The invention discloses a scroll type non-contact vacuum suction cup for preventing workpiece rotation and oscillation, which comprises an upper end cover and a lower end cover; the upper end cover and the lower end cover are fixed connected; the upper end cover center is provided with a through hole; the lower end cover is a stepped cylinder structure with small upper end and large lower end; the lower end cover center is provided with a blind hole coaxially with the through hole; the upper end cover is provided with a installation hole, and the upper end cover cylinder is located at the installation hole. The upper cylinder of the lower end cover is smaller than the size of the installation hole; the radial direction of the end cover is uniformly provided with multiple air guide holes, which connect the blind hole with the cavity; a sealing ring is arranged between the upper end face of the lower end cover cylinder and the lower end face of the upper end cover; a ring cavity is arranged at the lower end cover; at least two jet holes are uniformly arranged on the lower end cover; and the cavity and the ring cavity are connected by the air guide holes. Connecting; the direction of the outlet jet of the jet hole is tangent to the radial direction of the annular cavity; a plurality of diversion holes are evenly arranged along the radial direction of the lower end cover; the invention can make the work piece more stable in the absorption process.
【技术实现步骤摘要】
一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘
本专利技术属于非接触搬运领域,特别是一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘。
技术介绍
在半导体及平板显示制造业中,对单晶硅原片或LCD显示屏的表面质量要求越来越高,为了避免对工件表面的污染和损伤等不良影响,非接触式搬运技术得到越来越广泛的应用。涡旋式非接触真空吸盘是一种利用空气动力来吸附工件的新型非接触搬运末端执行器,与Bernoulli式非接触吸盘相比,有着真空发生装置简易,耗气量小的突出优点,有着广阔的发展前景。然而现存问题也非常的明显,吸盘在吸取工件时,工件会在吸盘的轴向方向振荡,吸盘和工件的初始间隙不合理会使工件振荡过大,且振荡衰减较慢,导致吸盘和工件碰撞接触,另外在吸盘的径向方向工件会不断的旋转,极容易让工件失去平衡位置损伤工件,现有的解决方法时通过多个不同旋向(左旋和右旋)按照固定的位置关系组合排布的吸盘来吸取工件,随着半导体领域所生产的工件尺寸越来越大,厚度也越来越薄,在吸取和搬运过程中工件更易产生变形,无法根本上解决振荡和旋转的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘,以实现工件吸取过程中更加趋于稳定。实现本专利技术目的的技术解决方案为:一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘,包括上端盖、下端盖;所述上端盖和下端盖固定连接;所述上端盖中心设有通孔,作为气体流入通道;所述下端盖为上端小、下端大的台阶圆柱结构;所述下端盖中心设有与通孔同轴的盲孔;所述上端盖下部设安装孔,下端盖上端圆柱位于安装孔内,且下端盖上端圆柱小于安装孔尺寸,使得下端盖上端与安装 ...
【技术保护点】
1.一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘,其特征在于,包括上端盖(1)、下端盖(2);所述上端盖(1)和下端盖(2)固定连接;所述上端盖(1)中心设有通孔(1‑1),作为气体流入通道;所述下端盖(2)为上端小、下端大的台阶圆柱结构;所述下端盖(2)中心设有与通孔(1‑1)同轴的盲孔(2‑1);所述上端盖(1)下部设安装孔(1‑2),下端盖(2)上端圆柱位于安装孔(1‑2)内,且下端盖(2)上端圆柱小于安装孔(1‑2)尺寸,使得下端盖(2)上端与安装孔(1‑2)之间形成空腔(3),作为空气流入腔;所述端盖(2)径向上均匀设有多个导气孔(2‑2),所述导气孔(2‑2)将盲孔(2‑1)与空腔(3)相连通;所述下端盖(2)下端圆柱上端面与上端盖(1)下端面之间设有密封圈(4),以对空腔(3)进行密封;所述下端盖(2)下端设有一圈环形腔(2‑3),作为涡旋发生腔;所述下端盖(2)上均匀设有至少两个射流发生孔(2‑4);所述射流发生孔(2‑4)将空腔(3)与环形腔(2‑3)相连通;所述射流发生孔(2‑4)的出气口射流方向与环形腔(2‑3)径向相切,且所述射流发生孔(2‑4)所在平面的法线与吸 ...
【技术特征摘要】
1.一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘,其特征在于,包括上端盖(1)、下端盖(2);所述上端盖(1)和下端盖(2)固定连接;所述上端盖(1)中心设有通孔(1-1),作为气体流入通道;所述下端盖(2)为上端小、下端大的台阶圆柱结构;所述下端盖(2)中心设有与通孔(1-1)同轴的盲孔(2-1);所述上端盖(1)下部设安装孔(1-2),下端盖(2)上端圆柱位于安装孔(1-2)内,且下端盖(2)上端圆柱小于安装孔(1-2)尺寸,使得下端盖(2)上端与安装孔(1-2)之间形成空腔(3),作为空气流入腔;所述端盖(2)径向上均匀设有多个导气孔(2-2),所述导气孔(2-2)将盲孔(2-1)与空腔(3)相连通;所述下端盖(2)下端圆柱上端面与上端盖(1)下端面之间设有密封圈(4),以对空腔(3)进行密封;所述下端盖(2)下端设有一圈环形腔(2-3),作为涡旋发生腔;所述下端盖(2)上均匀设有至少两个射流发生孔(2-...
【专利技术属性】
技术研发人员:滕燕,向禹,谢玉飞,
申请(专利权)人:南京理工大学,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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