载板和镀膜设备制造技术

技术编号:20887706 阅读:15 留言:0更新日期:2019-04-17 13:47
本公开提供一种载板和镀膜设备,所述载板上设置有至少一个镂空槽,每个所述镂空槽内均设置有支撑构件以使得待加工部件能够放置在所述镂空槽内。应用本公开所述载板及镀膜设备在镀膜过程中无需翻转硅片,也就无需重复破真空,从而避免硅片在镀膜过程中受空气暴露影响,减少了硅片受污染的几率,而且改善了因现有制备双面太阳能电池片工序繁琐而带来的电池片制备效率低下、电性能不良等问题,不仅能改善电池片的膜层质量,还能减少电池片制备时间,从而提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
载板和镀膜设备
本公开涉及镀膜工艺
,具体涉及一种用于镀膜加工的载板,以及一种镀膜设备。
技术介绍
受到现有镀膜载板结构的限制,镀膜设备生产双面太阳能电池片时所采用的镀膜工艺为单面镀膜工艺。具体地,镀膜设备包括多个腔室,其中每个腔室顶部均设置有相应的靶材,相邻腔室间由真空门隔开,腔室外设置有自动翻片机。当硅片在一个腔室内镀上相应膜层后,需要打开真空门以破真空,再通过自动翻片机将硅片翻转并放入相邻下一腔室内,然后对该相邻下一腔室抽真空处理,并镀上相应膜层,以此类推,直至双面太阳能电池片制备完成。可以看出,现有双面太阳能电池片的制备工艺中,为了翻转硅片而需要重复破真空,使得硅片在整个制程频繁受空气暴露影响;而且,不同膜层间的沉积因其本身的化学特性,必须往复翻片后按序制备,繁杂且耗时长,由此极易导致硅片表面出现机械损伤或者受污染。
技术实现思路
为了至少部分解决现有技术中存在的为翻转硅片而重复破真空的技术问题而完成了本公开。解决本公开技术问题所采用的技术方案是:本公开提供一种载板,用于镀膜加工,所述载板上设置有至少一个镂空槽,每个所述镂空槽内均设置有支撑构件以使得待加工部件能够放置在所述镂空槽内。本公开中,各个硅片(或者其他类型的基板)分别放入载板内的各个镂空槽内之后,因受到镂空槽内支撑构件的支撑而不会从镂空槽中掉出,同时还能使硅片的上、下表面的绝大部分露出,则利用该载板制备双面太阳能电池片时,可采用双面镀膜工艺,无需翻转硅片和重复破真空,就能在一个镀膜腔室里完成硅片的双面镀膜,即在硅片的上、下表面镀上所需材质和厚度的膜层。可以看出,由于在镀膜过程中无需翻转硅片,也就无需重复破真空,从而避免硅片在镀膜过程中受空气暴露影响,减少了硅片受污染的几率,而且改善了因现有制备双面太阳能电池片工序繁琐而带来的电池片制备效率低下、电性能不良等问题,不仅能改善电池片的膜层质量,还能减少电池片制备时间,从而提高工作效率。可选地,所述支撑构件是从所述镂空槽内壁并向所述镂空槽中心延伸的突出部。可选地,所述突出部为设置在所述镂空槽内壁底部的台阶状构件。可选地,所述台阶状构件包括与所述镂空槽的内壁相接的过渡面,以及与所述过渡面相接的斜坡面;所述斜坡面向接近于所述镂空槽中心的方向延伸。可选地,所述载板包括外边框,以及设置在所述外边框内部的多个横条和多个纵条;所述多个横条和所述多个纵条交叉设置以形成所述多个镂空槽。可选地,所述外边框、所述多个横条和所述多个纵条一体成型;或者,所述横条的两端分别与所述外边框的两个相对内壁活动连接,所述纵条的两端分别与所述外边框的另外两个相对内壁活动连接,每个所述横条和与之交叉的所述纵条活动连接。可选地,所述载板包括外边框,以及设置在所述外边框内部的多个纵条;所述外边框与所述多个纵条分隔成所述多个镂空槽。可选地,所述外边框和所述多个纵条一体成型;或者,所述纵条的两端分别与所述外边框的两个相对内壁活动连接。本公开还提供一种镀膜设备,其包括:镀膜腔室、驱动装置和上述载板;所述镀膜腔室内部划分为多个镀膜区域,每个所述镀膜区域的顶部或底部设置有靶材安装位;所述驱动装置用于驱动所述载板沿预设方向穿过各个所述镀膜区域。本公开中,在一个镀膜腔室内,通过驱动装置驱动载板沿预设方向穿过各个镀膜区域。由于载板上设置有镂空槽,使得位于载板上各个镂空槽内的各个硅片的上、下表面的绝大部分露出,从而无需翻转硅片和重复破真空,就能在一个镀膜腔室里完成硅片的双面镀膜,即在硅片的上、下表面镀上所需材质和厚度的膜层。可以看出,由于在镀膜过程中无需翻转硅片,也就无需重复破真空,从而避免硅片在镀膜过程中受空气暴露影响,减少了硅片受污染的几率,而且改善了因现有制备双面太阳能电池片工序繁琐而带来的电池片制备效率低下、电性能不良等问题,不仅能改善电池片的膜层质量,还能减少电池片制备时间,从而提高工作效率。可选地,所述镀膜设备还包括与所述驱动装置连接的执行机构;所述执行机构包括分别活动设置在所述镀膜腔室内部两个相对侧面上的两排转动辊,所述载板放置在所述两排转动辊上;所述驱动装置与所述转动辊连接以控制其转动。可选地,所述镀膜设备还包括与所述驱动装置连接的执行机构;所述执行机构包括分别设置在所述镀膜腔室内部两个相对侧面上的两条滑轨,以及分别设置在各条所述滑轨上的若干滑块,所述载板放置在所述滑块上;所述驱动装置与所述滑块连接以驱动其沿所述滑轨移动。可选地,所述镀膜设备还包括设置在所述镀膜腔室内部的中空的承载台,所述载板设置在所述承载台上。可选地,所述承载台与所述载板之间设置有压紧装置,其用于为所述载板的两相对端部提供向上的力以将所述载板绷紧。可选地,所述镀膜腔室内部还设置有用于检测所述载板位置的行程传感器。可选地,所述镀膜腔室内部还设置有加热装置。附图说明图1为本公开实施例1提供的一种载板的主视图。图2为本公开实施例1提供的一种载板的俯视图。图3为本公开实施例1提供的另一种载板的主视图。图4为本公开实施例1提供的另一种载板的俯视图。图5为本公开实施例2提供的一种镀膜设备的侧向剖视图。图6为本公开实施例2提供的一种镀膜设备的俯向剖视图。图7为本公开实施例2提供的另一种镀膜设备的侧向剖视图。图8为本公开实施例2提供的另一种镀膜设备的俯向剖视图。图9为应用图5和图6所示镀膜设备制备的N型高效异质结电池的结构示意图。图中:101-载板;102-镂空槽;103-过渡面;104-斜坡面;105-硅片;106-内壁;107-外边框;108-横条;109-纵条;200-镀膜腔室;201-第一靶材;202-第二靶材;203-转动辊;204-承载台;205-滑轨;206-滑块;301-背电极;302-第一ITO层;303-第一绒面层;304-N型单晶硅基片;305-第二绒面层;306-量子点结构氮化硅层;307-P型非晶硅薄膜;308-第二ITO层;309-正电极。具体实施方式为使本领域技术人员更好地理解本公开的技术方案,下面结合附图和实施例对本公开作进一步详细描述。实施例1:如图1-图4所示,本实施例提供一种载板101,用于承载硅片105(或其他类型的基板),载板101上设置有至少一个镂空槽102,每个镂空槽102内均设置有支撑构件以使得待加工部件(硅片105)能够放置在镂空槽102内。其中,镂空槽102的尺寸应和放入其内的硅片105的尺寸相适配,例如,现有的电池片大多为八边形,则用于制备电池片的硅片也应为八边形,相应地,镂空槽也可以为四边形或八边形或其他形状,镂空槽尺寸需略大于硅片,以便于将硅片放入其内。本实施例中,各个硅片105(或者其他类型的基板)分别放入载板101上的各个镂空槽102内之后,因受到镂空槽内支撑构件的支撑而不会从镂空槽中掉出,同时还能使硅片105的上、下表面的绝大部分露出,则利用该载板制备双面太阳能电池片时,可采用双面镀膜工艺,无需翻转硅片和重复破真空,就能在一个镀膜腔室里完成硅片的双面镀膜,即在硅片的上、下表面镀上所需材质和厚度的膜层。可以看出,由于在镀膜过程中无需翻转硅片,也就无需重复破真空,从而避免硅片在镀膜过程中受空气暴露影响,减少了硅片受污染的几率,而且改善了因现有制备双面太阳能电池片工序繁琐而带来的电池片制备效率低下、电性能不良本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载板,用于镀膜加工,其特征在于,所述载板上设置有至少一个镂空槽,每个所述镂空槽内均设置有支撑构件以使得待加工部件能够放置在所述镂空槽内。

【技术特征摘要】
1.一种载板,用于镀膜加工,其特征在于,所述载板上设置有至少一个镂空槽,每个所述镂空槽内均设置有支撑构件以使得待加工部件能够放置在所述镂空槽内。2.根据权利要求1所述的载板,其特征在于,所述支撑构件是从所述镂空槽内壁向所述镂空槽中心延伸的突出部。3.根据权利要求2所述的载板,其特征在于,所述突出部为设置在所述镂空槽内壁底部的台阶状构件。4.根据权利要求3所述的载板,其特征在于,所述台阶状构件包括与所述镂空槽的内壁相接的过渡面,以及与所述过渡面相接的斜坡面;所述斜坡面向接近于所述镂空槽中心的方向延伸。5.根据权利要求1-4中任一项所述的载板,其特征在于,所述载板包括外边框,以及设置在所述外边框内部的多个横条和多个纵条;所述多个横条和所述多个纵条交叉设置以形成所述多个镂空槽。6.根据权利要求5所述的载板,其特征在于,所述外边框、所述多个横条和所述多个纵条一体成型;或者,所述横条的两端分别与所述外边框的两个相对内壁活动连接,所述纵条的两端分别与所述外边框的另外两个相对内壁活动连接,每个所述横条和与之交叉的所述纵条活动连接。7.根据权利要求1-4中任一项所述的载板,其特征在于,所述载板包括外边框,以及设置在所述外边框内部的多个纵条;所述外边框与所述多个纵条分隔成所述多个镂空槽。8.根据权利要求7所述的载板,其特征在于,所述外边框和所述多个纵条一体成型;或者,所述纵条的两端分别与所述外边框的两个相对内壁活动连接。9.一种镀膜设备,包括镀膜腔室...

【专利技术属性】
技术研发人员:沈良
申请(专利权)人:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
类型:发明
国别省市:北京,11

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