一种用于多穴电阻蒸发装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于多穴电阻蒸发装置，包括有阻蒸接线柱、安装柱、阻蒸坩埚、坩埚托盘、托盘转轴、腔体、步进电机，所述坩埚托盘通过托盘转轴安装在磁流体上，所述安装柱安装在腔体上，所述托盘转轴由步进电机带动，所述坩埚托盘上围绕托盘边缘位置均匀安装有多个圆形的阻蒸坩埚，所述阻蒸坩埚底部对应位置安装有一个圆形的加热盘；所述安装柱下端通过有联轴环固定在绝缘套内，再通过锁紧螺母固定，本实用新型专利技术阻蒸钳埚与加热盘就完全分离设计，只需要转动托盘转轴，即可以对钳埚托盘上的每一个阻蒸钳埚进行加热，而且设计简单，加热效果好，维护也非常方便。

A Multi-Point Resistance Evaporation Device

The utility model discloses a multi-hole resistance evaporation device, which comprises a steaming resistance junction column, an installation column, a steaming resistance crucible, a crucible tray, a tray rotating shaft, a cavity and a stepping motor. The crucible tray is mounted on a magnetic fluid through a tray rotating shaft, and the installation column is mounted on the cavity. The tray rotating shaft is driven by a stepping motor, and the crucible tray surrounds the edge of the tray. A plurality of circular steaming inhibitor crucibles are evenly installed in the position, and a circular heating plate is installed at the corresponding position at the bottom of the steaming inhibitor crucible; the lower end of the installation column is fixed in the insulating sleeve through a coupling ring, and then fixed by a locking nut, so that the steaming inhibitor crucible of the utility model can be completely separated from the heating plate and designed, and each of the clamping crucible trays can be rotated only by rotating the tray shaft. The steaming clamp pot is heated, and the design is simple, the heating effect is good, and the maintenance is very convenient.

【技术实现步骤摘要】
一种用于多穴电阻蒸发装置
本技术涉及蒸发镀膜生产线
，具体为一种用于多穴电阻蒸发装置。
技术介绍
装饰镀膜、光电功能膜和光学镀膜在日常消费领域，如家电、手机、智能家居和车载显示的广泛应用，尤其是真空镀膜推动了装饰镀膜、光电功能膜和光学彩色膜广泛的在这些领域使用了。目前，市面上的一些真空镀膜设备在蒸发装置大多采用电子束加热蒸发装置或电阻加热式蒸发装置，因为电阻加热式蒸发装置是利用电阻丝通电后产生的热量加热坩埚中的蒸发物料使其汽化，电阻加热式蒸发装置不仅具有结构简单、蒸发效率高、温度稳定和加热均匀等优点，已大量用于工业和实验室中。但是市面上的大多电阻加热式蒸发装置大多在加热过程中，对每一个坩埚加热比较复杂，而且效率也不高，容易出现烧坏坩埚情况，维改相对也不是很方便。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于多穴电阻蒸发装置，它能有效的解决
技术介绍
中存在的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于多穴电阻蒸发装置，包括有阻蒸接线柱(1)、安装柱(5)、阻蒸坩埚(7)、坩埚托盘(8)、托盘转轴(9)、腔体(11)、步进电机(12)，所述的坩埚托盘(8)通过托盘转轴(9)安装在磁流体(10)上，所述的安装柱(5)安装在腔体(11)上，所述托盘转轴(9)由步进电机(12)带动，所述坩埚托盘(8)上围绕托盘边缘位置均匀安装有多个圆形的阻蒸坩埚(7)，所述的阻蒸坩埚(7)底部对应位置安装有一个圆形的加热盘(6)；所述的安装柱(5)下端通过有联轴环(4)固定在绝缘套(3)内，再通过锁紧螺母(2)固定。进一步，所述的阻蒸接线柱(1)安装在安装柱(5)顶端，且由两根相同的安装柱(5)将加热盘(6)支撑固定，同时，加热盘内均匀设有加热电阻丝。进一步，所述托盘转轴(9)上安装有磁流体(10)。本技术的有益效果是：本技术阻蒸钳埚与加热盘就完全分离设计，只需要转动托盘转轴，即可以对钳埚托盘上的每一个阻蒸钳埚进行加热，而且设计简单，加热效果好，维护也非常方便。附图说明图1为本技术的侧视图；图2为本技术的正视图；图3为本技术的主视图；图4为本技术的俯视图；附图标记中：1-阻蒸接线柱、2-锁紧螺母、3-绝缘套、4-联轴环、5-安装柱、6-加热盘、7-阻蒸钳埚、8-钳埚托盘、9-托盘转轴、10-磁流体、11-腔体、12-步进电机。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供如下技术方案：一种用于多穴电阻蒸发装置，包括有阻蒸接线柱(1)、安装柱(5)、阻蒸坩埚(7)、坩埚托盘(8)、托盘转轴(9)、腔体(11)、步进电机(12)，所述坩埚托盘(8)通过托盘转轴(9)安装在磁流体(10)上，所述安装柱(5)安装在腔体(11)上，所述托盘转轴(9)由步进电机(12)带动，所述的托盘转轴(9)上安装有磁流体(10)，所述的坩埚托盘(8)上围绕托盘边缘位置均匀安装有多个圆形的阻蒸坩埚(7)，所述阻蒸坩埚(7)底部对应位置安装有一个圆形的加热盘(6)；所述安装柱(5)下端通过有联轴环(4)固定在绝缘套(3)内，再通过锁紧螺母(2)固定；所述阻蒸接线柱(1)安装在安装柱(5)顶端，且由两根相同的安装柱(5)将加热盘(6)支撑固定，同时，加热盘内均匀设有加热电阻丝。下面结合原理对本技术作进一步说明：当步进电机(12)运动带动托盘转轴(9)转动，同时，钳埚托盘(8)也随着转动，从而使钳埚托盘(8)上的阻蒸钳埚(7)与加热盘(6)隔空加热，每转动一次，加热一次；同时，也可以对联轴环(4)进行调节，来调整加热盘(6)与阻蒸钳埚(7)之间的距离，从而可以达到需要加热温度的大小。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于多穴电阻蒸发装置，包括有阻蒸接线柱(1)、安装柱(5)、阻蒸坩埚(7)、坩埚托盘(8)、托盘转轴(9)、腔体(11)、步进电机(12)，所述坩埚托盘(8)通过托盘转轴(9)安装在磁流体(10)上，所述安装柱(5)安装在腔体(11)上，所述托盘转轴(9)由步进电机(12)带动，其特征在于：所述坩埚托盘(8)上围绕托盘边缘位置均匀安装有多个圆形的阻蒸坩埚(7)，所述阻蒸坩埚(7)底部对应位置安装有一个圆形的加热盘(6)；所述安装柱(5)下端通过有联轴环(4)固定在绝缘套(3)内，再通过锁紧螺母(2)固定。

【技术特征摘要】
1.一种用于多穴电阻蒸发装置，包括有阻蒸接线柱(1)、安装柱(5)、阻蒸坩埚(7)、坩埚托盘(8)、托盘转轴(9)、腔体(11)、步进电机(12)，所述坩埚托盘(8)通过托盘转轴(9)安装在磁流体(10)上，所述安装柱(5)安装在腔体(11)上，所述托盘转轴(9)由步进电机(12)带动，其特征在于：所述坩埚托盘(8)上围绕托盘边缘位置均匀安装有多个圆形的阻蒸坩埚(7)，所述阻蒸坩埚(7)底部对应位置安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱选敏，郭爱云，
申请(专利权)人：武汉科瑞达真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42