【技术实现步骤摘要】
测试系统及测试方法
本专利技术涉及测试
,特别是涉及一种测试系统及测试方法。
技术介绍
半导体芯片是电子工业中的核心元器件,而对芯片的抗静电检测与光电检测及数据采集又是芯片生产过程中十分重要的环节,直接影响芯片的产能。目前芯片检测领域的测试系统基本被国外垄断,进口的设备不仅价格高,而且售后维修麻烦。一般情况下,一个功能设备损坏,只能全套更换,增加了生产成本,影响芯片测试的效率。
技术实现思路
基于此,有必要提供一种可以降低生产成本、能进行待测元件的抗静电检测与数据采集的测试系统及测试方法。一种测试系统,用于对待测元件进行测试,其特征在于,包括:上位机、数据采集卡、主控模块、扩展的静电释放发生器及扩展的源表;所述上位机连接所述数据采集卡和所述源表,所述主控模块连接所述数据采集卡、所述扩展的静电释放发生器及所述扩展的源表,所述扩展的静电释放发生器用于连接扩展的所述待测元件,所述扩展的源表用于连接扩展的所述待测元件;所述上位机用于发送第一控制信号给所述数据采集卡,还用于发送第二控制信号给所述源表,接收所述数据采集卡的电信号;所述数据采集卡用于接收所述第一控制信号,根据所述第一控制信号发送第三控制信号给所述主控模块,所述数据采集卡还用于接收所述主控模块输出的电信号并将所述电信号传输给所述上位机;所述源表用于接收所述第二控制信号,根据所述第二控制信号发送测试信号给所述待测元件;所述主控模块用于扩展所述数据采集卡的输出接口,根据所述数据采集卡的第三控制信号控制所述静电释放发生器对所述待测元件进行静电测试;所述主控模块还用于采集所述待测元件根据所述测试信号产生的第一电 ...
【技术保护点】
1.一种测试系统,用于对待测元件进行测试,其特征在于,包括:上位机、数据采集卡、主控模块、扩展的静电释放发生器及扩展的源表;所述上位机连接所述数据采集卡和所述源表,所述主控模块连接所述数据采集卡、所述扩展的静电释放发生器及所述扩展的源表,所述扩展的静电释放发生器用于连接扩展的所述待测元件,所述扩展的源表用于连接扩展的所述待测元件;所述上位机用于发送第一控制信号给所述数据采集卡,还用于发送第二控制信号给所述源表,接收所述数据采集卡的电信号;所述数据采集卡用于接收所述第一控制信号,根据所述第一控制信号发送第三控制信号给所述主控模块,所述数据采集卡还用于接收所述主控模块输出的电信号并将所述电信号传输给所述上位机;所述源表用于接收所述第二控制信号,根据所述第二控制信号发送测试信号给所述待测元件;所述主控模块用于扩展所述数据采集卡的输出接口,根据所述数据采集卡的第三控制信号控制所述静电释放发生器对所述待测元件进行静电测试;所述主控模块还用于采集所述待测元件根据所述测试信号产生的第一电信号,并将所述第一电信号传输给所述数据采集卡;所述主控模块还用于将采集到的所述待测元件测试时发出的光信号转换成第二 ...
【技术特征摘要】
1.一种测试系统,用于对待测元件进行测试,其特征在于,包括:上位机、数据采集卡、主控模块、扩展的静电释放发生器及扩展的源表;所述上位机连接所述数据采集卡和所述源表,所述主控模块连接所述数据采集卡、所述扩展的静电释放发生器及所述扩展的源表,所述扩展的静电释放发生器用于连接扩展的所述待测元件,所述扩展的源表用于连接扩展的所述待测元件;所述上位机用于发送第一控制信号给所述数据采集卡,还用于发送第二控制信号给所述源表,接收所述数据采集卡的电信号;所述数据采集卡用于接收所述第一控制信号,根据所述第一控制信号发送第三控制信号给所述主控模块,所述数据采集卡还用于接收所述主控模块输出的电信号并将所述电信号传输给所述上位机;所述源表用于接收所述第二控制信号,根据所述第二控制信号发送测试信号给所述待测元件;所述主控模块用于扩展所述数据采集卡的输出接口,根据所述数据采集卡的第三控制信号控制所述静电释放发生器对所述待测元件进行静电测试;所述主控模块还用于采集所述待测元件根据所述测试信号产生的第一电信号,并将所述第一电信号传输给所述数据采集卡;所述主控模块还用于将采集到的所述待测元件测试时发出的光信号转换成第二电信号,并将所述第二电信号进行放大后传输给所述数据采集卡;所述静电释放发生器用于根据所述第三控制信号对所述待测元件进行静电测试。2.根据权利要求1所述的测试系统,其特征在于,所述主控模块包括静电释放发生器控制模块、测试信号采集模块和光信号采集模块;所述静电释放发生器控制模块的输入端连接所述数据采集卡,所述静电释放发生器控制模块的输出端连接扩展的所述静电释放发生器,所述静电释放发生器控制模块用于扩展所述数据采集卡的输出接口,隔离所述数据采集卡和所述扩展的静电释放发生器,并根据所述数据采集卡的所述第三控制信号控制所述静电释放发生器对所述待测元件进行静电测试;所述测试信号采集模块的输入端用于连接所述待测元件,所述测试信号采集模块连接所述数据采集卡和所述源表,所述源表还用于在发送所述测试信号时发送第一触发信号给所述数据采集卡,所述数据采集卡用于根据所述第一触发信号发送第六控制信号给所述测试信号采集模块,所述测试信号采集模块用于根据所述第六控制信号采集所述待测元件根据所述测试信号产生的所述第一电信号,并将所述第一电信号传输给所述数据采集卡;所述光信号采集模块的输出端连接所述数据采集卡,所述光信号采集模块用于将采集到的所述待测元件测试时发出的光信号转换成所述第二电信号,并将所述第二电信号进行放大后传输给所述数据采集卡。3.根据权利要求2所述的测试系统,其特征在于,所述静电释放发生器控制模块包括模拟信号转换电路和继电器控制电路,所述模拟信号转换电路的输入端连接所述数据采集卡,所述模拟信号转换电路的输出端连接所述扩展的静电释放发生器的电源,所述模拟信号转换电路用于将所述数据采集卡输出的第一模拟信号转换为第二模拟信号,并经过隔离后传输给所述扩展的静电释放发生器的电源;所述继电器控制电路的输入端连接所述数据采集卡,所述继电器控制电路的输出端连接所述扩展的静电释放发生器的继电器,所述继电器控制电路用于将所述数据采集卡输出的第四控制信号进行扩展后传输给所述扩展的静电释放发生器的继电器。4.根据权利要求2所述的测试系统,其特征在于,所述主控模块还包括切换模块,所述切换模块连接所述光信号采集模块,用于根据所述数据采集卡的第五控制信号切换所述光信号采集模块的放大倍数。5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:马会林,杨明强,尹建刚,曾威,黄嘉,张红江,顾郧,魏贤哲,何家福,叶武海,洪斌,高云峰,
申请(专利权)人:大族激光科技产业集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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