弹性波装置及其制造方法制造方法及图纸

提供一种能够容易进行构成于同一压电基板的多个带通型滤波器的频率调整的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：第1带通型滤波器，构成于压电基板(7)，具有多个第1IDT电极(9A)和第1电介质膜(16A)，将第1发送频带或者第1接收频带设为通带；和第2带通型滤波器，构成于压电基板(7)，具有多个第2IDT电极(9B)和第2电介质膜(16B)，将第2发送频带或者第2接收频带设为通带。第1、第2IDT电极(9A、9B)或者第1、第2电介质膜(16A、16B)的至少一方是相同的膜厚，并且包含相同的材料。将第1发送频带的端部的频率设为Tx1，将第1接收频带的端部的频率设为Rx1，将第1带通型滤波器的通带的中心频率设为f1，将第2发送频带的端部的频率设为Tx2，将第2接收频带中的端部的频率设为Rx2，将第2带通型滤波器的通带的中心频率设为f2，此时，|Tx1—Rx1|/f1>|Tx2‑Rx2|/f2，多个第1IDT电极(9A)的占空比的加权平均值比多个第2IDT电极(9B)的占空比的加权平均值大。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置及其制造方法
本专利技术涉及弹性波装置及其制造方法。
技术介绍
以往，弹性波装置被广泛用于移动电话机等。在下述的专利文献1所述的弹性波装置中，在同一压电基板，构成频率特性相互不同的2个声表面波元件。在压电基板上，设置绝缘膜，以使得覆盖各声表面波元件中的IDT电极。通过使2个声表面波元件中的绝缘膜的膜厚相互不同，可调整各弹性波装置的频率特性。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开2000-341068号公报
技术实现思路
-专利技术要解决的课题-在弹性波装置中，由于IDT电极的电极指的线宽、膜厚的制造偏差，频率特性产生偏差。由此，插入损耗、频带外衰减量等的滤波器特性可能劣化。如专利文献1所述的弹性波装置那样，在具有多个声表面波元件的情况下，在声表面波元件间，制造时频率的偏差方式不同。因此，需要按照每个声表面波元件来独立地进行频率调整。因此，特别是具有多个带通型滤波器的弹性波装置等的制造工序繁琐。本专利技术的目的在于，提供一种能够容易地进行构成于同一压电基板的多个带通型滤波器的频率调整的弹性波装置及其制造方法。-解决课题的手段-在本专利技术所涉及的弹性波装置的某个广泛方面，具备：压电基板；第1带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第1IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第1IDT电极的第1电介质膜，并且将包含第1发送频带以及第1接收频带的第1通信频带之中的所述第1发送频带或者所述第1接收频带设为通带；和第2带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第2IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第2IDT电极的第2电介质膜，并且将与所述第1通信频带不同的包含第2发送频带以及第2接收频带的第2通信频带之中的所述第2发送频带或者所述第2接收频带设为通带，所述第1、第2IDT电极、或者所述第1、第2电介质膜的至少一方是相同的膜厚，并且包含相同的材料，在所述第1通信频带中，将所述第1发送频带的最接近于所述第1接收频带的端部的频率设为Tx1，将所述第1接收频带的最接近于所述第1发送频带的端部的频率设为Rx1，将所述第1带通型滤波器的通带的中心频率设为f1，在所述第2通信频带中，将所述第2发送频带的最接近于所述第2接收频带的端部的频率设为Tx2，将所述第2接收频带的最接近于所述第2发送频带的端部的频率设为Rx2，将所述第2带通型滤波器的通带的中心频率设为f2，此时，|Tx1-Rx1|/f1>|Tx2-Rx2|/f2，所述多个第1IDT电极的占空比的加权平均值比所述多个第2IDT电极的占空比的加权平均值大。在本专利技术所涉及的弹性波装置的另一特定的方面，全部所述第1IDT电极的占空比大于全部所述第2IDT电极的占空比。在该情况下，能够进一步容易进行第1、第2带通型滤波器的频率调整。在本专利技术所涉及的弹性波装置的另一广泛方面，具备：压电基板；第1带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第1IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第1IDT电极的第1电介质膜，并且将包含第1发送频带以及第1接收频带的第1通信频带之中的所述第1发送频带或者所述第1接收频带设为通带；和第2带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第2IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第2IDT电极的第2电介质膜，并且将与所述第1通信频带不同的包含第2发送频带以及第2接收频带的第2通信频带之中的所述第2发送频带或者所述第2接收频带设为通带，所述第1、第2IDT电极、或者所述第1、第2电介质膜的至少一方是相同的膜厚，并且包含相同的材料，在所述第1通信频带中，将所述第1发送频带的最接近于所述第1接收频带的端部的频率设为Tx1，将所述第1接收频带的最接近于所述第1发送频带的端部的频率设为Rx1，将所述第1带通型滤波器的通带的中心频率设为f1，在所述第2通信频带中，将所述第2发送频带的最接近于所述第2接收频带的端部的频率设为Tx2，将所述第2接收频带的最接近于所述第2发送频带的端部的频率设为Rx2，将所述第2带通型滤波器的通带的中心频率设为f2，此时，|Tx1-Rx1|/f1>|Tx2-Rx2|/f2，在所述第1通信频带中，相比于所述第1发送频带以及所述第1接收频带之中的所述第1带通型滤波器的通带，另一个通带位于高频侧，在所述第2通信频带中，相比于所述第2发送频带以及所述第2接收频带之中的所述第2带通型滤波器的通带，另一个通带位于高频侧，所述第1带通型滤波器具有输入端以及输出端，并具有第1弹性波谐振器，所述第1弹性波谐振器是被配置于将所述第1带通型滤波器的所述输入端以及所述输出端连接的串联臂的弹性波谐振器之中的至少一个，所述第2带通型滤波器具有输入端以及输出端，并具有第2弹性波谐振器，所述第2弹性波谐振器是被配置于将所述第2带通型滤波器的所述输入端以及所述输出端连接的串联臂的弹性波谐振器之中的至少一个，所述第1弹性波谐振器所具有的所述第1IDT电极的占空比的加权平均值比所述第2弹性波谐振器所具有的所述第2IDT电极的占空比的加权平均值大。在本专利技术所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，全部所述第1弹性波谐振器所具有的所述第1IDT电极的占空比大于全部所述第2弹性波谐振器所具有的所述第2IDT电极的占空比。在该情况下，能够进一步容易进行第1、第2带通型滤波器的频率调整。在本专利技术所涉及的弹性波装置的另一广泛方面，具备：压电基板；第1带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第1IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第1IDT电极的第1电介质膜，并且将包含第1发送频带以及第1接收频带的第1通信频带之中的所述第1发送频带或者所述第1接收频带设为通带；和第2带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第2IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第2IDT电极的第2电介质膜，并且将与所述第1通信频带不同的包含第2发送频带以及第2接收频带的第2通信频带之中的所述第2发送频带或者所述第2接收频带设为通带，所述第1、第2IDT电极、或者所述第1、第2电介质膜的至少一方是相同的膜厚，并且包含相同的材料，在所述第1通信频带中，将所述第1发送频带的最接近于所述第1接收频带的端部的频率设为Tx1，将所述第1接收频带的最接近于所述第1发送频带的端部的频率设为Rx1，将所述第1带通型滤波器的通带的中心频率设为f1，在所述第2通信频带中，将所述第2发送频带的最接近于所述第2接收频带的端部的频率设为Tx2，将所述第2接收频带的最接近于所述第2发送频带的端部的频率设为Rx2，将所述第2带通型滤波器的通带的中心频率设为f2，此时，|Tx1-Rx1|/f1>|Tx2-Rx2|/f2，在所述第1通信频带中，相比于所述第1发送频带以及所述第1接收频带之中的所述第1带通型滤波器的通带，另一个通带位于低频侧，在所述第2通信频带中，相比于所述第2发送频带以及所述第2接收频带之中的所述第2带通型滤波器的通带，另一个通带位于低频侧，所述第1带通型滤波器具有输入端以及输出端，并具有第3弹性波谐振器，所述第3弹性波谐振器是被连接于将所述第1带通型滤波器的所述输入端以及所述输出端连接的串联臂与接地本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：压电基板；第1带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第1IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第1IDT电极的第1电介质膜，并且将包含第1发送频带以及第1接收频带的第1通信频带之中的所述第1发送频带或者所述第1接收频带设为通带；和第2带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第2IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第2IDT电极的第2电介质膜，并且将与所述第1通信频带不同的包含第2发送频带以及第2接收频带的第2通信频带之中的所述第2发送频带或者所述第2接收频带设为通带，所述第1、第2IDT电极、或者所述第1、第2电介质膜的至少一方是相同的膜厚，并且包含相同的材料，在所述第1通信频带中，将所述第1发送频带的最接近于所述第1接收频带的端部的频率设为Tx1，将所述第1接收频带的最接近于所述第1发送频带的端部的频率设为Rx1，将所述第1带通型滤波器的通带的中心频率设为f1，在所述第2通信频带中，将所述第2发送频带的最接近于所述第2接收频带的端部的频率设为Tx2，将所述第2接收频带的最接近于所述第2发送频带的端部的频率设为Rx2，将所述第2带通型滤波器的通带的中心频率设为f2，此时，|Tx1‑Rx1|/f1＞|Tx2‑Rx2|/f2，所述多个第1IDT电极的占空比的加权平均值比所述多个第2IDT电极的占空比的加权平均值大。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.30 JP 2016-1684131.一种弹性波装置，具备：压电基板；第1带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第1IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第1IDT电极的第1电介质膜，并且将包含第1发送频带以及第1接收频带的第1通信频带之中的所述第1发送频带或者所述第1接收频带设为通带；和第2带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第2IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第2IDT电极的第2电介质膜，并且将与所述第1通信频带不同的包含第2发送频带以及第2接收频带的第2通信频带之中的所述第2发送频带或者所述第2接收频带设为通带，所述第1、第2IDT电极、或者所述第1、第2电介质膜的至少一方是相同的膜厚，并且包含相同的材料，在所述第1通信频带中，将所述第1发送频带的最接近于所述第1接收频带的端部的频率设为Tx1，将所述第1接收频带的最接近于所述第1发送频带的端部的频率设为Rx1，将所述第1带通型滤波器的通带的中心频率设为f1，在所述第2通信频带中，将所述第2发送频带的最接近于所述第2接收频带的端部的频率设为Tx2，将所述第2接收频带的最接近于所述第2发送频带的端部的频率设为Rx2，将所述第2带通型滤波器的通带的中心频率设为f2，此时，|Tx1-Rx1|/f1＞|Tx2-Rx2|/f2，所述多个第1IDT电极的占空比的加权平均值比所述多个第2IDT电极的占空比的加权平均值大。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，全部所述第1IDT电极的占空比大于全部所述第2IDT电极的占空比。3.一种弹性波装置，具备：压电基板；第1带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第1IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第1IDT电极的第1电介质膜，并且将包含第1发送频带以及第1接收频带的第1通信频带之中的所述第1发送频带或者所述第1接收频带设为通带；和第2带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第2IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第2IDT电极的第2电介质膜，并且将与所述第1通信频带不同的包含第2发送频带以及第2接收频带的第2通信频带之中的所述第2发送频带或者所述第2接收频带设为通带，所述第1、第2IDT电极、或者所述第1、第2电介质膜的至少一方是相同的膜厚，并且包含相同的材料，在所述第1通信频带中，将所述第1发送频带的最接近于所述第1接收频带的端部的频率设为Tx1，将所述第1接收频带的最接近于所述第1发送频带的端部的频率设为Rx1，将所述第1带通型滤波器的通带的中心频率设为f1，在所述第2通信频带中，将所述第2发送频带的最接近于所述第2接收频带的端部的频率设为Tx2，将所述第2接收频带的最接近于所述第2发送频带的端部的频率设为Rx2，将所述第2带通型滤波器的通带的中心频率设为f2，此时，|Tx1-Rx1|/f1＞|Tx2-Rx2|/f2，在所述第1通信频带中，相比于所述第1发送频带以及所述第1接收频带之中的所述第1带通型滤波器的通带，另一个通带位于高频侧，在所述第2通信频带中，相比于所述第2发送频带以及所述第2接收频带之中的所述第2带通型滤波器的通带，另一个通带位于高频侧，所述第1带通型滤波器具有输入端以及输出端，并具有第1弹性波谐振器，所述第1弹性波谐振器是被配置于将所述第1带通型滤波器的所述输入端以及所述输出端连接的串联臂的弹性波谐振器之中的至少一个，所述第2带通型滤波器具有输入端以及输出端，并具有第2弹性波谐振器，所述第2弹性波谐振器是被配置于将所述第2带通型滤波器的所述输入端以及所述输出端连接的串联臂的弹性波谐振器之中的至少一个，所述第1弹性波谐振器所具有的所述第1IDT电极的占空比的加权平均值比所述第2弹性波谐振器所具有的所述第2IDT电极的占空比的加权平均值大。4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，全部所述第1弹性波谐振器所具有的所述第1IDT电极的占空比大于全部所述第2弹性波谐振器所具有的所述第2IDT电极的占空比。5.一种弹性波装置，具备：压电基板；第1带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第1IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第1IDT电极的第1电介质膜，并且将包含第1发送频带以及第1接收频带的第1通信频带之中的所述第1发送频带或者所述第1接收频带设为通带；和第2带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第2IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第2IDT电极的第2电介质膜，并且将与所述第1通信频带不同的包含第2发送频带以及第2接收频带的第2通信频带之中的所述第2发送频带或者所述第2接收频带设为通带，所述第1、第2IDT电极、或者所述第1、第2电介质膜的至少一方是相同的膜厚，并且包含相同的材料，在所述第1通信频带中，将所述第1发送频带的最接近于所述第1接收频带的端部的频率设为Tx1，将所述第1接收频带的最接近于所述第1发送频带的端部的频率设为Rx1，将所述第1带通型滤波器的通带的中心频率设为f1，在所述第2通信频带中，将所述第2发送频带的最接近于所述第2接收频带的端部的频率设为Tx2，将所述第2接收频带的最接近于所述第2发送频带的端部的频率设为Rx2，将所述第2带通型滤波器的通带的中心频率设为f2，此时，|Tx1-Rx1|/f1＞|Tx2-Rx2|/f2，在所述第1通信频带中，相比于所述第1发送频带以及所述第1接收频带之中的所述第1带通型滤波器的通带，另一个通带位于低频侧，在所述第2通信频带中，相比于所述第2发送频带以及所述第2接收频带之中的所述第2带通型滤波器的通带，另一个通带位于低频侧，所述第1带通型滤波器具有输入端以及输出端，并具有第3弹性波谐振器，所述第3弹性波谐振器是被连接于将所述第1带通型滤波器的所述输入端以及所述输出端连接的串联臂与接地电位之间的弹性波谐振器之中的至少一个，所述第2带通型滤波器具有输入端以及输出端，并具有第4弹性波谐振器，所述第4弹性波谐振器是被连接于将所述第2带通型滤波器的所述输入端以及所述输出端连接的串联臂与接地电位之间的弹性波谐振器之中的至少一个，所述第3弹性波谐振器所具有的所述第1IDT电极的占空比的加权平均值比所述第4弹性波谐振器所具有的所述第2IDT电极的占空比的加权平均值大。6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，全部所述第3弹性波谐振器所具有的所述第1IDT电极的占空比大于全部所述第4弹性波谐振器所具有的所述第2IDT电极的占空比。7.一种弹性波装置，具备：压电基板；第1带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第1IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第1IDT电极的第1电介质膜，并且将包含第1发送频带以及第1接收频带的第1通信频带之中的所述第1发送频带或者所述第1接收频带设为通带；和第2带通型滤波器，具有被设置在所述压电基板上的多个第2IDT电极、和被设置在所述压电基板上以使得覆盖所述多个第2IDT电极的第2电介质膜，并且将与所述第1通信频带不同的包含第2发送频带以及第2接收频带的第2通信频带之中的所述第2发送频带或者所述第2接收频带设为通带，所述第1、第2IDT电极、或者所述第1、第2电介质膜的至少一方是相同的膜厚，并且包含相同的材料，在所述第1通信频带中，将所述第1发送频带的最接近于所述第1接收频带的端部的频率设为Tx1，将所述第1接收频带的最接近于所述第1发送频带的端部的频率设为Rx1，将所述第1带通型滤波器的通带的中心频率设为f1，在所述第2通信频带中，将所述第2发送频带的最接近于所述第2接收频带的端部的频率设为Tx2，将所述第2接收频带的最接近于所述第2发送频带的端部的频率设为Rx2，将所述第2带通型滤波器的通带的中心频率设为f2，此时，|Tx1-Rx1|/f1＞|Tx2-Rx2|/f2，在所述第1通信频带中，相比于所述第1发送频带以及所述第1接收频带之中的所述第1带通型滤波器的通带，另一个通带位于高频侧，在所述第2通信频带中，相比于所述第2发送频带以及所述第2接收频带之中的所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：安田润平，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP