一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备，所述硅油净化腔包括净化腔体和设置在净化腔体内的加热棒，所述上料腔包括设置在上料腔内的第一闸门、第一电机、第一传送带；所述充油腔包括设置在充油腔内的第二闸门、第二电机和第二传送带；所述下料腔包括设置在下料腔内的第三闸门、第三电机、第三传送带，第四电机和第四闸门；所述真空系统包括分子泵、机械泵和对应的管道阀门；所述上料腔、充油腔、下料腔依次设置，所述机械泵和分子泵分别连通硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔。本实用新型专利技术能够自动完成硅油净化、充油等一系列的工艺过程，并保证硅油净化、充灌过程中所需要的温度、真空等一系列的工艺条件，实现连续生产。

An Automatic Batch Oil Filling Equipment for Diffusion Silicon Oil Filling Core

The utility model discloses an automatic batch oil filling device for diffusing silicon oil-filled core body, the silicon oil purification chamber comprises a purification chamber and a heating rod arranged in the purification chamber, the feeding chamber comprises a first gate, a first motor and a first conveyor belt arranged in the feeding chamber, and the oil filling chamber comprises a second gate, a second motor and a second conveyor arranged in the filling chamber. The feeding chamber comprises a third gate, a third motor, a third conveyor belt, a fourth motor and a fourth gate arranged in the feeding chamber; the vacuum system comprises a molecular pump, a mechanical pump and a corresponding pipeline valve; the feeding chamber, an oil filling chamber and a feeding chamber are arranged in turn, and the mechanical pump and a molecular pump are respectively connected with a silicone oil purification chamber, a feeding chamber, an oil filling chamber and a feeding chamber. The utility model can automatically complete a series of technological processes such as silicone oil purification and oil filling, and ensure a series of technological conditions such as temperature and vacuum needed in the process of silicone oil purification and filling, so as to realize continuous production.

【技术实现步骤摘要】
一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备
本技术涉及一种自动硅油充油设备，尤其涉及的是一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备。
技术介绍
扩散硅充油芯体具有较高的可靠性和精度，适宜于制造高精度的压力传感器，在工业控制、工程机械等领域均有广泛应用。扩散硅充油芯体的核心元器件是一颗扩散硅MEMS芯片，此芯片能够感受外界压力并转换为电压输出，但是此芯片较为脆弱，不耐灰尘、酸碱腐蚀。充油芯体的外部封装结构，利用波纹膜片及金属基座将扩散硅芯片密封起来，并填充硅油传导外部压力，从而使得整个传感器耐酸碱腐蚀，能够可靠的在各种恶劣工况下工作。充油是扩散硅充油芯体制造过程中的关键一道工艺，需要保证提前对硅油进行净化处理，并且严格保证充灌过程的真空度，否则如果硅油中混入空气、水汽等杂质，会导致传感器出现严重的温漂和非线性，降低传感器的性能。传统充油过程繁琐，需要手工处理，生产过程需要分部处理，不能有效得控制工艺过程中的温度、真空等条件，生产效率低下，导致制造成本居高不下，难以应用到大规模生产。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于：现有技术无法连续自动的进行充油，提供了一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备。本技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本技术包括硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔和真空系统，所述硅油净化腔包括净化腔体和设置在净化腔体内的加热棒，所述上料腔包括设置在上料腔内的第一闸门、第一电机、第一传送带；所述充油腔包括设置在充油腔内的第二闸门、第二电机和第二传送带；所述下料腔包括设置在下料腔内的第三闸门、第三电机、第三传送带，第四电机和第四闸门；所述真空系统包括分子泵、机械泵和对应的管道阀门；所述上料腔、充油腔、下料腔依次设置，所述第一电机带动第一闸门开关，第二电机带动第二闸门开关，第三电机带动第三电机开关，第四电机带动第四闸门开关，所述第一闸门、第二闸门、第三闸门和第四闸门对上料腔、充油腔、下料腔进行相互隔离和连通，所述机械泵和分子泵分别连通硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔。作为本技术的优选方式之一，所述上料腔上设置有第一真空阀和第一泄压阀，所述下料腔上设置有第二真空阀和第二泄压阀，第一真空阀和第二真空阀连入真空系统。作为本技术的优选方式之一，所述充油腔上设置有第三真空阀和第四真空阀，第三真空阀连通分子泵。作为本技术的优选方式之一，所述第一传送带、第二传送带和第三传送带分别连接有第一步进电机、第二步进电机和第三步进电机。作为本技术的优选方式之一，所述上料腔、充油腔、下料腔上分别设有观察窗。作为本技术的优选方式之一，所述充油设备还设置有带有充油芯体的托盘。本技术相比现有技术具有以下优点：本技术能够自动完成硅油净化、充油等一系列的工艺过程，并保证硅油净化、充灌过程中所需要的温度、真空等一系列的工艺条件，实现连续生产，大大提高扩散硅充油芯体的生产效率，实现扩散硅充油芯体的自动、批量生产。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式下面对本技术的实施例作详细说明，本实施例在以本技术技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本技术的保护范围不限于下述的实施例。如图1所示，本实施例包括硅油净化腔30、上料腔2、充油腔28、下料腔26和真空系统，所述硅油净化腔30包括净化腔体和设置在净化腔体内的加热棒29，所述上料腔2包括设置在上料腔2内的第一闸门5、第一电机6、第一传送带3；所述充油腔28包括设置在充油腔28内的第二闸门9、第二电机10和第二传送带32；所述下料腔26包括设置在下料腔26内的第三闸门15、第三电机14、第三传送带25、第四电机19和第四闸门21；所述真空系统包括分子泵11、机械泵16和对应的管道阀门；上料腔2、充油腔28、下料腔26依次设置，所述第一电机6带动第一闸门5开关，第二电机10带动第二闸门9开关，第三电机14带动第三电机14开关，第四电机19带动第四闸门21开关，所述第一闸门5、第二闸门9、第三闸门15和第四闸门21对上料腔2、充油腔28、下料腔26进行相互隔离和连通，所述机械泵16和分子泵11分别连通硅油净化腔30、上料腔2、充油腔28、下料腔26。机械泵16通过机械阀门20连接到硅油净化腔30。硅油净化腔30通过净化阀门31连接到充油腔28。所述上料腔2上设置有第一真空阀7和第一泄压阀8，所述下料腔26上设置有第二真空阀17和第二泄压阀18，第一真空阀7和第二真空阀17连入真空系统。所述充油腔28上设置有第三真空阀12和第四真空阀13，第三真空阀12连通分子泵11。所述第一传送带3、第二传送带32和第三传送带25分别连接有第一步进电机4、第二步进电机27和第三步进电机24。所述上料腔2、充油腔28、下料腔26上分别设有观察窗1。所述充油设备还设置有带有充油芯体23的托盘22。上料腔2、充油腔28和下料腔26之间通过真空闸门隔开，并通过传送带进行物料传送。将硅油灌入硅油净化腔30，打开机械泵16、阀门19，将硅油净化腔30抽真空到1Pa左右，打开加热棒29将硅油加热到100℃，保持30min；将放有充油芯体23的托盘22放入上料腔2中，启动第一电机6、第三电机14、第四电机19，关闭第一闸门5、第三闸门15、第四闸门21，打开第一真空阀7、第四真空阀13、第二真空阀17，将上料腔2、充油腔28及下料腔26抽真空到1Pa；打开第一步进电机4、第二步进电机27启动第一传送带3和第二传送带32，将托盘22由上料腔2传送至充油腔28，启动第二电机10，关闭第二闸门9；打开净化阀门31，滴灌适量硅油进入托盘22，直至硅油浸没充油芯体23后关闭净化阀门31，启动分子泵11，打开第三真空阀12，将充油腔28抽真空到10-3Pa，保持10min，关闭第三真空阀12；启动第三电机14，打开第三闸门15，打开第二步进电机27和第三步进电机24，启动第二传送带32、第三传送带25，将托盘22由充油腔28传送至下料腔26，并关闭第三闸门15；关闭第二真空阀17，打开第二泄压阀18，启动第四电机19，打开第四闸门21，取出托盘22，并打开第二真空阀17，关闭第二泄压阀18，关闭第四闸门21。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备，其特征在于，包括硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔和真空系统，所述硅油净化腔包括净化腔体和设置在净化腔体内的加热棒，所述上料腔包括设置在上料腔内的第一闸门、第一电机、第一传送带；所述充油腔包括设置在充油腔内的第二闸门、第二电机和第二传送带；所述下料腔包括设置在下料腔内的第三闸门、第三电机、第三传送带，第四电机和第四闸门；所述真空系统包括分子泵、机械泵和对应的管道阀门；所述上料腔、充油腔、下料腔依次设置，所述第一电机带动第一闸门开关，第二电机带动第二闸门开关，第三电机带动第三电机开关，第四电机带动第四闸门开关，所述第一闸门、第二闸门、第三闸门和第四闸门对上料腔、充油腔、下料腔进行相互隔离和连通，所述机械泵和分子泵分别连通硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔。

【技术特征摘要】
1.一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备，其特征在于，包括硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔和真空系统，所述硅油净化腔包括净化腔体和设置在净化腔体内的加热棒，所述上料腔包括设置在上料腔内的第一闸门、第一电机、第一传送带；所述充油腔包括设置在充油腔内的第二闸门、第二电机和第二传送带；所述下料腔包括设置在下料腔内的第三闸门、第三电机、第三传送带，第四电机和第四闸门；所述真空系统包括分子泵、机械泵和对应的管道阀门；所述上料腔、充油腔、下料腔依次设置，所述第一电机带动第一闸门开关，第二电机带动第二闸门开关，第三电机带动第三电机开关，第四电机带动第四闸门开关，所述第一闸门、第二闸门、第三闸门和第四闸门对上料腔、充油腔、下料腔进行相互隔离和连通，所述机械泵和分子泵分别连通硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔。2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛文军，胡国俊，周金文，卢安安，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第三十八研究所，
类型：新型
国别省市：安徽,34