The slurry for suspension plasma thermal spraying is a thermal spraying material for suspension plasma thermal spraying in the atmosphere containing oxygen gas. It contains rare earth fluoride particles with maximum particle size (D100) of less than 5% and 40% of mass and less than 12 micron. One or more rare earth fluoride particles selected from water and organic solvents are used as solvents. The thermal spraying film containing rare earth oxyfluoride can be formed steadily on the substrate by suspension plasma thermal spraying in the atmosphere containing oxygen gas and with less particle production. The thermal spraying component with the thermal spraying film has excellent corrosion resistance to halogen gas plasma.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】悬浮等离子体热喷涂用浆料、稀土类氧氟化物热喷涂膜的形成方法和热喷涂构件
本专利技术涉及在半导体制造中的蚀刻工序等中适合作为暴露于卤素系气体等离子体气氛中的构件等的热喷涂构件、用于其制造的悬浮等离子体热喷涂用浆料和使用了该浆料的稀土类氧氟化物热喷涂膜的形成方法。
技术介绍
在半导体制造中,在蚀刻工序(蚀刻器工序)中用腐蚀性高的卤素系气体等离子体气氛进行处理。已知通过在金属铝或氧化铝等陶瓷的表面对氧化钇(专利文献1:日本特开2002-080954号公报、专利文献2:日本特开2007-308794号公报)、氟化钇(专利文献3:日本特开2002-115040号公报、专利文献4:日本特开2004-197181号公报)进行大气压等离子体热喷涂从而形成了它们的膜的构件成为耐腐蚀性优异的构件,在蚀刻装置(蚀刻器)的与卤素系气体等离子体接触的部分采用了这样的热喷涂构件。在半导体制品的制造工序中使用的卤素系腐蚀气体中,作为氟系气体,使用SF6、CF4、CHF3、ClF3、HF等,另外,作为氯系气体,使用Cl2、BCl3、HCl等。对氧化钇进行等离子体热喷涂而制造的氧化钇成膜构件的技术问题少,早就已作为半导体用热喷涂构件实用化。但是,在氧化钇的成膜构件中存在如下问题:在蚀刻工序的工序初期,最表面的氧化钇与氟化物反应,蚀刻装置内的氟气浓度变化,蚀刻工序不稳定。该问题被称为工艺偏移。为了应对该问题,研究了采用氟化钇的成膜构件。但是,氟化钇与氧化钇相比,虽然是少许,但倾向于在卤素系气体等离子体气氛中的耐蚀性低。另外,氟化钇热喷涂膜与氧化钇热喷涂膜相比,也具有表面的裂缝多、颗粒的产生多 ...
【技术保护点】
1.悬浮等离子体热喷涂用浆料,是用于包含含氧气体的气氛下的悬浮等离子体热喷涂的热喷涂材料,其特征在于,含有5质量%以上且40质量%以下的最大粒径(D100)为12μm以下的稀土类氟化物粒子,以选自水和有机溶剂中的1种或2种以上作为溶剂。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.14 JP 2016-1390901.悬浮等离子体热喷涂用浆料,是用于包含含氧气体的气氛下的悬浮等离子体热喷涂的热喷涂材料,其特征在于,含有5质量%以上且40质量%以下的最大粒径(D100)为12μm以下的稀土类氟化物粒子,以选自水和有机溶剂中的1种或2种以上作为溶剂。2.根据权利要求1所述的悬浮等离子体热喷涂用浆料,其特征在于,还含有3质量%以下的由有机化合物构成的防凝聚剂。3.根据权利要求1或2所述的悬浮等离子体热喷涂用浆料,其特征在于,还含有5质量%以下的选自稀土类氧化物、稀土类氢氧化物和稀土类碳酸盐中的1种或2种以上的微粒添加剂。4.根据权利要求1~3中任一项所述的悬浮等离子体热喷涂用浆料,其特征在于,稀土元素为选自钇(Y)、钆(Gd)、钬(Ho)、铒(Er)、镱(Yb)和镥(Lu)中的1种或2种以上。5.根据权利要求1~4中任一项所述的悬浮等离子体热喷涂用浆料,其特征在于,所述悬浮等离子体热喷涂为大气悬浮等离子体热喷涂。6.稀土类氧氟化物热喷涂膜的形成方法,其特征在于,包含如下工序:以根据权利要求1~4中任一项所述的浆料作为热喷涂材料,在包含含氧气体的气氛下采用悬浮等离子体热喷涂在基材上形成热喷涂膜。7.根据权利要求6所述的形成方法,其特征在于,所述悬浮等离子体热喷涂为大气悬浮等离子体热喷涂。8.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:高井康,浜谷典明,
申请(专利权)人:信越化学工业株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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