The utility model discloses a TMA gas supply system of a tubular PECVD furnace, which comprises a nitrogen source, a gas supply pipeline, a TMA bottle, a liquid delivery pipeline, a liquid flowmeter (LFM01), an evaporator (CEM), and a process gas output pipeline connected in turn. The nitrogen source and the evaporator are also connected in series with a gas mixing pipeline and a first mass flowmeter (FMC01). The gas delivery valves and feeding valves are connected in series in the gas transmission pipeline. The liquid pipeline is connected with the liquid delivery valve in series and the mixed gas pipeline is connected with the mixed gas valve (PV02), the controller controls the opening and closing of the air supply valve, the liquid delivery valve and the mixed gas valve, and the opening degree of the two flowmeters is controlled according to the flow rate measured by the two flowmeters. The utility model enables the traditional PECVD equipment to have the process of making alumina, and solves the laminated deposition of ALOX and SiNX in one-stop mode, and the thickness of the two flowmeters.
【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD炉TMA供气系统
本技术涉及太阳能电池片生产设备,尤其涉及一种管式PECVD炉TMA供气系统。
技术介绍
随着光伏行业发展,行业内主要生产太阳能电池片的设备管式PECVD炉的生产工艺也不断的得到改进和发展。PERC电池生产工艺是目前主要发展方向,PERC钝化发射极和背面电池技术,就是在常规电池基础上在背面做一层氧化铝+氮化硅,然后再激光开模,单晶目前效率可达21%以上。现有技术的不足和缺陷:1、现有的管式PECVD设备只能对电池片镀氮化硅膜,需配另外的设备(ALD或者板式PECVD)做氧化铝膜。2、现有的PECVD设备生产的电池片光电转换效率在现有技术条件下提升困难。因此,业内亟需设计一种供气系统,可以在传统PECVD设备的基础上,将TMA(三甲基铝)液体转换成气态,以便满足工艺对TMA源的要求,同时还需解决用TMA源瓶供液,换TMA源瓶时可以不间断供液。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的上述缺陷,本技术提出一种可以不间断供液的管式PECVD炉TMA供气系统。为解决上述技术问题,本技术提出的技术方案是设计一种管式PECVD炉TMA供气系统,其包括依次连接的氮气源、送气管路、TMA瓶、送液管路、液体流量计LFM01、蒸发器CEM、工艺气体输出管路,所述氮气源与蒸发器CEM之间还串接混气管路和第一质量流量计FMC01,所述送气管路中串接送气阀、送液管路中串接送液阀、混气管路中串接混气阀PV02,所述液体流量计LFM01和第一质量流量计连接控制器,控制器控制送气阀、送液阀和混气阀的启闭,并根据两流量计所测流量控制液体流量计LFM01和第一质量流量 ...
【技术保护点】
1.一种管式PECVD炉TMA供气系统,其特征在于:包括依次连接的氮气源、送气管路、TMA瓶、送液管路、液体流量计(LFM01)、蒸发器(CEM)、工艺气体输出管路,所述氮气源与蒸发器之间还串接混气管路和第一质量流量计(FMC01),所述送气管路中串接送气阀、送液管路中串接送液阀、混气管路中串接混气阀(PV02),所述液体流量计和第一质量流量计连接控制器,控制器控制送气阀、送液阀和混气阀的启闭,并根据两流量计所测流量控制液体流量计和第一质量流量计的开启度。
【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD炉TMA供气系统,其特征在于:包括依次连接的氮气源、送气管路、TMA瓶、送液管路、液体流量计(LFM01)、蒸发器(CEM)、工艺气体输出管路,所述氮气源与蒸发器之间还串接混气管路和第一质量流量计(FMC01),所述送气管路中串接送气阀、送液管路中串接送液阀、混气管路中串接混气阀(PV02),所述液体流量计和第一质量流量计连接控制器,控制器控制送气阀、送液阀和混气阀的启闭,并根据两流量计所测流量控制液体流量计和第一质量流量计的开启度。2.如权利要求1所述的管式PECVD炉TMA供气系统,其特征在于:所述送气管路包括第一、第二送气管路,所述TMA瓶包括第一、第二TMA瓶,所述送液管路包括第一、第二送液管路;其中第一送气管路、第一TMA瓶和第一送液管路依次串联后连接所述液体流量计(LFM01),第一送气管路中串接第一送气阀(PV10),第一送液管路中串接第一送液阀(PV11);第二送气管路、第二TMA瓶和第二送液管路依次串联后连接所述液体流量计(LFM01),第二送气管路中串接第二送气阀(PV08),第二送液管路中串接第二送液阀(PV09);所述控制器控制所述第一送气阀、第一送液阀、第二送气阀、第二送液阀的启闭。3.如权利要求2所述的管式PECVD炉TMA供气系统,其特征在于:所述第一TMA瓶具有进气口和出液口、其进气口上设有第十二手动阀(MV12)、其出液口上设有第十三手动阀(MV13),第十二手动阀(MV12)至第一送气阀(PV10)之间连接第十八控制阀(PV18),第十三手动阀(MV13)至第一送液阀(PV11)之间依次连接第十九控制阀(PV19)、第二十五控制阀(PV25),第一送气阀(PV10)至第十八控制阀(PV18)之间的管路、和第二十五控制阀(PV25)至第十九控制阀(PV19)的管路、这两个管路之间连接第十五控制阀(PV15);所述第二TMA瓶具有进气口和出液口、其进气口上设有第十手动阀(MV10)、其出液口上设有第十一手动阀(MV11),第十手动阀(MV10)至第二送气阀(PV08)之间连接第十六控制阀(PV16),第十一手动阀(MV11)至第二送液阀(PV09)之间依次连接第十七控制阀(PV17)、第二十四控制阀(PV24),第二送气阀(PV08)至第十六控制阀(PV16)之间的管路、和第二十四控制阀(PV24)至第十七控制阀(PV17)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:李致文,肖四哲,张勇,伍波,
申请(专利权)人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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