【技术实现步骤摘要】
一种铌旋转靶材及其制备方法
本专利技术涉及一种旋转靶材,特别涉及一种铌旋转靶材,本专利技术还涉及该铌旋转靶材的制备方法。
技术介绍
由于光学玻璃、触摸屏等行业的快速发展,对铌旋转靶材的需求量越来越大,另外对铌旋转靶材的品质要求也越来越高。现有的铌靶在镀膜过程中利用率不高,造成旋转靶材的生产成本居高不下。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术的目的在于提出一种铌旋转靶材及其制备方法。该方法制备得到的铌旋转靶材品质好,靶材在镀膜过程中的利用率高,大幅度降低旋转靶材的生产成本。为解决上述技术问题,本专利技术采用以下技术方案予以实现:一种铌旋转靶材的制备方法,包括如下步骤:S1、制备平均粒径D50为10-80μm的铌粉末;S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管,对靶材基管进行表面喷砂处理;S3、冷喷涂成型:将制备的铌粉末装入冷喷涂送粉器内,将处理后的靶材基管安装在传动设备上,使其自转,冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动,制得靶材;S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度,制得成品。作为优选地,所述步骤S1中,铌粉末的粒径D50为20-60μm。作为优选地,所述步骤S2中,靶材基管喷砂粗化处理之前需要进行预处理,包括去除基管表面污垢和氧化层。作为优选地,所述步骤S2中,靶材基管喷砂粗化处理后的基管表面粗糙度为Ra1.5~500μm。作为优选地,所述步骤S3中,冷喷涂成型工艺为:主气压力为2-10Mpa,送粉气压力为2.1-10.1Mpa,主气加热温度300-1000℃,喷涂距离15-100mm,所得相对密度95-99%的铌旋转靶材。本专利技术还提出了一种铌旋转靶材 ...
【技术保护点】
1.一种铌旋转靶材的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、制备平均粒径D50为10‑80μm的铌粉末;S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管,对靶材基管进行表面喷砂处理;S3、冷喷涂成型:将制备的铌粉末装入冷喷涂送粉器内,将处理后的靶材基管安装在传动设备上,使其自转,冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动,制得靶材;S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度,制得成品。
【技术特征摘要】
1.一种铌旋转靶材的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、制备平均粒径D50为10-80μm的铌粉末;S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管,对靶材基管进行表面喷砂处理;S3、冷喷涂成型:将制备的铌粉末装入冷喷涂送粉器内,将处理后的靶材基管安装在传动设备上,使其自转,冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动,制得靶材;S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度,制得成品。2.根据权利要求1所述的铌旋转靶材的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中,铌粉末的粒径D50为20-60μm。3.根据权利要求1所述的铌旋转靶材的制备...
【专利技术属性】
技术研发人员:周志宏,肖世洪,雷雨,肖世文,沈艳斌,周昭寅,
申请(专利权)人:广州市尤特新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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