The utility model discloses a transmission roll of vacuum equipment with on-line monitoring function, which comprises a driving device, a vacuum chamber, at least a set of transmission roll units and a monitoring device; the transmission roll unit is rotatably connected in the vacuum chamber, the input end of the transmission roll unit and the driving device are transmission connected, and the output end of the transmission roll unit is connected with the monitoring device. The utility model can directly monitor the working state of each driving roller unit by connecting the output end of each driving roller unit of the vacuum equipment with the monitoring device. When a driving roller unit fails, the monitoring device can accurately monitor and find which driving roller unit fails, and can realize rapid investigation to ensure that the equipment is taken promptly. Measures should be taken to avoid greater losses due to failure. The utility model applies the technical field of vacuum equipment.
【技术实现步骤摘要】
一种具有在线监测功能的真空设备传动辊
本技术涉及真空设备
,特别是涉及一种具有在线监测功能的真空设备传动辊。
技术介绍
真空设备被广泛应用于现代化工业生产,例如物理气相沉积技术、化学气相沉积技术、气相运输沉积技术和等离子体表面处理技术等工业生产领域。大多数真空设备和其他设备构成自动化或半自动化生产线,真空设备传动辊失效的在线监测对于生产线的正常运行具有重要意义。传动辊是真空设备主要的传动方式之一,其运行状态在线监测尤为重要。真空设备目前主要通过以下一种或多种方式监测传动辊:1.监测传动辊的动力输入装置(例如电动机等)的工作状态;2.监测传动件(例如同步轮、同步带等)的工作状态;3.监测传动辊输入端连接件(例如磁流体密封传动装置、联轴器等)的工作状态;4.监测真空设备所加工的工件的位置。以上方法均是通过监测传动辊中某个零部件的工作状态或者通过监测真空设备所加工工件的位置判断传动辊工作状态,不能完整地反应整个传动辊的工作状态,可靠性偏低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有在线监测功能的真空设备传动辊,可以监测每一传动辊的工作状态,并及时给出传动辊失效报警,确保对设备及时采取应对措施,避免因故障造成更大损失。本技术所采用的技术方案是:一种具有在线监测功能的真空设备传动辊,包括驱动装置、真空腔体、至少一组传动辊单元和监测装置;所述传动辊单元转动连接在所述真空腔体内,所述传动辊单元的输入端和所述驱动装置传动连接,所述传动辊单元的输出端与监测装置连接;所述传动辊单元包括传动辊、第一磁流体密封传动装置和第二磁流体密封传动装置,所述传动辊的一端通过第一联轴器和第一 ...
【技术保护点】
1.一种具有在线监测功能的真空设备传动辊,其特征在于:包括驱动装置(1)、真空腔体(2)、至少一组传动辊单元和监测装置;所述传动辊单元转动连接在所述真空腔体(2)内,所述传动辊单元的输入端和所述驱动装置(1)传动连接,所述传动辊单元的输出端与监测装置连接;所述传动辊单元包括传动辊(41)、第一磁流体密封传动装置(42)和第二磁流体密封传动装置(43),所述传动辊(41)的一端通过第一联轴器(44)和第一磁流体密封传动装置(42)的输出轴相接,另一端通过第二联轴器(45)和第二磁流体密封传动装置(43)的输入轴相接。
【技术特征摘要】
1.一种具有在线监测功能的真空设备传动辊,其特征在于:包括驱动装置(1)、真空腔体(2)、至少一组传动辊单元和监测装置;所述传动辊单元转动连接在所述真空腔体(2)内,所述传动辊单元的输入端和所述驱动装置(1)传动连接,所述传动辊单元的输出端与监测装置连接;所述传动辊单元包括传动辊(41)、第一磁流体密封传动装置(42)和第二磁流体密封传动装置(43),所述传动辊(41)的一端通过第一联轴器(44)和第一磁流体密封传动装置(42)的输出轴相接,另一端通过第二联轴器(45)和第二磁流体密封传动装置(43)的输入轴相接。2.根据权利要求1所述的具有在线监测功能的真空设备传动辊,其特征在于:若干所述传动辊单元平行排列并转动连接在所述真空腔体(2)内,相邻所述传动辊单元之间通过传动件同步转动,其中一个所述传动辊单元的输入端和所述驱动装置(1)传动连接。3.根据权利要求2所述的具有在线监测功能的真空设备传动辊,其特...
【专利技术属性】
技术研发人员:王志海,邝斌,戴春田,陈金良,齐鹏飞,何光俊,赖新暖,
申请(专利权)人:中山瑞科新能源有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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