一种显示面板及其制作方法技术

本申请提出了一种显示面板及其制作方法。所述显示面板的制作方法包括提供一衬底，在所述衬底上依次形成阻隔水氧层、缓冲层、有源层、第一栅绝缘层、第一栅极层、第二栅绝缘层、第二栅极层、层间介质层。形成第一过孔和第二过孔。在所述第一过孔和所述第二过孔内填充柔性材料，以分别形成柔性层和应力释放单元。在所述第一基板的显示区域形成第三过孔，所述第三过孔与所述有源层接触。在所述层间介质层上形成金属层，所述金属层将所述第三过孔填充。本申请通过提出了多种制备显示面板中过孔的方法，以在进行显示面板过孔制备的过程中根据实际需求选择不同的蚀刻方案，减少了光罩使用次数，简化了显示面板的制作工艺。

A Display Panel and Its Making Method

This application presents a display panel and its fabrication method. The manufacturing method of the display panel includes providing a substrate on which a barrier water oxygen layer, a buffer layer, an active layer, a first gate insulating layer, a first gate layer, a second gate insulating layer, a second gate layer and an interlayer dielectric layer are formed in turn. The first and second through holes are formed. The first and second through holes are filled with flexible materials to form a flexible layer and a stress release unit, respectively. A third through hole is formed in the display area of the first substrate, and the third through hole is in contact with the active layer. A metal layer is formed on the interlayer dielectric layer, which fills the third through hole. In order to select different etching schemes according to the actual needs in the process of preparing the through holes in the display panel, this application proposes various methods of preparing the through holes in the display panel, reduces the number of times of use of the optical mask, and simplifies the manufacturing process of the display panel.

【技术实现步骤摘要】
一种显示面板及其制作方法
本申请涉及显示领域，特别涉及一种显示面板及其制作方法。
技术介绍
在平板显示技术中，有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示器具有轻薄、主动发光、响应速度快、可视角大、色域宽、亮度高和功耗低等众多优点，逐渐成为继液晶显示器后的第三代显示技术。相对于液晶显示器(Liquidcrystaldisplays，LCD)，OLED具有更省电，更薄，且视角宽的优势，这是LCD无法比拟的。目前，人们对显示面板的屏占比有了更高的要求。目前市场上的显示面板主要以静态边缘弯曲为主，即只有显示面板的边缘以固定曲率半径弯折，显示区域并未进行弯折，不能达到真正意义上的可动态弯折。因此，有必要对显示面板进行优化设计，使得屏幕能够达到真正意义上的柔性化、可弯折化以及可卷曲化；再者，如何设计显示面板内主要过孔的刻蚀工艺也是需要优化的重要问题之一。为了解决上述问题，目前亟需一种显示面板及其制作方法。
技术实现思路
本申请提供一种显示面板及制作方法，以解决现有显示面板内主要过孔的蚀刻工艺相对复杂的问题。为解决上述问题，本申请提供的技术方案如下：本申请提供一种显示面板的制作方法，包括：步骤S10、提供一衬底，在所述衬底上依次形成阻隔水氧层、缓冲层、有源层、第一栅绝缘层、第一栅极层、第二栅绝缘层、第二栅极层、层间介质层，以形成包括显示区域和非显示区域的第一基板；步骤S20、在所述第一基板的非显示区域形成第一过孔，在所述第一基板的显示区域形成第二过孔，所述第一过孔与所述衬底接触并贯穿除所述衬底以外的其它膜层，所述第二过孔与所述阻隔水氧层接触并贯穿除所述衬底和所述阻隔水氧层以外的其它膜层；步骤S30、在所述第一过孔和所述第二过孔内填充柔性材料，以分别形成位于第一过孔内的柔性层和位于第二过孔内的应力释放单元；步骤S40、在所述第一基板的显示区域形成第三过孔，所述第三过孔与所述有源层接触；步骤S50、在所述层间介质层上形成金属层，所述金属层将所述第三过孔填充。根据本申请一种实施例，所述第一过孔包括相互叠加的第一过孔第一区域和第一过孔第二区域。根据本申请一种实施例，所述步骤S20包括：步骤S201、使用第一光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一基板的非显示区域形成所述第一过孔第一区域，所述第一光罩的图案与所述第一过孔第一区域的图案相匹配；步骤S202、使用第二光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一过孔内形成第一过孔第二区域，进而形成第一过孔，所述第二光罩的图案与所述第一过孔第二区域的图案相匹配；步骤S203、使用第三光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一基板的显示区域形成第二过孔，所述第三光罩的图案与所述第二过孔的图案相匹配。根据本申请一种实施例，所述步骤S20包括：步骤S201、使用第一光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一基板的非显示区域形成所述第一过孔第一区域，所述第一光罩的图案与所述第一过孔第一区域的图案相匹配；步骤S202、使用第四光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一过孔第一区域内形成所述第一过孔第二区域，同时在所述第一基板的显示区域形成第二过孔，所述第四光罩的图案与所述第一过孔第二区域的图案以及所述第二过孔的图案相匹配。根据本申请一种实施例，所述步骤S40包括：使用第五光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一基板的显示区域形成第三过孔，所述第五光罩与所述第三过孔的图案相匹配。根据本申请的另一个方面，提出了一种显示面板的制作方法，包括：步骤S10、提供一衬底，在所述衬底上依次形成阻隔水氧层、缓冲层、有源层、第一栅绝缘层、第一栅极层、第二栅绝缘层、第二栅极层、层间介质层，以形成包括显示区域和非显示区域的第一基板；步骤S20、在所述第一基板的非显示区域形成第一过孔，在所述第一基板的显示区域第二过孔和第三过孔，所述第一过孔与所述衬底接触并贯穿除所述衬底以外的其它膜层，所述第二过孔与所述阻隔水氧层接触并贯穿除所述衬底和所述阻隔水氧层以外的其它膜层，所述第三过孔与所述有源层接触；步骤S30、在所述第一过孔和所述第二过孔内填充柔性材料，以分别形成位于所述第一过孔内的柔性层和位于所述第二过孔内的应力释放单元；步骤S40、在所述层间介质层上形成金属层，所述金属层将所述第三过孔填充；其中，所述第一过孔、所述第二过孔和所述第三过孔采用气体蚀刻的方式进行制备，蚀刻气体包括氢气。根据本申请一种实施例，所述第一过孔包括相互叠加的第一过孔第一区域和第一过孔第二区域。根据本申请一种实施例，所述步骤S20包括：步骤S201、使用第一光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一基板的非显示区域形成所述第一过孔第一区域，所述第一光罩的图案与所述第一过孔第一区域的图案相匹配；步骤S202、使用第六光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一过孔第一区域内形成所述第一过孔第二区域，同时在所述第一基板的显示区域内形成第二过孔和第三过孔，所述第六光罩的图案与所述第一过孔第二区域的图案、所述第二过孔的图案以及所述第三过孔的图案相匹配。根据本申请一种实施例，所述步骤S20包括：使用第七光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一基板上形成第一过孔、第二过孔以及第三过孔，所述第七光罩的图案与所述第一过孔的图案、所述第二过孔的图案以及所述第三过孔的图案相匹配。根据本申请的又一个方面，还提出了一种显示面板，所述显示面板包括显示区域以及设置在所述显示区域外围的非显示区域，所述显示面板包括：依次层叠设置的衬底、阻隔水氧层、缓冲层、有源层、第一栅绝缘层、第一栅极层、第二栅绝缘层、第二栅极层、层间介质层，以及设置在所述显示面板显示区域的金属层和应力释放单元，设置在所述显示面板非显示区域的柔性层；其中，所述金属层设置在所述层间介质层上，并通过第三过孔与所述有源层接触，所述应力释放单元设置在第二过孔内，所述柔性层设置在第一过孔内，所述第一过孔与所述衬底接触并贯穿除所述衬底以外的其它膜层，所述第二过孔与所述阻隔水氧层接触并贯穿除所述衬底和所述阻隔水氧层以外的其它膜层。有益效果：本申请提供了一种显示面板及其制作方法，通过提出了多种制备显示面板中过孔的方法，以在进行显示面板过孔制备的过程中根据实际需求选择不同的蚀刻方案，减少了光罩使用次数，简化了显示面板的制作工艺。附图说明为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请一实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程示意图；图2a-2g为本申请一实施例提供的一种显示面板的制作方法的结构示意图；图3a-3b为本申请另一实施例提供的一种显示面板的制作方法中步骤S20的结构示意图；图4为本申请又一实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程示意图；图5a-5d为本申请又一实施例提供的一种显示面板的制作方法的结构示意图；图6为本申请再一实施例提供的一种显示面板的制作方法中步骤S20的结构示意图；图7为本申请又另一实施例提供的一种显示面板的结构示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本申请可用以实施的特定实施例。本申请所提到本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：步骤S10、提供一衬底，在所述衬底上依次形成阻隔水氧层、缓冲层、有源层、第一栅绝缘层、第一栅极层、第二栅绝缘层、第二栅极层、层间介质层，以形成包括显示区域和非显示区域的第一基板；步骤S20、在所述第一基板的非显示区域形成第一过孔，在所述第一基板的显示区域形成第二过孔，所述第一过孔与所述衬底接触并贯穿除所述衬底以外的其它膜层，所述第二过孔与所述阻隔水氧层接触并贯穿除所述衬底和所述阻隔水氧层以外的其它膜层；步骤S30、在所述第一过孔和所述第二过孔内填充柔性材料，以分别形成位于第一过孔内的柔性层和位于第二过孔内的应力释放单元；步骤S40、在所述第一基板的显示区域形成第三过孔，所述第三过孔与所述有源层接触；步骤S50、在所述层间介质层上形成金属层，所述金属层将所述第三过孔填充。

【技术特征摘要】
1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：步骤S10、提供一衬底，在所述衬底上依次形成阻隔水氧层、缓冲层、有源层、第一栅绝缘层、第一栅极层、第二栅绝缘层、第二栅极层、层间介质层，以形成包括显示区域和非显示区域的第一基板；步骤S20、在所述第一基板的非显示区域形成第一过孔，在所述第一基板的显示区域形成第二过孔，所述第一过孔与所述衬底接触并贯穿除所述衬底以外的其它膜层，所述第二过孔与所述阻隔水氧层接触并贯穿除所述衬底和所述阻隔水氧层以外的其它膜层；步骤S30、在所述第一过孔和所述第二过孔内填充柔性材料，以分别形成位于第一过孔内的柔性层和位于第二过孔内的应力释放单元；步骤S40、在所述第一基板的显示区域形成第三过孔，所述第三过孔与所述有源层接触；步骤S50、在所述层间介质层上形成金属层，所述金属层将所述第三过孔填充。2.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述第一过孔包括相互叠加的第一过孔第一区域和第一过孔第二区域。3.根据权利要求2所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述步骤S20包括：步骤S201、使用第一光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一基板的非显示区域形成所述第一过孔第一区域，所述第一光罩的图案与所述第一过孔第一区域的图案相匹配；步骤S202、使用第二光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一过孔内形成第一过孔第二区域，进而形成第一过孔，所述第二光罩的图案与所述第一过孔第二区域的图案相匹配；步骤S203、使用第三光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一基板的显示区域形成第二过孔，所述第三光罩的图案与所述第二过孔的图案相匹配。4.根据权利要求2所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述步骤S20包括：步骤S201、使用第一光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一基板的非显示区域形成所述第一过孔第一区域，所述第一光罩的图案与所述第一过孔第一区域的图案相匹配；步骤S202、使用第四光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一过孔第一区域内形成所述第一过孔第二区域，同时在所述第一基板的显示区域形成第二过孔，所述第四光罩的图案与所述第一过孔第二区域的图案以及所述第二过孔的图案相匹配。5.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述步骤S40包括：使用第五光罩进行黄光工艺处理，以在所述第一基板的显示区域形成第三过孔，所述第五光罩与所述第三过孔的图案相匹配。6.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：步骤S10、提供一衬底，在所述衬底上依次形成阻隔水氧层、缓冲层、有...

【专利技术属性】
技术研发人员：卜呈浩，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42