The utility model discloses an octahedral ultra-high vacuum chamber. The ultra-high vacuum chamber is machined by stainless steel as a whole, and the shape of the vacuum chamber is octagonal. Under the condition of ensuring the mechanical strength of the chamber, 8 to 16 flange joints on eight sides of the chamber are realized. The stainless steel rod is machined into octagonal form, and the cylindrical cavity is bored out in the octagonal cylinder, and the upper and lower surfaces of the octagonal cylinder are machined into flanges. After the main body of the chamber is formed, one or two holes are bored in each chamber wall of the octagonal prism, and the holes directly prepare flange joints or welded flanges. The 16 side flange interfaces of the chamber can be easily observed. The vacuum and symmetry of the 16 side flange interfaces can fully meet the requirements of MBE growth chamber.
【技术实现步骤摘要】
一种八面超高真空腔体
本专利技术涉及超高真空整体腔室制作,尤其是更高的真空度以及对称性真空腔体的结构与制备。
技术介绍
一般来说,超高真空设备系统由真空泵、真空计、真空腔室及其它部件组成。它的核心为实现超高真空环境(真空度要好于1×10-10mbar),以确保所需的工艺过程或者物理过程能够实现,同时应用于在半导体、凝聚态物理、化学、新材料研究和生物科学等各个领域。在超高真空系统中,真空腔室的漏率和腔室内壁释气往往决定着该腔室的极限真空情况。真空腔室的漏率及释气与其容积、材质、形状及工艺制程密切相关。由于工艺的限制,腔体一般由不锈钢材料制备而成。超高真空腔室(一般来说为球形或者圆柱形,目的是分散压力)都是用薄壁材料焊接而成的,腔壁的厚度局限于2-4mm。以球形真空腔室为例,其制作过程主要有以下几个步骤:利用模具将板料冲压出两个直径一致的半球,机械抛光,焊接成整球,在指定的位置镗孔,用焊接的方式把腔室、管道、法兰组合起来,电解抛光。其中冲压、镗孔、焊接过程对腔体的对称性和漏率会造成不可控的影响。为了使腔体实现更高的超高真空环境,本专利技术所提及的整体腔室会很大程度上优化制作工艺,极大地减少了腔室发生泄漏的风险。整体腔室,是用机械加工的方式,车削车铣来直接加工大块的不锈钢原材料,一次性地直接形成腔室。
技术实现思路
本专利技术目的是,提供一种八面超高真空腔体。它可以提供超高真空环境,并作为MolecularBeamEpitaxy(MBE)的生长腔室。本专利技术的技术方案是,一种八面超高真空腔体,包括超高真空主腔室;所述的超高真空腔室是由不锈钢整体机械加工,由锈钢棒加 ...
【技术保护点】
1.一种八面超高真空腔体,其特征是包括超高真空主腔室;所述的超高真空腔室是由不锈钢整体机械加工,由锈钢棒加工成八棱柱形式,在八棱柱内镗出圆柱形空腔;将八棱柱上下两个面加工为法兰;真空腔室的形状是八棱柱形;真空腔室的八棱柱形的8个侧面设有8‑16个法兰接口;腔室主体成型后,在其八棱柱的每个侧面作为腔壁,腔壁上分别镗一或二个孔,孔直接制备法兰接口或焊接法兰。
【技术特征摘要】
1.一种八面超高真空腔体,其特征是包括超高真空主腔室;所述的超高真空腔室是由不锈钢整体机械加工,由锈钢棒加工成八棱柱形式,在八棱柱内镗出圆柱形空腔;将八棱柱上下两个面加工为法兰;真空腔室的形状是八棱柱形;真空腔室的八棱柱形的8个侧面设有8-16个法兰接口;腔室主体成型后,在其八棱柱的每个侧面作为腔壁,腔壁上分别镗一或二个孔,孔直接制备法兰接口或焊接法兰。2.根据权利要求1所述的八面超高真空腔体,其特征是,八棱柱上下两个面加工的法兰为第1、第2法兰,规格为CF200,分别用来安装样品操纵台和安装束源的法兰。3.根据权利要求1所述的八面超高真空腔体,其特征是,真空腔室的8个侧面中相互间隔的四个面各加工一个法兰,构成第3、4、5、6法兰,第3、4、5、6法兰包括3个CF35和一个CF...
【专利技术属性】
技术研发人员:何亮,许焕峰,杜强强,邹文琴,刘文卿,徐高翔,徐永兵,
申请(专利权)人:南京大学,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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