对阳极层进行图案化；(i3)对所述像素定义层进行开孔，以及在所述像素定义层设置隔离柱。本专利技术的优点在于，本专利技术可折叠显示面板及其制作方法和可折叠显示装置是通过将传统的无机绝缘层替换为耐弯折的有机绝缘层，以提高显示面板的可弯折性；另外，在有机绝缘层层间新增交叉互联的金属箔层，从而在提高显示面板的耐弯折特性的同时，提高弯折后的可恢复性，进一步提高产品的信赖性和可靠度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术一实施例中的可折叠显示面板的结构示意图；图2是本专利技术一实施例中的可折叠显示装置的示意图；图3是本专利技术一实施例中的可折叠显示面板的制作方法的步骤流程图。图4A至图4L是本专利技术所述实施例中的可折叠显示面板的制作方法的工艺流程图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术的说明书和权利要求书以及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应当理解，这样描述的对象在适当情况下可以互换。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。在本专利文档中，下文论述的附图以及用来描述本专利技术公开的原理的各实施例仅用于说明，而不应解释为限制本专利技术公开的范围。所属领域的技术人员将理解，本专利技术的原理可在任何适当布置的系统中实施。将详细说明示例性实施方式，在附图中示出了这些实施方式的实例。此外，将参考附图详细描述根据示例性实施例的终端。附图中的相同附图标号指代相同的元件。本专利技术说明书中使用的术语仅用来描述特定实施方式，而并不意图显示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可折叠显示面板，其包括：一柔性衬底，在所述柔性衬底上沿背离柔性衬底方向依次层叠设置有一阻挡层、一缓冲层、一有源层、一栅极绝缘层和一栅极，其特征在于，在所述栅极绝缘层和栅极上设置有一第一有机绝缘层，所述第一有机绝缘层覆盖所述栅极，在所述第一有机绝缘层上设置一金属箔层，在所述金属箔层上设置一第二有机绝缘层；所述第一有机绝缘层和所述第二有机绝缘层是由有机材料制成；所述金属箔层中的金属箔为交叉互联的网状结构。

【技术特征摘要】
1.一种可折叠显示面板，其包括：一柔性衬底，在所述柔性衬底上沿背离柔性衬底方向依次层叠设置有一阻挡层、一缓冲层、一有源层、一栅极绝缘层和一栅极，其特征在于，在所述栅极绝缘层和栅极上设置有一第一有机绝缘层，所述第一有机绝缘层覆盖所述栅极，在所述第一有机绝缘层上设置一金属箔层，在所述金属箔层上设置一第二有机绝缘层；所述第一有机绝缘层和所述第二有机绝缘层是由有机材料制成；所述金属箔层中的金属箔为交叉互联的网状结构。2.根据权利要求1所述的可折叠显示面板，其特征在于，在所述第二有机绝缘层、所述金属箔层、所述第一有机绝缘层、所述第二栅极绝缘层和所述第一栅极绝缘层中设置源极和漏极；在所述第二有机绝缘层上设置有一平坦层，在平坦层上设置有一阳极层和像素定义层以及设置在所述像素定义层上的隔离柱。3.根据权利要求1所述的可折叠显示面板，其特征在于，所述缓冲层包括沿背离柔性衬底方向依次层叠设置的第一缓冲层、第二缓冲层和第三缓冲层，所述第一缓冲层由氮化硅材料制成，第二缓冲层由氧化硅材料制成，第三缓冲层由非晶矽材料制成；所述第一缓冲层的厚度为500埃，所述第二缓冲层的厚度为2000～3000埃，所述第三缓冲层的厚度为400～500埃。4.根据权利要求1所述的可折叠显示面板，其特征在于，所述栅极绝缘层包括第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层，所述栅极也包括第一栅极和第二栅极；其中所述第一栅极绝缘层、第一栅极、第二栅极绝缘层和所述第二栅极沿背离柔性衬底方向依次层叠设置。5.根据权利要求4所述的可折叠显示面板，其特征在于，所述第一栅极绝缘层由氧化硅材料制成，所述第一栅极绝缘层的厚度的900～1500埃；所述第二栅极绝缘层由氮化硅材料制成，所述第二栅极绝缘层的厚度的1000～1300埃。6.一种可折叠显示装置，其特征在于，所述可折叠显示装置包括权利要求1至5任一项所述的可折叠显示面板。7.一种如权利要求1所述的可折叠显示面板的制作方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：方宏，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42