【技术实现步骤摘要】
一种典型LOADLOCK焊接腔体加工工艺
本专利属于IC装备及精密零部件制造领域,特别是涉及一种典型LOADLOCK焊接腔体加工工艺。适用于IC装备制造中类似LOADLOCK焊接腔体的加工。
技术介绍
随着电子集成电路,智能制造的快速发展和普及,对于IC装备的需求量也日益增加。本专利技术中的LOADLOCK焊接腔体类零件,因其外形不规则,装夹困难,且焊接难度大,尺寸精度、形状、位置精度、表面粗糙度要求高,加工中易变形,已成为IC装备零部件较难加工零件之一。
技术实现思路
本专利技术目的是提供一种典型LOADLOCK焊接腔体加工工艺。为实现本专利技术的目的采用的技术方案是:一种典型LOADLOCK焊接腔体加工工艺,包括以下步骤:1)加工焊接单板,内侧面加工到位,外侧面留余量2mm,在单板上设焊接定位用销孔;2)在有窗口单件零件上预留焊后加工装夹用工艺凸台,焊后反把工装使用;3)通过销子定位组装后,焊接零件;4)加工基准面及反把工装用销孔及螺栓孔;5)使用卧加四轴加工中心加工零件,零件通过零点定位反把工装放置至机床回转中心,加工四周工位;6)转换方向,利用已加工面螺纹孔及销孔装夹零件,加工其余面。本专利技术的有益效果是:1、单板加工时设计销孔位置,用于焊接时装配固定零件,大大提高焊接精度,降低了焊接难度,提高了焊接质量。2、采用预留反把装夹位置,使用零点定位工装反把装夹零件,完成零件的加工,装夹简单快速,定位误差小,加工效率高,且反把工装结构简单,操作方便,对整体的锁紧工作技术要求低,有效的降低了对操作工人的要求,可在类似零件中推广使用。附图说明图1是焊接销孔定位 ...
【技术保护点】
1.一种典型LOAD LOCK焊接腔体加工工艺,其特征在于:包括以下步骤:1)加工焊接单板,内侧面加工到位,外侧面留余量2mm,在单板上设焊接定位用销孔;2)在有窗口单件零件上预留焊后加工装夹用工艺凸台,焊后反把工装使用;3)通过销子定位组装后,焊接零件;4)加工基准面及反把工装用销孔及螺栓孔;5)使用卧加四轴加工中心加工零件,零件通过零点定位反把工装放置至机床回转中心,加工四周工位;6)转换方向,利用已加工面螺纹孔及销孔装夹零件,加工其余面。
【技术特征摘要】
1.一种典型LOADLOCK焊接腔体加工工艺,其特征在于:包括以下步骤:1)加工焊接单板,内侧面加工到位,外侧面留余量2mm,在单板上设焊接定位用销孔;2)在有窗口单件零件上预留焊后加工装夹用工艺凸台,焊后反把工装使用;3)通过销子定位组装后,焊接零件;4)加工基准面及反把工装用销孔及螺栓孔;5)使用卧加四轴加工中心加工零件,零件通过零点定位反把工装放置至机床回转中心,加工四周工位;6)转换方向,利用已加工面螺纹孔及销孔装夹零件,加工其余...
【专利技术属性】
技术研发人员:李婷,赵强,
申请(专利权)人:沈阳富创精密设备有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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