The invention discloses an electrolyte for copper micro electrolytic jet processing and its preparation and use method. The electrolyte comprises the following components of volume percentage: phosphoric acid 80%90%; ethanol 6%12%; lactic acid 4%8%. In the electrolyte proposed in the present invention, phosphoric acid can stably remove the copper metal surface, effectively alleviate the growth of passive film on the copper metal surface, dissolve the hydroxides produced by processing in the narrow electrode gap, ensure the stable and efficient conductivity of the processing area, and avoid the deterioration of the surface roughness caused by the products. The electrolyte proposed in the invention can further reduce the roughness of the electrolytic machined surface, at the same time make the machinability more stable and the dimension accuracy of the machined microstructures higher. The method of the invention can keep the electrolyte in good activity and ensure the stability of the processing performance, thereby further improving the dimensional accuracy of the machined microstructures.
【技术实现步骤摘要】
一种铜微细电解射流加工的电解液及其配制和使用方法
本专利技术属于电化学加工领域,特别涉及一种铜微细电解射流加工的电解液及其配制和使用方法。
技术介绍
金属铜材料具有良好的导电性和导热性,因而被广泛应用于航空航天、电子工业、军工产品、仪表仪器等领域的微细结构器件产品中。这些微细结构器件的尺寸精度要求已从微米量级、亚微米量级发展到纳米量级。由于微细结构的表面质量和结构精度会直接影响器件的性能,因此发展高精度高表面质量的微细结构加工技术具有十分重要的意义。目前的微细精密加工方法大致分为传统机械微细加工和微细特种加工。传统的机械加工不可避免地会出现晶格结构变化、力变形、热变形和毛刺飞边等问题。微细特种加工,如电火花加工、超声振动加工、高能束流加工等等,虽然能够实现高效的微结构加工,但由于材料以高温熔融、研磨或冲击的方式去除,表面粗糙度普遍在亚微米量级,表层材料的力学特性和本体材料也有很大差异,不能满足对表面粗糙度和材料性能有较高要求零件的加工需求。目前国内外对铜金属的电化学性能已经开始了初步探究,电解加工以电化学阳极溶解的方式去除材料,无接触应力,不会出现再凝固层、热影响区或应变硬化现象,并且可以解决铜金属加工过程表面粗糙度恶化的难题,具有重要意义。电解射流加工是传统电解加工的重要变体,电化学射流加工能有效地利用多维机械运动来制造复杂的结构。其基本加工原理是在阴极(喷嘴)和阳极(工件)上施加电压的同时,从喷嘴向工件喷射电解质射流束。射流加工正是通过具有一定电流密度分布规律的射流束来实现材料去除的。由于其灵活性和方便性等优势,更是被广泛研究与应用。电解加工以电化学阳 ...
【技术保护点】
1.一种铜微细电解射流加工的电解液,其特征在于:包括以下体积百分比的组分:磷酸80%‑90%;乙醇6%‑12%;乳酸4%‑8%;还包括以下添加剂:苯并三氮唑5‑7g/L,乙酸铵2‑4g/L;所述的添加剂的用量按磷酸、乙醇和乳酸混合后的总体积添加。
【技术特征摘要】
1.一种铜微细电解射流加工的电解液,其特征在于:包括以下体积百分比的组分:磷酸80%-90%;乙醇6%-12%;乳酸4%-8%;还包括以下添加剂:苯并三氮唑5-7g/L,乙酸铵2-4g/L;所述的添加剂的用量按磷酸、乙醇和乳酸混合后的总体积添加。2.根据权利要求1所述的一种铜微细电解射流加工的电解液,其特征在于:所述的组分和添加剂的纯度要求如下:磷酸的质量含量为85%,分析纯;乙醇的质量含量为99.7%,分析纯;乳酸的质量含量为85%-90%,分析纯;苯并三氮唑的质量含量为99%,分析纯;乙酸铵的质量含量为98%,分析纯。3.一种如权利要求1所述的铜微细电解射流加工的电解液的配制方法,其特征在于:包括以下步骤:A、按体积组分要求将磷酸、乙醇和乳酸加入到混合容器中;B、按磷酸、乙醇和乳酸的总体积计算添加剂的用量,并将添加剂加入到混合容器中;C、温度控制在30-35℃范围内,采用...
【专利技术属性】
技术研发人员:周平,冯一明,闫英,郭东明,
申请(专利权)人:大连理工大学,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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