一种电子束蒸发式真空镀膜机制造技术

一种电子束蒸发式真空镀膜机，包括腔体组件、伞架组件、高阀组件、深冷系统、管道系统、扩散泵、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和门夹紧组件；所述伞架组件固定在腔体组件上，所述高阀组件与腔体组件相连，所述高阀组件、扩散泵、罗茨泵以及机械泵通过管道系统连接在一起，所述门夹紧组件安装于腔体组件上；所述电子枪组件的电子枪部分、离子源组件的离子源部分均安装在腔体组件内；所述深冷系统包括2根深冷盘管，1根安装在腔体组件内，1根安装在高阀组件内。本发明专利技术具有机构简单，镀膜结构均匀重复性高，腔体尺寸可达2700mm，镀膜效率高等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束蒸发式真空镀膜机
本专利技术涉及一种电子束蒸发式真空镀膜机。
技术介绍
目前，现有电子束蒸发式真空镀膜由于设计上存在的不足，其存在机构复杂、镀膜结构均匀重复性低、镀膜效率低的缺陷。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种机构简单，镀膜结构均匀重复性高，腔体尺寸可达2700mm，镀膜效率高的电子束蒸发式真空镀膜机。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种电子束蒸发式真空镀膜机，包括腔体组件、伞架组件、高阀组件、深冷系统、管道系统、扩散泵、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和门夹紧组件；所述伞架组件固定在腔体组件上，所述高阀组件与腔体组件相连，所述高阀组件、扩散泵、罗茨泵以及机械泵通过管道系统连接在一起，所述门夹紧组件安装于腔体组件上；所述电子枪组件的电子枪部分、离子源组件的离子源部分均安装在腔体组件内；所述深冷系统包括2根深冷盘管，1根安装在腔体组件内，1根安装在高阀组件内。进一步，所述扩散泵为2个，所述机械泵为2个。进一步，所述机械泵上安装有油雾过滤组件。进一步，所述线槽组件、电控柜组件、电子枪组件的电源、离子源组件的电源放置在腔体组件右侧，所述深冷系统的深冷机放置在腔体组件左侧后方。进一步，还设有脚踏板组件，所述脚踏板组件放置在腔体组件正前方。进一步，所述腔体组件内同时还安装有卤素灯、防污衬板、修正板等。卤素灯的作用在于镀膜机开始工作时先对炉体内壁加热，防污衬板的作用在于防止工作物资污染炉体内壁（清洗防污衬板比清洗炉体内壁简单），修正板的作用在于修正镀膜厚度的均匀性。与现有技术相比，本专利技术具有机构简单，镀膜结构均匀重复性高，腔体尺寸可达2700mm，镀膜效率高等特点。附图说明图1为本专利技术实施例的结构示意图；图中：1.腔体组件，2.伞架组件，3.高阀组件，4.深冷系统，5.管道系统，6.油过滤组件，7.扩散泵，8.罗茨泵，9.机械泵，10.离子源组件，11.电子枪组件，12.电控柜组件，13.线槽组件，14.门夹紧组件，15.脚踏板组件。具体实施方式以下结合附图及实施例对本专利技术作进一步说明。实施例参照图1，一种电子束蒸发式真空镀膜机，包括1套腔体组件1、1套伞架组件2、1套高阀组件3、1套深冷系统4、1套管道系统5、2个油过滤组件6、2个扩散泵7、1个罗茨泵8、2个机械泵9、1套离子源组件10、1套电子枪组件11、1套电控柜组件12、1套线槽组件13、两个门夹紧组件14和1套脚踏板组件15；所述伞架组件2固定在腔体组件1上，所述高阀组件3与腔体组件1相连，所述高阀组件3、扩散泵7、罗茨泵8以及机械泵9通过管道系统5连接在一起，所述门夹紧组件14安装于腔体组件1上，用于控制腔体组件1上门与腔体的压紧和密封；所述脚踏板组件15放置在腔体组件1正前方，所述线槽组件13、电控柜组件12、电子枪组件11中的电源、离子源组件10中的电源放置在腔体组件1右侧，所述深冷系统4中的深冷机放置在腔体组件1左侧后方，所述电子枪组件11的电子枪部分、离子源组件10的离子源部分均安装在腔体组件1内，所述腔体组件1内同时还安装有卤素灯、防污衬板、修正板等；所述深冷系统4包括2根深冷盘管，1根安装在腔体组件1内，1根安装在高阀组件3内；所述两个机械泵9上均安装有油过滤组件6，用于机械泵9中油雾的回收与重复利用。所述深冷系统4的作用在于对腔体组件1内的1根深冷盘管和高阀组件3内的1根深冷盘管冷却到一定的温度，利用高低温将腔体组件1内和高阀组件3内水气和油气进行吸附以提高镀膜时腔体内的真空度。管道系统5将高阀组件3、扩散泵7、罗茨泵8以及机械泵9连接在一起，用于抽真空过程中气体的通道。离子源组件10用于机器工作过程中，工件表面的清洗；电子枪组件11用于加工过程中为工件镀膜提供原始镀膜材质。电控柜组件12用于整个机器的顺序控制和功能监控，线槽组件14用于机器的走线使得线路规整美观，脚踏板组件15用于工件的上下料。镀膜机开始工作时，操作人员通过脚踏板组件15将摆好的工件伞架放置在伞架组件2上，关闭腔体组件1上的炉门再利用门夹紧组件将炉门夹紧，镀膜机开始工作，先开2个机械泵9（此时2个油雾过滤器6开始工作将工作过程中机械泵9内挥发的油蒸汽回收进入机械泵），当腔体组件1检测到腔体内真空度达到一个数值时，罗茨泵8打开，进一步对腔体组件1中的腔体抽真空，同时深冷组件4开始工作，当腔体内真空度进一步下降到一定数值后，2个扩散泵7打开，进一步对腔体组件1中的腔体抽真空，当腔体内真空度进一步下降到一定数值后，伞架组件2开始工作镀膜正式开始，同时根据要求开离子源组件10和电子枪组件11；镀膜结束后，先缓慢停止伞架组件2，关闭深冷组件4、离子源组件10和电子枪组件11，再依次关闭扩散泵7、罗茨泵8、机械泵9（机械泵9关闭油雾过滤组件器6自动停止工作）。该机器工作时工件放置在腔体组件1内伞架系统2上，工作过程中伞架驱动系统带动工件沿着腔体组件1中腔体的中心轴线做稳定的匀速旋转，伞架系统2中还安装有晶振装置用于镀膜过程中镀膜厚度的监控。工作时先2个机械泵9工作，腔体组件1内真空度达到一定值后，罗茨泵8开启，腔体组件1内真空度进一步下降，达到一定值后，扩散泵7开启，最后真空度达到工作条件后，机器开始镀膜。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子束蒸发式真空镀膜机，其特征在于：包括腔体组件、伞架组件、高阀组件、深冷系统、管道系统、扩散泵、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和门夹紧组件；所述伞架组件固定在腔体组件上，所述高阀组件与腔体组件相连，所述高阀组件、扩散泵、罗茨泵以及机械泵通过管道系统连接在一起，所述门夹紧组件安装于腔体组件上；所述电子枪组件的电子枪部分、离子源组件的离子源部分均安装在腔体组件内；所述深冷系统包括2根深冷盘管，1根安装在腔体组件内，1根安装在高阀组件内。

【技术特征摘要】
1.一种电子束蒸发式真空镀膜机，其特征在于：包括腔体组件、伞架组件、高阀组件、深冷系统、管道系统、扩散泵、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和门夹紧组件；所述伞架组件固定在腔体组件上，所述高阀组件与腔体组件相连，所述高阀组件、扩散泵、罗茨泵以及机械泵通过管道系统连接在一起，所述门夹紧组件安装于腔体组件上；所述电子枪组件的电子枪部分、离子源组件的离子源部分均安装在腔体组件内；所述深冷系统包括2根深冷盘管，1根安装在腔体组件内，1根安装在高阀组件内。2.根据权利要求1所述的电子束蒸发式真空镀膜机，其特征在于：所述扩...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨佳葳，龚涛，蔡国，龚平，谢俊，
申请(专利权)人：湖南宇诚精密科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43