The invention provides an industrial robot (1), which has a common arm (8) which rotatably connects the base end sides of two arms (6, 7). The joint part (16, 17) of the arm (6, 7) and the common arm (8) is provided with a rotating shaft fixed on the base end side of the arm (6, 7), a bearing which rotatably supports the rotating shaft, and a magnetic fluid seal arranged on the outer periphery of the rotating shaft. The common arm (8) has a base end (22) connected with the body part (9), two front ends (23, 24) of the retaining bearing and the magnetic fluid seal, two connecting parts (25, 26) connected with the front end (23, 24) and the base end (22), the front end (23, 24) and the connecting parts (25, 26). Thus, the industrial robot (1) can easily handle the common arm (8) in the vacuum chamber and move the common arm (8) into the vacuum chamber.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工业用机器人
本专利技术涉及在真空中搬运搬运对象的工业用机器人。
技术介绍
目前,已知有在真空中搬运液晶显示器用的玻璃基板的工业用机器人(例如,参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人具备本体部、共同臂、两条臂以及两只手。共同臂形成为大致V形状。形成为大致V形状的共同臂的中心部分与本体部可转动地连接。另外,在形成为大致V形状的共同臂的两个前端侧,分别可转动地连接有两条臂各自的基端侧。将两只手分别可转动地连接于两条臂各自的前端侧。在专利文献1记载的工业用机器人中,两只手、两条臂及共同臂被配置在内部形成真空的室(真空室)内。在该工业用机器人的情况下,难以将连接的状态下的两条臂和共同臂搬入真空室内,因此,在将连接之前的两条臂和共同臂单独地搬入真空室内后,在真空室内将两条臂和共同臂连接。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2013-103330号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题近年来,由工业用机器人搬运的玻璃基板等搬运对象越来越大型化。伴随搬运对象的大型化,需要将工业用机器人大型化,在将专利文献1中记载的工业用机器人大型化的情况下,共同臂也需要大型化。但是,在专利文献1中记载的工业用机器人的情况下,需要在真空室内将两条臂和共同臂连接,因此,当共同臂大型化使得共同臂的重量变重时,在将臂和共同臂连接时,在真空室内不易处理共同臂。另外,当共同臂大型化时,不易将共同臂搬入真空室。因此,本专利技术的技术问题在于,提供一种工业用机器人,其具备可转动地连接两条臂的基端侧的共同臂,其中,即使共同臂大型化,也能够容易地进行共同臂在真空室内的处理及共同臂向真空室 ...
【技术保护点】
1.一种工业用机器人,在真空中搬运搬运对象,其特征在于,具备:装载所述搬运对象的两只手;在前端侧分别能转动地连接两个所述手的两条臂;能转动地连接两个所述臂的基端侧的共同臂;以及能转动地连接所述共同臂的本体部,在两个所述臂各自和所述共同臂的连接部即两个关节部,配置有固定于所述臂的基端侧的转动轴、能转动地支承所述转动轴的轴承以及配置于所述转动轴的外周侧的密封部件,所述共同臂具备:与所述本体部连接的基端部;保持所述轴承及所述密封部件的两个前端部;以及连接两个所述前端部各自和所述基端部的两个连接部,所述基端部、两个所述前端部以及两个所述连接部分体形成。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.28 JP 2016-1481071.一种工业用机器人,在真空中搬运搬运对象,其特征在于,具备:装载所述搬运对象的两只手;在前端侧分别能转动地连接两个所述手的两条臂;能转动地连接两个所述臂的基端侧的共同臂;以及能转动地连接所述共同臂的本体部,在两个所述臂各自和所述共同臂的连接部即两个关节部,配置有固定于所述臂的基端侧的转动轴、能转动地支承所述转动轴的轴承以及配置于所述转动轴的外周侧的密封部件,所述共同臂具备:与所述本体部连接的基端部;保持所述轴承及所述密封部件的两个前端部;以及连接两个所述前端部各自和所述基端部的两个连接部,所述基端部、两个所述前端部以及两个所述连接部分体形成。2.根据权利要求1所述的工业用机器人,其特征在于,在所述关节部配置有以所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:矢澤隆之,高瀬陽介,
申请(专利权)人:日本电产三协株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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