The invention provides a base for wafers. For the insulating tube (30), the interface (34a) of the insulating tube (30) collides with the brake surface (27a) of the cooling plate (20). Thus, the insulating tube (30) is prevented from entering the screw hole (26), the front end (33a) of the annular protuberance (33) of the insulating tube (30) is positioned at a predetermined position without contact with the plate (12), and the O-ring (40) is pressurized between the step difference surface (32a) of the insulating tube (30) and the lower surface of the flat plate (12) and deforms the predetermined amount.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】晶片用基座
本专利技术涉及使用于半导体制造装置的晶片用基座。
技术介绍
作为使用于半导体制造装置的晶片用基座,公知有静电卡盘、真空卡盘等。例如,专利文献1所记载的静电卡盘通过将埋设有产生静电吸附力的电极的陶瓷制的平板经由树脂层粘合于金属制的冷却板而成,且具有贯通平板和冷却板的贯通孔。贯通孔用于供抬起载置在平板上的晶片的升降销插通、或者向晶片的背面与平板之间供给气体。在贯通孔中的贯通冷却板的部分(冷却板贯通部分)插入有绝缘管。绝缘管利用夹设于冷却板贯通部分的内壁与绝缘管的外周面之间的粘合剂粘合于冷却板。现有技术文献专利文献专利文献1:注册技术第3154629号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而,在利用粘合剂来粘合绝缘管与冷却板贯通部分的情况下,难以无间隙地填充粘合剂。若在绝缘管与冷却板贯通部分之间存在间隙,则存在该间隙成为导通路径而无法确保绝缘性的问题。另外,在绝缘管的内外存在气压差的情况下,也存在粘合剂因该气压差而产生剥离的情况。另外,由于在静电卡盘的使用过程中反复施加振动、力矩,所以也存在绝缘管与冷却板贯通部分产生剥离的情况。本专利技术是为了解决这样的课题而完成的,其主要的目的在于,可靠地分离绝缘管的内外,并且实现电绝缘。用于解决课题的方案本专利技术的晶片用基座具备:陶瓷制的平板,其能够吸附晶片;导电性部件,其安装于上述平板的与载置上述晶片的面相反一侧的面;贯通孔,其贯通上述平板和上述导电性部件;螺孔,其设置于上述贯通孔中的贯通上述导电性部件的导电性部件贯通部分;制动面,其设置于上述导电性部件,并与上述螺孔的中心轴交叉;绝缘管,其具有与上述制动面 ...
【技术保护点】
1.一种晶片用基座,其特征在于,具备:陶瓷制的平板,其能够吸附晶片;导电性部件,其安装于所述平板的与载置所述晶片的面相反一侧的面;贯通孔,其贯通所述平板和所述导电性部件;螺孔,其设置于所述贯通孔中的贯通所述导电性部件的导电性部件贯通部分;制动面,其设置于所述导电性部件,并与所述螺孔的中心轴交叉;绝缘管,其具有与所述制动面抵接的抵接面,并与所述螺孔螺纹连接;以及绝缘性的密封部件,其插通于呈突起状设置在所述绝缘管的平板对置面的密封部件支撑部,并配置于所述绝缘管的平板对置面与所述平板之间,对于所述绝缘管而言,通过使所述绝缘管的所述抵接面与所述导电性部件的所述制动面抵碰,从而阻止所述绝缘管继续向所述螺孔进入,所述绝缘管的所述密封部件支撑部的前端面定位在不与所述平板接触的预定位置,并且所述密封部件在所述绝缘管的所述平板对置面与所述平板之间被加压。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.05.25 JP 2017-1037671.一种晶片用基座,其特征在于,具备:陶瓷制的平板,其能够吸附晶片;导电性部件,其安装于所述平板的与载置所述晶片的面相反一侧的面;贯通孔,其贯通所述平板和所述导电性部件;螺孔,其设置于所述贯通孔中的贯通所述导电性部件的导电性部件贯通部分;制动面,其设置于所述导电性部件,并与所述螺孔的中心轴交叉;绝缘管,其具有与所述制动面抵接的抵接面,并与所述螺孔螺纹连接;以及绝缘性的密封部件,其插通于呈突起状设置在所述绝缘管的平板对置面的密封部件支撑部,并配置于所述绝缘管的平板对置面与所述平板之间,对于所述绝缘管而言,通过使所述绝缘管的所述抵接面与所述导电性部件的所述制动面抵碰,从而阻止所述绝缘管继续向所述螺孔进入,所述绝缘管的所述密封部件支撑部的前端面定位在不与所述平板接触的预定位置,并且所...
【专利技术属性】
技术研发人员:久野达也,渡边玲雄,
申请(专利权)人:日本碍子株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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