The invention relates to a molecular evaporation device capable of effectively cooling, belonging to the field of ultra-high vacuum organic molecular technology. The molecule evaporation device includes metal baffles, ceramic tablets, internal crucibles, limit ceramics, resistance wires, external crucibles, cooling platforms, thermocouples, four-electrode flanges, cooling tubes, rotary introducers, empty tubes, CF16 flanges, copper bolts, nuts and long screws of rotary introducers. The device can effectively heat deposited samples; the device can achieve effective cooling, and can be cooled by liquid nitrogen, which can be lowered to The cost of the device is low.
【技术实现步骤摘要】
一种可以有效降温的分子蒸发装置
本专利技术涉及一种可以有效降温的分子蒸发装置,属于超高真空有机分子
技术介绍
蒸发沉积是一种常见的真空镀膜技术,要实现蒸发沉积,必须要的设备就是真空蒸发源。根据蒸发源加热方式的不同也可以将其分为热阻蒸发源和电子束蒸发源。热阻蒸发源一般是通过通入电流使电阻丝产生热量,继而给所需升华材料加热,是一种热辐射的加热方式。热阻蒸发源适合一些低熔点的材料,比如有机分子,故而有时又称为有机分子蒸发源;电子束蒸发源是利用高能电子聚焦去集中加热所需加热的材料,适合一些熔点较高的材料,比如一些高熔点的金属。两种蒸发源相比而言,热阻蒸发源简单,适合低熔点的材料,电子束蒸发源结构更为复杂,适合高熔点的材料。然而对于目前商用的蒸发源来说,无论是热阻蒸发源还是电子束蒸发源,价格都较为昂贵。而且现在的蒸发源降温方式并非直接与内坩埚接触,效率不高,导致即使在通了冷却水的情况下仍不能很好的降温,不适合一些升华点低于室温的材料。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题及不足,本专利技术提供一种可以有效降温的分子蒸发装置。本分子蒸发装置易简实用且价格低廉并能够实现有效降温,本专利技术通过以下技术方案实现。一种可以有效降温的分子蒸发装置,包括金属挡片1、陶瓷压片2、内坩埚3、限位陶瓷4、电阻丝5、外坩埚6、冷却台7、热偶线8、四电极法兰9、冷却管10、旋转导入器11、空管14、CF16的法兰15、铜螺栓18、螺母19和旋转导入器的长螺杆20,所述四电极法兰9中间位置插入一对矮的加热丝电极和一对高的热偶电极,一对矮的加热丝电极和一对高的热偶电极包裹着插入四电 ...
【技术保护点】
1.一种可以有效降温的分子蒸发装置,其特征在于:包括金属挡片(1)、陶瓷压片(2)、内坩埚(3)、限位陶瓷(4)、电阻丝(5)、外坩埚(6)、冷却台(7)、热偶线(8)、四电极法兰(9)、冷却管(10)、旋转导入器(11)、空管(14)、CF16的法兰(15)、铜螺栓(18)、螺母(19)和旋转导入器的长螺杆(20),所述四电极法兰(9)中间位置插入一对矮的加热丝电极和一对高的热偶电极,一对矮的加热丝电极和一对高的热偶电极包裹着插入四电极法兰(9)的两个冷却管(10),两个冷却管(10)顶部与冷却台连通,冷却台为内部中空柱状,冷却台中间位置通过铜螺栓(18)和螺母(19)与外坩埚(6)底部连接,外坩埚(6)内部设有内坩埚(3),铜螺栓(18)顶部与内坩埚(3)底部接触,外坩埚(6)内部设有若干均匀设置的电阻丝(5)以及内坩埚(3)上设有热偶线(8),电阻丝(5)两端穿过外坩埚(6)后各连接一个矮的加热丝电极,热偶线(8)两端穿过外坩埚(6)后各连接一个高的热偶电极,一对高的热偶电极上部设有陶瓷压片(2)以及下部设有限位陶瓷(4),陶瓷压片(2)上与内坩埚(3)顶部开口的竖直方向设有出口 ...
【技术特征摘要】
1.一种可以有效降温的分子蒸发装置,其特征在于:包括金属挡片(1)、陶瓷压片(2)、内坩埚(3)、限位陶瓷(4)、电阻丝(5)、外坩埚(6)、冷却台(7)、热偶线(8)、四电极法兰(9)、冷却管(10)、旋转导入器(11)、空管(14)、CF16的法兰(15)、铜螺栓(18)、螺母(19)和旋转导入器的长螺杆(20),所述四电极法兰(9)中间位置插入一对矮的加热丝电极和一对高的热偶电极,一对矮的加热丝电极和一对高的热偶电极包裹着插入四电极法兰(9)的两个冷却管(10),两个冷却管(10)顶部与冷却台连通,冷却台为内部中空柱状,冷却台中间位置通过铜螺栓(18)和螺母(19)与外坩埚(6)底部连接,外坩埚(6)内部设有内坩埚(3),铜螺栓(18)顶部与内坩埚(3)底部接触,外坩埚(6)内部设有若干均匀设置的电阻丝(5)以及内坩埚(3)上设有热偶线(8),电阻丝(5)两端穿过外坩埚(6)后各连接一个矮的加热丝电极,热偶线(8)两端穿过外坩埚(6)后各连接一个高的热偶电极,一对高的热偶电极上部设有陶瓷压片(2)...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢建臣,张辉,蔡金明,蔡晓明,叶乾旭,闫翠霞,
申请(专利权)人:昆明理工大学,
类型:发明
国别省市:云南,53
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