The invention discloses a frost-proof device for wafer cryogenic testing, which belongs to the technical field of integrated circuit testing equipment. The device comprises a shield cover, a temperature sensor, a humidity sensor, a control module, a nitrogen supply module, a nitrogen flow regulating module, a nitrogen temperature regulating module and a dehumidification module. The invention simplifies the structure of the anti-frost device for wafer Cryogenic Testing by using modular design idea. The anti-frost device designed for wafer cryogenic testing has the advantages of simple structure and can be applied in different occasions according to needs. The invention synthesizes the information of each module, can effectively realize frost prevention in wafer cryogenic testing, provides a high stability Cryogenic Testing Environment for wafer, and improves the reliability and accuracy of wafer testing.
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆低温测试时的防霜装置
本专利技术涉及集成电路测试设备
,尤其是涉及一种用于晶圆低温测试时的防霜装置。
技术介绍
集成电路测试设备
属于新一代信息技术产业的核心产业,具有极其重要的战略地位,是推动国民经济和社会信息化发展的最主要的高新技术之一。集成电路芯片由晶圆经切割封装后得到,晶圆质量的优劣直接影响着集成电路芯片的性能优劣。晶圆测试是给晶圆各晶粒上的焊盘引脚进行通电检测,完成电参数测试和逻辑功能测试。探针台属于重要的集成电路测试装备,在整个集成电路测试产业起着重要的作用,是晶圆生产企业和元器件封装企业的核心设备。为保证集成电路制品在高低温的恶劣环境下可以正常工作,需要在探针台将晶圆加热或冷却后的高低温环境下,对晶圆进行电参数测试和逻辑功能测试。其中,在低温测试环境下,空气中的水汽会凝结在晶圆上结霜,引起电参数漂移,严重时甚至会造成晶圆的损坏,严重影响晶圆测试的可靠性与准确性。现有的技术中,主要采用在被测晶圆外部装上一个真空腔体,通过泵抽走真空腔体内的真空水汽实现晶圆低温测试时的防霜,但是由于无法完全实现真空环境,晶圆在低温测试时仍存在着结霜的现象,防霜效果不理想。
技术实现思路
鉴于上述现状,为本专利技术的目的在于克服现有技术中晶圆低温测试时防霜效果不理想的缺陷,提供一种用于晶圆低温测试时的防霜装置,具有结构简单、稳定性强、防霜精度高的优点,可为晶圆低温测试提供无霜环境。为了实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种用于晶圆低温测试时的防霜装置,该装置包括屏蔽罩、温度传感器、湿度传感器、控制模块、氮气供应模块、氮气流量调节模块、氮气 ...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆低温测试时的防霜装置,其特征在于,该装置包括屏蔽罩、温度传感器、湿度传感器、控制模块、氮气供应模块、氮气流量调节模块、氮气温度调节模块和除湿模块。
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆低温测试时的防霜装置,其特征在于,该装置包括屏蔽罩、温度传感器、湿度传感器、控制模块、氮气供应模块、氮气流量调节模块、氮气温度调节模块和除湿模块。2.根据权利要求1所述晶圆低温测试时的防霜装置,其特征在于,所述屏蔽罩套在晶圆外面,由高精度隔温材料制成,将晶圆的低温测试环境与外部环境隔离。3.根据权利要求1所述晶圆低温测试时的防霜装置,其特征在于,所述温度传感器安装在所述屏蔽罩内,检测所述屏蔽罩内的温度,输出至所述控制模块。4.根据权利要求1所述晶圆低温测试时的防霜装置,其特征在于,所述湿度传感器安装在所述屏蔽罩内,检测所述屏蔽罩内的水汽含量,输出至所述控制模块。5.根据权利要求1所述晶圆低温测试时的防霜装置,其特征在于,所述控制模块,接收所述湿度传感器输出的所述屏蔽罩内的水汽含量,接收所述温度传感器输出的所述屏蔽罩...
【专利技术属性】
技术研发人员:李擎,苏中,刘洪,刘宁,王英剑,梅迪,
申请(专利权)人:北京信息科技大学,
类型:发明
国别省市:北京,11
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