缺陷检查装置、缺陷检查方法及膜的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供将不同的检查光学系统整合而成的缺陷检查装置、缺陷检查方法及膜的制造方法。本发明专利技术的一实施方式的缺陷检查装置(3A)是膜(100)的缺陷检查装置，具备：光照射部(10A)，其输出向膜的检查区域(A)照射的检查光(L)；以及摄像部(20A)，其拍摄检查区域，光照射部与摄像部中的至少一方具有使规定的偏振方向的光选择性地通过的滤光部(12)，滤光部构成为能够调整规定的偏振方向。

Defect Inspection Device, Defect Inspection Method and Membrane Manufacturing Method

The invention provides a defect inspection device, a defect inspection method and a manufacturing method of a film which integrates different inspection optical systems. The defect checking device (3A) according to one embodiment of the present invention is a defect checking device for a film (100). The device comprises a light illuminating unit (10A), a checking light (L) illuminated by its output to the checking area (A) of the film, and a photographing unit (20A), a photographing checking area in which at least one of the light illuminating unit and the photographing unit has a filter (12) through which light selectively passes in the specified polarization direction, and a filter structure. To be able to adjust the prescribed direction of polarization.

【技术实现步骤摘要】
缺陷检查装置、缺陷检查方法及膜的制造方法
本专利技术涉及缺陷检查装置、缺陷检查方法及膜的制造方法。
技术介绍
已知有对偏振膜及相位差膜等光学膜、电池的隔膜所使用的膜等的缺陷进行检测的缺陷检查装置。在这种缺陷检查装置中，由输送部对膜进行输送，由光照射部向膜的检查区域照射光，由摄像部拍摄膜的检查区域，基于拍摄到的图像来进行缺陷检查。作为缺陷检查装置，例如已知有使用了基于正透射法的检查光学系统的装置(参照专利文献1)以及使用了基于正交尼科尔透射法的检查光学系统的装置(参照专利文献2)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-167975号公报专利文献2：日本特开2007-212442号公报在缺陷检查中，为了更加可靠地检测缺陷，期望利用多个不同的检查光学系统(例如正透射检查光学系统和正交尼科尔检查光学系统)来检测缺陷。然而，若分别准备这些检查光学系统，则引入成本和管理成本变高，因此，期望多个检查光学系统的整合。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于，提供一种将不同的检查光学系统整合而成的缺陷检查装置、缺陷检查方法及膜的制造方法。本专利技术的一方案的缺陷检查装置是膜的缺陷检查装置，具备：光照射部，其输出向上述膜的检查区域照射的检查光；以及摄像部，其拍摄上述检查区域，上述光照射部与上述摄像部中的至少一方具有使规定的偏振方向的光选择性地通过的滤光部，上述滤光部构成为能够调整上述规定的偏振方向。本专利技术的另一方案的缺陷检查方法是膜的缺陷检查方法，包括：检查光照射工序，利用光照射部向上述膜的检查区域照射检查光；以及摄像工序，利用摄像部对上述检查区域进行拍摄，上述光照射部与上述摄像部中的至少一方具有使规定的偏振方向的光选择性地通过的滤光部，上述滤光部构成为能够调整上述规定的偏振方向。在上述缺陷检查装置及上述缺陷检查方法中，在利用光照射部向膜的检查区域照射了检查光的状态下，利用摄像部对检查区域进行拍摄。因此，能够利用摄像部来获取被来自光照射部的检查光照明了的检查区域的检查图像。上述光照射部与上述摄像部中的至少一方具有使规定的偏振方向的光选择性地通过的滤光部，上述滤光部构成为能够调整上述规定的偏振方向。因此，若利用滤光部来调整上述规定的偏振方向，则能够获得不同的检查状态的检查图像。即，在一个缺陷检查装置中能够对不同的检查光学系统进行整合，通过对滤光部选择性地通过的光的偏振方向进行调整，能够实现上述不同的检查光学系统各自的缺陷检查。也可以是，上述缺陷检查装置及上述缺陷检查方法中的上述滤光部具有液晶滤光器，该液晶滤光器构成为在液晶单元的单面设置有直线偏振膜。在该情况下，通过向液晶滤光器施加的电压的有无，能够在短时间内(例如0.1msec～25msec)调整在液晶滤光器内通过的光的偏振方向。也可以是，一实施方式的缺陷检查装置中的上述膜是具有直线偏振特性的光学膜，上述光照射部具有光源、以及配置在上述光源与上述膜之间的上述滤光部。在一实施方式的缺陷检查方法中，也可以是，上述膜是具有直线偏振特性的光学膜，上述光照射部使来自光源的光通过上述滤光部，由此输出上述规定的偏振方向的检查光，在上述检查光照射工序中，利用上述滤光部来调整上述检查光的上述规定的偏振方向。在该情况下，检查光的规定的偏振方向被调整，因此，关于具有直线偏振特性的光学膜的缺陷检查，例如能够在平行尼科尔状态下进行，并且也能够在正交尼科尔状态或半交叉(halfcross)尼科尔状态下进行。在本说明书中，平行尼科尔状态是指，两个偏振方向(或者偏振方向及偏振轴)实质上平行、换言之两个偏振方向(或者偏振方向及偏振轴)所成的角度为0°以上且1°以下的状态，优选是为0°的状态，正交尼科尔状态是指，两个偏振方向(或者偏振方向及偏振轴)所成的角度实质上正交、换言之为85°以上且105°以下的状态，优选为90°的状态，半交叉尼科尔状态是指，两个偏振方向(或者偏振方向及偏振轴)所成的角度大于1°且小于85°的状态。在一实施方式的缺陷检查装置中，也可以是，上述膜是具有直线偏振特性的光学膜，上述光照射部具有：光源；偏振光分离元件，其将来自上述光源的光分离为偏振方向相互正交的第一偏振光与第二偏振光；光路合成部，其配置在由上述偏振光分离元件分离出的上述第二偏振光的光路上，将由上述偏振光分离元件分离出的上述第一偏振光的光路合成到上述第二偏振光的光路中；光学系统，其将由上述偏振光分离元件分离出的上述第一偏振光向上述光路合成部引导；以及上述滤光部，其配置在被上述光学系统引导的上述第一偏振光的光路上，上述膜配置在上述第二偏振光的光路上，上述滤光部被切换为使上述第一偏振光选择性地通过的状态和使上述第二偏振光选择性地通过的状态。在该结构中，光学膜具有使第一偏振光通过的直线偏振特性。在滤光部使第一偏振光选择性地通过的情况下，利用偏振光分离元件将来自光源的输出光分离为第一偏振光与第二偏振光之后，分离出的第一偏振光与第二偏振光的光路被光路合成部合成，并朝向作为检查对象的膜输出。因此，在滤光部使第一偏振光通过的情况下，从光照射部输出无偏振的检查光。无偏振的检查光包含第一偏振光，因此，能够对具有直线偏振特性的光学膜进行平行尼科尔状态下的缺陷检查。在滤光部使第二偏振光选择性地通过的情况下，当来自光源的输出光被偏振光分离元件分离为第一偏振光与第二偏振光时，分离出的第一偏振光被滤光部隔断。因此，从光路合成部仅输出第二偏振光。因此，在滤光部使第二偏振光选择性地通过的情况下，从光照射部输出作为第二偏振光的检查光。因此，能够对具有直线偏振特性的光学膜进行正交尼科尔状态下的缺陷检查。也可以是，上述光照射部具有偏振膜，该偏振膜在上述第二偏振光的光路上配置在上述偏振光分离元件与上述光路合成部之间，相对于上述膜以正交尼科尔状态配置，且使上述第二偏振光通过。也可以是，一实施方式的缺陷检查装置中的上述膜是具有直线偏振特性的光学膜，上述摄像部具有相机、以及配置在上述相机与上述膜之间的上述滤光部。在一实施方式的缺陷检查方法中，也可以是，上述膜是具有直线偏振特性的光学膜，上述摄像部通过上述滤光部并利用相机对上述膜的上述检查区域进行拍摄，在上述摄像工序中，对上述滤光部通过的光的上述规定的偏振方向进行调整。在该情况下，通过对滤光部通过的光的偏振方向进行切换，从而能够将具有直线偏振特性的光学膜与滤光部的配置关系例如在平行尼科尔状态与正交尼科尔状态或半交叉尼科尔状态之间进行切换。因此，例如，关于具有直线偏振特性的光学膜的缺陷检查，例如能够在平行尼科尔状态下进行，并且也能够在正交尼科尔状态或半交叉尼科尔状态下进行。也可以是，一实施方式的缺陷检查装置还具有配置在上述膜与上述摄像部之间的第一直线偏振膜，上述膜是不具有直线偏振特性的膜，上述光照射部具有光源、以及配置在上述光源与上述膜之间的上述滤光部。在一实施方式的缺陷检查方法中，也可以是，上述膜是不具有偏振特性的膜，上述光照射部使来自光源的光通过上述滤光部，由此输出上述规定的偏振方向的检查光，在上述检查光照射工序中，由上述滤光部切换上述检查光的上述规定的偏振方向，在上述摄像工序中，上述摄像部通过配置在上述膜与上述摄像部之间的第一直线偏振膜来拍摄上述检查区域。在该情况下，通过对通过滤光部的光的偏振方向进行切换，从本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种缺陷检查装置，其是膜的缺陷检查装置，所述缺陷检查装置的特征在于，具备：光照射部，其输出向所述膜的检查区域照射的检查光；以及摄像部，其对所述检查区域进行拍摄，所述光照射部与所述摄像部中的至少一方具有使规定的偏振方向的光选择性地通过的滤光部，所述滤光部构成为能够调整所述规定的偏振方向。

【技术特征摘要】
2017.10.11 JP 2017-1977221.一种缺陷检查装置，其是膜的缺陷检查装置，所述缺陷检查装置的特征在于，具备：光照射部，其输出向所述膜的检查区域照射的检查光；以及摄像部，其对所述检查区域进行拍摄，所述光照射部与所述摄像部中的至少一方具有使规定的偏振方向的光选择性地通过的滤光部，所述滤光部构成为能够调整所述规定的偏振方向。2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述滤光部具有液晶滤光器，该液晶滤光器构成为在液晶单元的单面设置有直线偏振膜。3.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其中，所述膜是具有直线偏振特性的光学膜，所述光照射部具有：光源；以及配置在所述光源与所述膜之间的所述滤光部。4.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其中，所述膜是具有直线偏振特性的光学膜，所述光照射部具有：光源；偏振光分离元件，其将来自所述光源的光分离为偏振方向相互正交的第一偏振光与第二偏振光；光路合成部，其配置在由所述偏振光分离元件分离出的所述第二偏振光的光路上，将由所述偏振光分离元件分离出的所述第一偏振光的光路合成到所述第二偏振光的光路中；光学系统，其将由所述偏振光分离元件分离出的所述第一偏振光向所述光路合成部引导；以及所述滤光部，其配置在被所述光学系统引导的所述第一偏振光的光路上，所述膜配置在所述第二偏振光的光路上，所述滤光部被切换成使所述第一偏振光选择性地通过的状态和使所述第二偏振光选择性地通过的状态。5.根据权利要求4所述的缺陷检查装置，其中，所述光照射部具有偏振膜，所述偏振膜在所述第二偏振光的光路上配置在所述偏振光分离元件与所述光路合成部之间，所述偏振膜相对于所述膜以正交尼科尔状态配置且使所述第二偏振光通过。6.根据权利要求1至5中任一项所述的缺陷检查装置，其中，所述膜是具有直线偏振特性的光学膜，所述摄像部具有：相机；以及配置在所述相机与所述膜之间的所述滤光部。7.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其中，所述缺陷检查装置还具有配置在所述膜与所述摄像部之间的第一直线偏振膜，所述膜是不具有直线偏振特性的膜，所述光照射部具有：光源；以及配置在所述光源与所述膜之间的所述滤光部。8.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其中，所述缺陷检查装置还具有配置在所述摄像部与所述膜之间的第一直线偏振膜，所述膜是不具有偏振特性的膜，所述光照射部具有：光源；偏振光分离元件，其将来自所述光源的光分离为偏振方向相互正交的第一偏振光与第二偏振光；光路合成部，其配置在所述第二偏振光的光路上，将所述第一偏振光的光路合成到所述第二偏振光的光路中；光学系统，其将由所述偏振光分离元件分离出的所述第一偏振光向所述光路合成部引导；第二直线偏振膜，其在所述第二偏振光的光路上配置在所述偏振光分离元件与所述光路合成部之间，相对于所述第一直线偏振膜以正交尼科尔状态配置且...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈本英树，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP