基板检查系统以及使用基板检查系统制造半导体器件的方法技术方案

提供了一种基板检查系统。所述基板检查系统包括：浮动单元，被配置为浮动基板；检查单元，布置在浮动单元上方；握持单元，布置在检查单元下方并且包括被配置为将基板保持在浮动单元上的第一握持构件；握持传送单元，被配置为沿第一方向移动握持单元；以及照明单元，被配置为产生光。检查单元被配置为检查在浮动单元上浮动的基板，照明单元布置在握持单元的移动路径上，以使得由照明单元产生的光照射到检查单元上。第一握持构件包括被配置为吸附基板的第一吸附垫和支撑第一吸附垫的第一支撑构件，第一支撑构件包括第一开口，照明单元插入第一开口中。

【技术实现步骤摘要】
基板检查系统以及使用基板检查系统制造半导体器件的方法相关申请的交叉引用本申请要求于2017年9月26日提交的韩国专利申请No.10-2017-0124464的优先权，其全部公开内容通过引用合并于此。
本专利技术构思的示例性实施例涉及一种握持装置和包括握持装置的基板检查系统，以及一种使用基板检查系统制造半导体器件的方法。
技术介绍
随着半导体工艺变得更加复杂，对半导体器件上产生的颗粒进行检查的重要性正在增加。对半导体基板上的颗粒的检查并且减少颗粒可以改善半导体器件的可靠性并且可以提高工艺产量。光学装置可用于检查半导体基板上的颗粒。
技术实现思路
本专利技术构思的示例性实施例提供了一种用于减小或最小化基板的未检查区域的握持装置以及包括该握持装置的基板检查系统。根据本专利技术构思的示例性实施例，一种基板检查系统包括：浮动单元，被配置为使基板浮动；检查单元，布置在浮动单元上方；握持单元，布置在检查单元下方且包括被配置为将基板保持在浮动单元上的第一握持构件；握持传送单元，被配置为沿第一方向移动握持单元；以及被配置为产生光的照明单元。检查单元被配置为检查在浮动单元上浮动的基板，照明单元布置在握持单元的移动路径上，以使得由照明单元产生的光照射到检查单元上。第一握持构件包括被配置为吸附基板的第一吸附垫和支撑第一吸附垫的第一支撑构件，第一支撑构件包括第一开口，照明单元插入第一开口中。根据本专利技术构思的示例性实施例，一种基板检查系统包括：浮动单元，被配置为使基板浮动；握持单元，被配置为将基板保持在浮动单元上；第一照明构件，布置在第一握持构件和第二握持构件之间；以及握持传送单元，被配置为移动握持单元。握持单元包括：彼此间隔开的第一握持构件和第二握持构件；以及被配置为将光照射到基板上的第一照明构件。第一握持构件和第二握持构件中的每一个均包括：吸附垫，被配置为吸附所述基板；支撑架，布置在吸附垫下方并且沿远离第一照明构件的方向与吸附垫间隔开；以及支撑板，将吸附垫连接到支撑架。根据本专利技术构思的示例性实施例，一种握持装置，包括：托盘、布置在托盘上的第一握持构件，以及布置在托盘上并沿第一方向与第一握持构件间隔开的第二握持构件。第一握持构件包括第一支撑构件，第一支撑构件包括：与托盘间隔开的第一支撑板、将第一支撑板连接到托盘的第一支撑架、第一开口和第一吸附垫。第一开口沿第一方向在第一支撑板的第一侧表面和第一支撑架的内表面之间延伸。第一侧表面面对第二握持构件。第一吸附垫布置在第一支撑板上并且被配置为吸附基板，并且与第一侧表面相邻。根据本专利技术构思的示例性实施例，一种制造半导体器件的方法，包括：使用基板形成半导体器件，并且使用根据上述任一实施例的基板检查系统测试基板。使用基板检查系统测试所述基板包括：使用基板检查系统的浮动单元使基板浮动；使用基板检查系统的握持单元将基板保持在浮动单元上。握持单元包括彼此间隔开的第一握持构件和第二握持构件。测试所述基板还包括：由基板检查系统的握持传送单元移动握持单元，以及由布置在第一握持构件和第二握持构件之间的照明构件产生光。光照射到基板上。测试所述基板还包括：由基板检查系统的检查单元检查在浮动单元上浮动的基板。光穿过基板照射到检查单元上，并且检查单元使用照射到检查单元上的光来检查基板。第一握持构件和第二握持构件中的每一个均包括：吸附垫，吸附所述基板；支撑架，布置在吸附垫下方并且沿远离照明构件的方向与吸附垫间隔开；以及支撑板，将吸附垫连接到支撑架。附图说明通过参考附图详细描述本专利技术构思的示例性实施例，本专利技术构思的以上和其他特征将变得更显而易见，其中：图1示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的基板检查系统的平面图。图2示出了部分地示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的平面图。图3示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的侧视图。图4示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的正视图。图5示出了部分地示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的框图。图6示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图2的部分A的放大视图。图7示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的握持单元的透视图。图8示出了根据本专利技术构思的示例性实施例的沿图7的线I-I’截取的截面图。图9示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的第一台架、第一光学构件和第一照明构件的正视图。图10示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的基板检查系统的平面图。图11示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的基板检查系统的平面图。图12示出了部分地示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图11的基板检查系统的平面图。图13示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图11的握持单元的透视图。图14示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图11的引导构件的侧视图。图15示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的握持单元的透视图。图16示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图15的握持单元的截面图。图17至图20示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的在基板检查中操作的图1的基板检查系统的示意图。具体实施方式图1示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的基板检查系统的平面图。图2示出了部分地示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的平面图。图3示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的侧视图。图4示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的正视图。图5示出了部分地示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的基板检查系统的框图。图6示出了示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图2的部分A的放大视图。参考图1至图6，根据本专利技术构思的示例性实施例的基板检查系统10使用光来检查在用于制造半导体器件的基板上是否存在缺陷。基板允许光从中穿过。例如，基板可以是允许光从中穿过的玻璃面板或可以包括允许光从中穿过的玻璃面板。然而，本专利技术构思的示例性实施例不限于此。基板检查系统10可以包括基座100、台架400、浮动单元200、第一基板传送单元150、照明单元300、照明移动单元350、检查单元500、第二基板传送单元600和控制器700。基座100支撑基板检查系统10的组件。例如，基座100可以支撑台架400、浮动单元200、第二基板传送单元600的一部分、照明单元300和第一基板传送单元150。浮动单元200可以使基板在浮动单元200上方浮动。例如，浮动单元200可以朝基板喷射气体G(例如，空气)，从而使基板浮动。在本描述中，术语“浮动”意味着基板浮在浮动单元200上方，同时与浮动单元200间隔开。浮动单元200可以置于基座100的上表面110上。浮动单元200可以包括彼此间隔开的多个浮动台210、220、230、240、250和260以及向浮动台210至260供应气体G的气体源。当在平面图中观看时，浮动台210至260可以沿第一方向D1和基本垂直于第一方向D1的第二方向D2排列，如图1所示。浮动台210至260中的每一个可以在其上表面上包括多个喷孔SH，如图6所示。当在平面图中观看时，喷孔SH可以沿第一方向D1和第二方向D2排列，如图6所示。浮动台210至260中的每一个可以被配置为使得气体G通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板检查系统，包括：浮动单元，被配置为使基板浮动；检查单元，布置在所述浮动单元上方并且被配置为检查在所述浮动单元上浮动的所述基板；握持单元，布置在所述检查单元下方，并且包括第一握持构件，所述第一握持构件被配置为将所述基板保持在所述浮动单元上；握持传送单元，被配置为沿第一方向移动所述握持单元；以及照明单元，被配置为产生光，其中，所述照明单元布置在所述握持单元的移动路径上，以使得由所述照明单元产生的光照射到所述检查单元上，其中，所述第一握持构件包括：第一吸附垫，被配置为吸附所述基板；以及第一支撑构件，被配置为支撑所述第一吸附垫并且包括第一开口，所述照明单元插入所述第一开口中。

【技术特征摘要】
2017.09.26 KR 10-2017-01244641.一种基板检查系统，包括：浮动单元，被配置为使基板浮动；检查单元，布置在所述浮动单元上方并且被配置为检查在所述浮动单元上浮动的所述基板；握持单元，布置在所述检查单元下方，并且包括第一握持构件，所述第一握持构件被配置为将所述基板保持在所述浮动单元上；握持传送单元，被配置为沿第一方向移动所述握持单元；以及照明单元，被配置为产生光，其中，所述照明单元布置在所述握持单元的移动路径上，以使得由所述照明单元产生的光照射到所述检查单元上，其中，所述第一握持构件包括：第一吸附垫，被配置为吸附所述基板；以及第一支撑构件，被配置为支撑所述第一吸附垫并且包括第一开口，所述照明单元插入所述第一开口中。2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一支撑构件包括：第一支撑板，具有彼此面对的上表面和下表面；以及第一支撑架，从所述第一支撑板的下表面开始延伸，其中，所述第一吸附垫布置在所述第一支撑板的上表面上，并且沿所述第一方向与所述第一支撑架间隔开，其中，所述第一开口布置在所述第一支撑板的下表面下方。3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述第一开口包括：重叠区域，与所述第一吸附垫重叠；以及非重叠区域，不与所述第一吸附垫重叠，其中，所述非重叠区域布置在所述重叠区域和所述第一支撑架之间。4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述握持单元还包括：第二握持构件，被配置为保持所述基板并且沿所述第一方向与所述第一握持构件间隔开，其中，所述第二握持构件包括：第二吸附垫，被配置为吸附所述基板；以及第二支撑构件，被配置为支撑所述第二吸附垫并且包括第二开口，所述照明单元插入所述第二开口中。5.根据权利要求4所述的系统，其中，所述第二支撑构件包括：第二支撑板，具有彼此面对的上表面和下表面；以及第二支撑架，从所述第二支撑板的下表面开始延伸，并且沿所述第一方向与所述第二吸附垫间隔开，其中，所述第二吸附垫布置在所述第二支撑板的上表面上，其中，所述第二开口布置在所述第二支撑板的下表面下方。6.根据权利要求5所述的系统，其中，所述第二开口包括：重叠区域，与所述第二吸附垫重叠；以及非重叠区域，不与所述第二吸附垫重叠；其中，所述非重叠区域布置在所述重叠区域和所述第二支撑架之间。7.根据权利要求4所述的系统，其中，所述照明单元布置在所述第一握持构件和所述第二握持构件之间。8.根据权利要求4所述的系统，其中，所述握持单元还包括：托盘，将所述第一握持构件连接到所述第二握持构件，其中，所述第一开口布置在所述第一吸附垫和所述托盘之间，并且所述第二开口布置在所述第二吸附垫和所述托盘之间。9.根据权利要求1所述的系统，其中，所述浮动单元包括：第一浮动台，被配置为朝所述基板喷射气体；以及第二浮动台，被配置为朝所述基板喷射气体，其中，所述第二浮动台沿所述第一方向与所述第一浮动台间隔开，其中，所述照明单元包括第一照明构件，所述第一照明构件布置在所述第一浮动台和所述第二浮动台之间并且沿与所述第一方向相交的第二方向延伸。10.根据权利要求9所述的系统，其中，所述第一照明构件包括沿所述第二方向排列的多个光源。11.根据权利要求9所述的系统，其中，所述浮动单元还包括：第三浮动台，被配置为朝所述基板喷射气体，其中，所述第三浮动台沿所述第二方向与所述第一浮动台间隔开；以及第四浮动台，被配置为朝所述基板喷射气体，其中，所述第四浮动台沿所述第二方向与所述第二浮动台间隔开，其中，所述握持传送单元被配置为驱动所述握持单元在所述第一浮动台和所述第三浮动台之间以及在所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹贵玹，徐元国，许瑛，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR