压力传感器制造技术

压力传感器(1)具有受压凹部(213)与保护膜(230)。受压凹部是通过朝向沿着厚度方向的检测方向开口而构成检测空间的凹部。受压凹部具有：与面内方向平行的平面、并且是外缘部关于面内方向设于隔膜(218)的外侧的底面(214)；以及侧壁面(215)，从底面的外缘部朝向检测方向突出地设置。将底面与侧壁面覆盖的保护膜具有形成于受压凹部中的底面与侧壁面的连接部即内角部(216)的角壁部(232)。角壁部关于面内方向设于隔膜的外侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力传感器相关申请的相互参照本申请基于2016年8月25日提出申请的日本专利申请号2016－164390号，此处通过参照引入其记载内容。
本公开涉及压力传感器。
技术介绍
已知有在检测部具有作为薄壁部的隔膜(Diaphragm)的压力传感器。在这种压力传感器中，若在用于形成隔膜的凹部的表面附着异物等附着物，则压力检测精度可能降低。因此，在日本特开2015－197367号公报所公开的压力传感器中，在凹部的表面设有保护膜。保护膜例如由合成树脂膜构成。
技术实现思路
在日本特开2015－197367号公报所公开的压力传感器中，在凹部的表面设置保护膜的情况下，在凹部中的内角部与除此以外的部分中，成膜状态可能大为不同。具体而言，例如在利用合成树脂膜形成保护膜的情况下，可能在内角部形成角壁部。这种凹部中的内角部与除此以外的部分的成膜状态的不同可能对由受压引起的隔膜的挠曲特性带来影响。根据本公开的一个观点，压力传感器具备薄板状的隔膜。所述隔膜设于基板的厚度方向上的一部分。另外，所述隔膜设于基板的面内方向上的一部分。所述面内方向是与所述厚度方向正交的方向。所述隔膜构成为能够沿所述厚度方向挠曲变形。即，所述压力传感器构成为，通过在所述厚度方向上与所述隔膜相邻的检测空间内的流体压力作用于所述隔膜，从而产生与所述流体压力相应的电输出。所述压力传感器具有受压凹部及保护膜。所述受压凹部是以通过朝向沿着所述厚度方向的检测方向开口而构成所述检测空间的方式形成于所述基板的凹部。所述受压凹部具有底面和侧壁面，该底面是与所述面内方向平行的平面，外缘部在所述面内方向上设于所述隔膜的外侧，所述侧壁面从所述底面的所述外缘部朝向所述检测方向突出地设置。所述保护膜以将所述底面及所述侧壁面覆盖的方式设置。具体而言，所述保护膜具有形成于所述受压凹部中的所述底面与所述侧壁面的连接部即内角部的角壁部。所述角壁部在所述面内方向上设于所述隔膜的外侧。在上述构成中，所述受压凹部中的所述底面以及所述侧壁面被所述保护膜覆盖。由此，可抑制附着物向所述底面以及所述侧壁面的附着。此外，所述保护膜中的所述角壁部形成于所述受压凹部中的所述内角部。但是，在上述构成中，所述角壁部在所述面内方向上设于所述隔膜的外侧。因此，能够尽可能地抑制所述角壁部给所述隔膜的挠曲特性带来的影响。因此，根据上述构成，能够良好地抑制附着物在用于形成所述隔膜的所述受压凹部的表面(即所述底面以及所述侧壁面)上的附着。另外，权利要求书所记载的各单元中的、括号内的附图标记表示该单元与后述的实施方式所记载的具体单元的对应关系的一个例子。附图说明图1是表示实施方式的压力传感器的概略构成的侧剖面图。图2是图1所示的检测部的俯视图。图3是图2的III－III剖面图。图4是表示图3所示的检测部的构成的一变形例的侧剖面图。图5是表示图3所示的检测部的构成的其他一变形例的侧剖面图。图6是表示图3所示的检测部的构成的其他的另一变形例的侧剖面图。图7是表示图3所示的检测部的构成的其他的另一变形例的侧剖面图。具体实施方式以下，基于附图对实施方式进行说明。另外，在实施方式与后述的变形例中，对相互相同或者均等的部分标注了同一附图标记。(构成)参照图1，本实施方式的压力传感器1是发动机液压传感器，构成为能够安装于未图示的发动机中的工作油循环路径。具体而言，压力传感器1具备传感器芯片2。在传感器芯片2的前端部2a侧形成有检测部2b。检测部2b构成为，在压力传感器1安装于上述的工作油循环路径的情况下被浸渍于工作油内，从而产生与工作液压相应的电输出(例如电压)。传感器芯片2的基端部2c与电路芯片3经由接合线4而电连接。电路芯片3是用于处理由检测部2b产生的电输出的IC芯片。电路芯片3固定于引线框5，并且与引线框5电连接。传感器芯片2的基端部2c、电路芯片3、接合线4、以及引线框5中的基端部5a以外的部分被模制树脂6覆盖。即，引线框5中的基端部5a被设为在模制树脂6的外部露出。传感器芯片2包括由硅等半导体形成的板状的基板20。在图1中，压力传感器1被图示为基板20的厚度方向成为图中上下方向。以下，有时将基板20的厚度方向称作“基板厚方向”。另外，将与基板厚方向平行的一方向(即图1中的下方向)称作“检测方向”，用图中箭头D1表示。将与检测方向相反的方向称作“受压方向”，用图中箭头D2表示。另外，将与基板厚方向正交的任意的方向(即图1中的左右方向)称作“面内方向”，用图中箭头D3表示。而且，将以检测方向作为视线观察对象物称作“俯视”，将以与基板厚方向平行的平面剖视称作“侧剖视”。参照图1～图3，对传感器芯片2以及检测部2b的详细构成进行说明。在本实施方式中，基板20通过将第一基板21与第二基板22沿基板厚方向层叠并接合而形成。即，第一基板21以其一对主面中的一方即内侧主面211与第二基板22接合。“一对主面”指的是俯视时形成为大致矩形状的平板状的第一基板21所具有的三对外表面中的、面积最大的一对面。即，内侧主面211是以第一基板21的厚度方向(即基板厚方向)为法线方向的平面。第一基板21配置于比第二基板22靠检测方向侧。第一基板21中的上述的一对主面中的另一方即外侧主面212是朝向检测方向露出的面，与内侧主面211平行地设置。在第一基板21中的外侧主面212侧形成有受压凹部213。受压凹部213被设为，通过朝向检测方向开口，构成检测空间S。检测空间S被形成为，在压力传感器1安装于上述的工作油循环路径的情况下，能够供工作油导入。受压凹部213具有底面214及侧壁面215。底面214是与面内方向平行的平面，在本实施方式中，在俯视时形成为正八边形状。侧壁面215从底面214的外缘部朝向检测方向突出地设置。具体而言，在本实施方式中，侧壁面215形成为与正八边形状的底面214正交的八棱柱面状。受压凹部213中的内角部216是平面状的底面214与平面状的侧壁面215彼此相向且垂直地连接的部分，在侧剖视时形成为呈直角的角部。在第一基板21中的、比受压凹部213靠受压方向侧，形成有薄壁部217。薄壁部217是设于第一基板21的厚度方向上的一部分的薄壁状的部分。具体而言，薄壁部217通过对第一基板21从外侧主面212侧形成与受压凹部213对应的非贯通孔而设置。薄壁部217的外缘部由受压凹部213中的内角部216形成。隔膜218设于基板20的基板厚方向以及面内方向上的一部分。具体而言，隔膜218由薄壁部217中的、比外缘部靠内侧一些的部分形成。即，构成薄壁部217的外缘部的、受压凹部213中的内角部216在面内方向上设于比隔膜218的外缘218a靠外侧。薄板状的隔膜218构成为能够沿其厚度方向(即基板厚方向)挠曲变形。在隔膜218设有多个校准(gauge)部219。校准部219是通过从内侧主面211侧对第一基板21进行离子注入而形成的扩散电阻部，并构成为而使根据隔膜218的挠曲变形状态而发生变化。在本实施方式中，校准部219配置于隔膜218中的外缘218a的附近。另外，在本实施方式中，设有四个校准部219，它们以构成惠斯登电桥的方式相互电连接。这样，压力传感器1构成为，通过在基板厚方向上与隔膜218相邻的检测空间S内的工作液压作用于隔膜218，从而产生与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器(1)，其构成为，通过对被设置于基板(20)的厚度方向(D1、D2)以及与所述厚度方向正交的面内方向(D3)上的一部分且能够沿所述厚度方向挠曲变形的薄板状的隔膜(218)，作用在所述厚度方向上与所述隔膜相邻的检测空间(S)内的流体压力，从而产生与所述流体压力相应的电输出，所述压力传感器(1)的特征在于，具备：受压凹部(213)，是以通过朝向沿着所述厚度方向的检测方向(D1)开口而构成所述检测空间的方式形成于所述基板的凹部，具有底面(214)和侧壁面(215)，该底面(214)是与所述面内方向平行的平面，且外缘部在所述面内方向上被设置于所述隔膜的外侧，所述侧壁面(215)从所述底面的所述外缘部朝向所述检测方向突出设置；以及保护膜(230)，被设置成覆盖所述底面及所述侧壁面，所述保护膜具有角壁部(232)，该角壁部(232)形成于所述受压凹部中的所述底面与所述侧壁面的连接部即内角部(216)，所述角壁部在所述面内方向上被设置于所述隔膜的外侧。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.25 JP 2016-1643901.一种压力传感器(1)，其构成为，通过对被设置于基板(20)的厚度方向(D1、D2)以及与所述厚度方向正交的面内方向(D3)上的一部分且能够沿所述厚度方向挠曲变形的薄板状的隔膜(218)，作用在所述厚度方向上与所述隔膜相邻的检测空间(S)内的流体压力，从而产生与所述流体压力相应的电输出，所述压力传感器(1)的特征在于，具备：受压凹部(213)，是以通过朝向沿着所述厚度方向的检测方向(D1)开口而构成所述检测空间的方式形成于所述基板的凹部，具有底面(214)和侧壁面(215)，该底面(214)是与所述面内方向平行的平面，且外缘部在所述面内方向上被设置于所述隔膜的外侧，所述侧壁面(215)从所述底面的所述外缘部朝向所述检测方向突出设置；以及保护膜(230)，被设置成覆盖所述底面及所述侧壁面，所述保护膜具有角壁部(232)，该角壁部(232)形成于所述受压凹部中的所述底面与所述侧壁面的连接部即内角部(216)，所述角壁部在所述面内方向上被设置于所述隔膜的外侧。2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，在以与所述厚度方向平行的视线观察的情况下，所述角壁部被设置于不与所述隔膜重叠的位置。3.如权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，在观察通过与所述厚度方向平行...

【专利技术属性】
技术研发人员：金泽武，大野和幸，川野晋司，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：日本,JP