红外探测器杜瓦的真空特性检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，包括：穿刺针、穿刺管道及质谱仪；穿刺针内部开设有通路，穿刺针用于穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃后，与红外探测器杜瓦内部气体连通，以采集红外探测器杜瓦内部的气体；穿刺管道的一端与穿刺针内部的通路连通，另一端与质谱仪连通，用于将穿刺针采集的气体输送至质谱仪；质谱仪用于对穿刺管道输送的穿刺针采集的气体进行检测，以得到红外探测器杜瓦的真空特性。本发明专利技术利用穿刺针穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃，采集红外探测器杜瓦内部的气体，将采集到的气体通过穿刺管道输送至质谱仪，质谱仪对采集到的气体进行检测，能够直接得到红外探测器杜瓦的真空特性。

【技术实现步骤摘要】
红外探测器杜瓦的真空特性检测装置及方法
本专利技术涉及红外焦平面阵列探测器
，特别是涉及一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置、检测方法及真空度劣化原因检测方法。
技术介绍
对于大部分红外焦平面阵列探测器(简称红外探测器)的材料，需要在低温下抑制噪声才能正常工作，工作温度一般需要低至60K～90K，因此，红外探测器包括红外探测器芯片、杜瓦及制冷机，其中杜瓦用于维持低温的真空环境。但在红外探测器使用过程中，杜瓦的真空度可能会发生劣化，导致红外探测器不能继续维持正常工作所要的低温环境。因此需要检测杜瓦的真空度，一般采用液氮蒸发法或外接/内接真空计的方法进行检测。液氮蒸发法是通过计算杜瓦的液氮计算出杜瓦的热耗散功率，间接评估杜瓦的真空特性，不能准确直接的检测出杜瓦的真空特性；外接/内接真空计虽然可以直接获得杜瓦的真空度，但在红外探测器使用过程中，会对探测造成附加影响，并且会带来安全隐患。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置及方法，能够准确直接且安全地检测杜瓦的真空特性，还能分析出造成杜瓦真空劣化的原因。一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，包括：穿刺针、穿刺管道及质谱仪；穿刺针内部开设有通路，穿刺针用于穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃后，与红外探测器杜瓦内部气体连通，以采集红外探测器杜瓦内部的气体；穿刺管道的一端与穿刺针内部的通路连通，另一端与质谱仪连通，用于将穿刺针采集的气体输送至质谱仪；质谱仪用于对穿刺管道输送的穿刺针采集的气体进行检测，以得到红外探测器杜瓦的真空特性。在其中一个实施例中，红外探测器杜瓦的真空特性检测装置还包括真空罩；真空罩用于罩设于红外探测器杜瓦的光窗玻璃上，穿刺针设置于真空罩内部；真空罩上设置有密封阀；密封阀一端与穿刺针连通，另一端位于真空罩外部，用于驱动穿刺针穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃；密封阀上设置有抽气孔；穿刺管道穿过所述抽气孔，与所述密封阀内部连通，以连通穿刺针。在其中一个实施例中，密封阀与穿刺针通过螺纹结构进行旋接。在其中一个实施例中，红外探测器杜瓦的真空特性检测装置还包括抽气管道及真空泵；抽气管道分别连通质谱仪、真空泵，且抽气管道与穿刺管道通过质谱仪连通；真空泵用于对真空罩进行抽真空处理。在其中一个实施例中，质谱仪为四极质谱仪。在其中一个实施例中，真空泵为分子泵。在其中一个实施例中，红外探测器杜瓦的真空特性检测装置还包括计算机设备；计算机设备与质谱仪电性连接，用于接收质谱仪的检测结果，并分析质谱仪的检测结果，判断红外探测器杜瓦真空度劣化的原因。一种红外探测器杜瓦的真空特性检测方法，包括：对红外探测器杜瓦进行烘烤处理；通过穿刺针穿刺红外探测器杜瓦的光窗玻璃，对红外探测器杜瓦内的气体进行采集；通过穿刺管道，将穿刺针采集的气体输送至质谱仪；通过质谱仪对穿刺针采集的气体进行检测，得到杜瓦的真空特性。在其中一个实施例中，通过穿刺针对红外探测器杜瓦的光窗玻璃穿刺前，还包括：对红外探测器杜瓦的光窗玻璃进行局部减薄处理，以形成穿刺部供穿刺针进行穿刺。在其中一个实施例中，红外探测器杜瓦的真空特性检测方法还包括：通过计算机设备对质谱仪的检测结果进行分析，得到红外探测器杜瓦的真空度劣化原因。上述红外探测器杜瓦的真空特性检测装置及方法，利用穿刺针穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃，采集红外探测器杜瓦内部的气体，将采集到的气体通过穿刺管道输送至质谱仪，质谱仪对采集到的气体进行检测，能够直接得到红外探测器杜瓦的真空特性。附图说明图1为一个实施例中红外探测器杜瓦的真空特性检测装置的结构示意图；图2为另一个实施例中红外探测器杜瓦的真空特性检测装置的结构示意图；图3为一个实施例中红外探测器杜瓦的真空特性检测方法的流程示意图；图4为另一个实施例中红外探测器杜瓦的真空特性检测方法的流程示意图。附图标记说明：100、红外探测器杜瓦，101、光窗玻璃，210、穿刺针，220、穿刺管道，230、质谱仪，240、真空罩，250、密封阀，260、真空泵，270、抽气管道。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将对本专利技术进行更全面的描述。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。在一个具体的实施例中，一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，如图1所示，包括：穿刺针210、穿刺管道220及质谱仪230；穿刺针210内部开设有通路，穿刺针用于穿透红外探测器杜瓦100的光窗玻璃101后，与红外探测器杜瓦101内部气体连通，以采集红外探测器杜瓦101内部的气体；穿刺管道220的一端与穿刺针210内部的通路连通，另一端与质谱仪230连通，用于将穿刺针210采集的气体输送至质谱仪230；质谱仪230用于对穿刺管道220输送的穿刺针210采集的气体进行检测，以得到红外探测器杜瓦100的真空特性。穿刺针210内部开设的通路，贯通穿刺针210的针头及针尾，其中针头用于刺穿红外探测器杜瓦100的光窗玻璃101，针尾与穿刺管道220的一端连通，使得穿刺针210内部与穿刺管道220内部贯通，能够通过流体，穿刺管道220的另一端与质谱仪230连通。使用穿刺针210进行穿刺采集气体前，需要对穿刺针210、穿刺管道220及质谱仪230进行真空处理，形成一个真空通路。穿刺针210穿透红外探测器杜瓦100的光窗玻璃101时，红外探测器杜瓦100内的气体将会由穿刺针210流入穿刺管道220，最终通入质谱仪230中，质谱仪230能够对穿刺针210采集的红外探测器杜瓦100内部的气体进行检测，通过注意230分析气体的成分和含量，即可得到红外探测器杜瓦100的真空特性。上述红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，利用穿刺针210穿透红外探测器杜瓦100的光窗玻璃101，采集红外探测器杜瓦100内部的气体，将采集到的气体通过穿刺管道220输送至质谱仪230，质谱仪230对采集到的气体进行检测，能够直接得到红外探测器杜瓦100的真空特性。相比液氮蒸发法进行检测，本装置能够直接得到准确的红外探测器杜瓦100的真空特性；相比采用内接/外接真空计进行真空度测量，本装置更加安全，并且不会影响红外探测器杜瓦100的内部环境。在其中一个实施例中，红外探测器杜瓦的真空特性检测装置还包括真空罩240；真空罩240用于罩设于红外探测器杜瓦100的光窗玻璃101上，穿刺针210设置于真空罩240内部；真空罩240上设置有密封阀250；密封阀250一端与穿刺针210连通，另一端位于真空罩240外部，用于驱动穿刺针210穿透红外探测器杜瓦100的光窗玻璃101；密封阀250上设置有抽气孔；穿刺管道220穿过抽气孔，与密封阀250内部连通，以连通穿刺针210。真空罩240用于在检测时罩设与红外探测器杜瓦100的光窗玻璃101上。将真空罩240罩设与光窗玻璃上后，对真空罩240进行抽真空处理，抽真空处理后由于真空罩240内外压强不同，真空罩240将会被密封固定于光窗玻璃101上，穿刺针210本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，包括：穿刺针、穿刺管道及质谱仪；所述穿刺针内部开设有通路，所述穿刺针用于穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃后，与所述红外探测器杜瓦内部气体连通，以采集所述红外探测器杜瓦内部的气体；所述穿刺管道的一端与所述穿刺针内部的通路连通，另一端与所述质谱仪连通，用于将所述穿刺针采集的气体输送至所述质谱仪；所述质谱仪用于对所述穿刺管道输送的所述穿刺针采集的气体进行检测，以得到所述红外探测器杜瓦的真空特性。

【技术特征摘要】
1.一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，包括：穿刺针、穿刺管道及质谱仪；所述穿刺针内部开设有通路，所述穿刺针用于穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃后，与所述红外探测器杜瓦内部气体连通，以采集所述红外探测器杜瓦内部的气体；所述穿刺管道的一端与所述穿刺针内部的通路连通，另一端与所述质谱仪连通，用于将所述穿刺针采集的气体输送至所述质谱仪；所述质谱仪用于对所述穿刺管道输送的所述穿刺针采集的气体进行检测，以得到所述红外探测器杜瓦的真空特性。2.根据权利要求1所述的红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，还包括真空罩；所述真空罩用于罩设于所述红外探测器杜瓦的光窗玻璃上，所述穿刺针设置于所述真空罩内部；所述真空罩上设置有密封阀；所述密封阀一端与所述穿刺针连通，另一端位于所述真空罩外部，用于驱动所述穿刺针穿透所述红外探测器杜瓦的光窗玻璃；所述密封阀上设置有抽气孔；所述穿刺管道穿过所述抽气孔，与所述密封阀内部连通，以连通所述穿刺针。3.根据权利要求2所述的红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，所述密封阀与所述穿刺针通过螺纹结构进行旋接。4.根据权利要求2或3任一项所述的红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，还包括抽气管道及真空泵；所述抽气管道分别连通所述质谱仪、所述真空泵，且所述抽气管道与所述穿刺管道通过所述质谱仪连...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨少华，恩云飞，黄云，赖灿雄，吴福根，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所工业和信息化部电子第五研究所中国赛宝实验室，
类型：发明
国别省市：广东,44