工业用机器人制造技术

本发明专利技术提供一种工业用机器人(1)，其具备可转动地连接两条臂(6、7)的基端侧的共同臂(8)，在臂(6、7)和共同臂(8)的连接部即关节部(16、17)配置有固定于臂(6、7)的基端侧的转动轴、可转动地支承转动轴的轴承、配置于转动轴的外周侧的磁性流体密封件。共同臂(8)具备与本体部(9)连接的基端部(22)、保持轴承及磁性流体密封件的两个前端部(23、24)、连接前端部(23、24)各自和基端部(22)的两个连接部(25、26)，基端部(22)、前端部(23、24)以及连接部(25、26)分体形成。由此，工业用机器人(1)能够容易地进行共同臂(8)在真空室内的处理及共同臂(8)向真空室的搬入。

Industrial Robot

The invention provides an industrial robot (1), which has a common arm (8) which rotatably connects the base end sides of two arms (6, 7). The joint part (16, 17) of the arm (6, 7) and the common arm (8) is provided with a rotating shaft fixed on the base end side of the arm (6, 7), a bearing which rotatably supports the rotating shaft, and a magnetic fluid seal arranged on the outer periphery of the rotating shaft. The common arm (8) has a base end (22) connected with the body part (9), two front ends (23, 24) of the retaining bearing and the magnetic fluid seal, two connecting parts (25, 26) connected with the front end (23, 24) and the base end (22), the front end (23, 24) and the connecting parts (25, 26). Thus, the industrial robot (1) can easily handle the common arm (8) in the vacuum chamber and move the common arm (8) into the vacuum chamber.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工业用机器人
本专利技术涉及在真空中搬运搬运对象的工业用机器人。
技术介绍
目前，已知有在真空中搬运液晶显示器用的玻璃基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人具备本体部、共同臂、两条臂以及两只手。共同臂形成为大致V形状。形成为大致V形状的共同臂的中心部分与本体部可转动地连接。另外，在形成为大致V形状的共同臂的两个前端侧，分别可转动地连接有两条臂各自的基端侧。将两只手分别可转动地连接于两条臂各自的前端侧。在专利文献1记载的工业用机器人中，两只手、两条臂及共同臂被配置在内部形成真空的室(真空室)内。在该工业用机器人的情况下，难以将连接的状态下的两条臂和共同臂搬入真空室内，因此，在将连接之前的两条臂和共同臂单独地搬入真空室内后，在真空室内将两条臂和共同臂连接。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013－103330号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题近年来，由工业用机器人搬运的玻璃基板等搬运对象越来越大型化。伴随搬运对象的大型化，需要将工业用机器人大型化，在将专利文献1中记载的工业用机器人大型化的情况下，共同臂也需要大型化。但是，在专利文献1中记载的工业用机器人的情况下，需要在真空室内将两条臂和共同臂连接，因此，当共同臂大型化使得共同臂的重量变重时，在将臂和共同臂连接时，在真空室内不易处理共同臂。另外，当共同臂大型化时，不易将共同臂搬入真空室。因此，本专利技术的技术问题在于，提供一种工业用机器人，其具备可转动地连接两条臂的基端侧的共同臂，其中，即使共同臂大型化，也能够容易地进行共同臂在真空室内的处理及共同臂向真空室的搬入。解决问题所采用的技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种工业用机器人，在真空中搬运搬运对象，其特征在于，具备：装载搬运对象的两只手、在前端侧分别可转动地连接两只手的两条臂、可转动地连接两个臂的基端侧的共同臂、可转动地连接共同臂的本体部，在两个臂各自和共同臂的连接部即两个关节部，配置有固定于臂的基端侧的转动轴、可转动地支承转动轴的轴承、配置于转动轴的外周侧的密封部件，共同臂具备与本体部连接的基端部、保持轴承及密封部件的两个前端部、连接两个前端部各自和基端部的两个连接部，基端部、两个前端部以及两个连接部分体形成。在本专利技术的工业用机器人中，共同臂具备与本体部连接的基端部、保持轴承及密封部件的两个前端部、连接两个前端部各自和基端部的两个连接部，基端部、两个前端部以及两个连接部分体形成。因此，在本专利技术中，能够将共同臂在分解成基端部、两个前端部以及两个连接部的状态下搬入真空室中。因此，在本专利技术中，即使共同臂大型化，也能够容易地将共同臂搬入真空室。另外，在本专利技术中，能够将共同臂在分解成基端部、两个前端部以及两个连接部的状态下搬入真空室中，因此，即使共同臂大型化使得共同臂的重量变重，也能够将比共同臂整体的重量轻的基端部、前端部以及连接部在真空室内单独处理。因此，在本专利技术中，能够在真空室内容易地处理共同臂。另外，在本专利技术中，因为将可转动地支承转动轴的轴承、配置于转动轴的外周侧的密封部件保持于前端部，所以能够将预先装入有转动轴、轴承以及密封部件的前端部搬入真空室中。因此，在本专利技术中，即使在将共同臂以分解成基端部、两个前端部以及两个连接部的状态搬入真空室中的情况下，也能够容易地进行共同臂在真空室内的组装作业。在本专利技术中，例如，在关节部配置以转动轴为输出轴的减速器，减速器的壳体固定于前端部，轴承及密封部件经由壳体保持于前端部。在这种情况下，能够将预先装入有减速器的前端部搬入真空室中。因此，即使减速器被配置在关节部，也能够容易地进行共同臂在真空室内的组装作业。在本专利技术中，理想的是，为了使转动轴转动，工业用机器人具备配置于关节部的带轮、保持于前端部的电动机、固定于电动机的输出轴上的驱动侧带轮、挂设于带轮和驱动侧带轮之间的带。当这样构成时，能够将除转动轴、轴承及密封部件之外还预先装入有电动机及带等的前端部搬入真空室中。因此，能够更容易地进行共同臂在真空室内的组装作业。在本专利技术中，理想的是，连接部是形成为筒状的管。当这样构成时，能够在确保连接部的刚性的同时，将连接部轻量化。另外，因为能够将连接部轻量化，所以即使共同臂大型化，也能够减轻共同臂的重量。另外，当这样构成时，能够降低连接部的成本。在本专利技术中，理想的是，在连接部的两端形成有向连接部的径向外侧扩展的突缘部，连接部的一端通过螺丝固定于基端部，连接部的另一端通过螺丝固定于前端部。当这样构成时，通过将基端部、前端部以及连接部利用螺丝相互固定，能够组装共同臂，因此，共同臂在真空室内的组装作业变得更容易。在本专利技术中，例如，共同臂形成为中空状，共同臂的内部为大气压。(专利技术效果)如上所述，在本专利技术中，在具备可转动地连接两条臂的基端侧的共同臂的工业用机器人中，即使共同臂大型化，也能够容易地进行共同臂在真空室内的处理及共同臂向真空室的搬入。附图说明图1是本专利技术实施方式的工业用机器人的俯视图。图2是图1所示的工业用机器人的侧视图。图3是用于说明图2的E部的概略结构的剖视图。图4是用于说明图2的F部的概略结构的剖视图。图5是图3的G部的放大图。图6是图4的H部的放大图。图7的(A)是图1所示的共同臂的J部的放大图，图7的(B)是图1所示的共同臂的K部的放大图。具体实施方式以下，参照附图说明本专利技术的实施方式。(工业用机器人的整体结构)图1是本专利技术实施方式的工业用机器人1的俯视图。图2是图1所示的工业用机器人1的侧视图。图3是用于说明图2的E部的概略结构的剖视图。图4是用于说明图2的F部的概略结构的剖视图。本方式的工业用机器人1(以下称为“机器人1”)是用于搬运作为搬运对象的液晶显示器用的玻璃基板2(以下称为“基板2”)的机器人。该机器人1是特别适合大型基板2的搬运的大型机器人。另外，机器人1在真空中搬运基板2。机器人1具备装载基板2的两只手4、5、在前端侧可转动地分别连接两只手4、5的两条臂6、7、可转动地连接两条臂6、7的基端侧的共同臂8、可转动地连接共同臂8的本体部9。如图2所示，手4可转动地连接于臂6的前端侧。手5可转动地连接于臂7的前端侧。手4配置于比手5靠下侧的位置。臂6配置于比手4靠下侧的位置。臂7配置于比手5靠上侧的位置。共同臂8配置于比臂6靠下侧的位置。另外，共同臂8配置于比本体部9靠上侧的位置。本体部9具备以上下方向为转动的轴向使共同臂8转动的转动轴(图示省略)、使该转动轴转动的转动机构(图示省略)、与该转动机构一起使共同臂8升降的升降机构(图示省略)、收容转动机构及升降机构的壳体。该壳体由形成为有底圆筒状的壳体本体11和覆盖壳体本体11的上端的开口的盖体12构成。在盖体12的中心形成有配置使共同臂8转动的转动轴的贯通孔。另外，在盖体12上形成有向壳体本体11的径向外侧扩展的突缘部12a。如上所述，机器人1是用于在真空中搬运基板2的机器人。如图2所示，机器人1的比突缘部12a的下表面靠上侧的部分配置于真空室13中。即，机器人1的比突缘部12a的下表面靠上侧的部分配置于真空区域VR中(真空中)。另一方面，机器人1的比突缘部12a的下表面靠下侧的部分配置于大气区域AR中(大气中)。手4、5具备装载基板2的多个叉部15。臂6本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工业用机器人，在真空中搬运搬运对象，其特征在于，具备：装载所述搬运对象的两只手；在前端侧分别能转动地连接两个所述手的两条臂；能转动地连接两个所述臂的基端侧的共同臂；以及能转动地连接所述共同臂的本体部，在两个所述臂各自和所述共同臂的连接部即两个关节部，配置有固定于所述臂的基端侧的转动轴、能转动地支承所述转动轴的轴承以及配置于所述转动轴的外周侧的密封部件，所述共同臂具备：与所述本体部连接的基端部；保持所述轴承及所述密封部件的两个前端部；以及连接两个所述前端部各自和所述基端部的两个连接部，所述基端部、两个所述前端部以及两个所述连接部分体形成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.28 JP 2016-1481071.一种工业用机器人，在真空中搬运搬运对象，其特征在于，具备：装载所述搬运对象的两只手；在前端侧分别能转动地连接两个所述手的两条臂；能转动地连接两个所述臂的基端侧的共同臂；以及能转动地连接所述共同臂的本体部，在两个所述臂各自和所述共同臂的连接部即两个关节部，配置有固定于所述臂的基端侧的转动轴、能转动地支承所述转动轴的轴承以及配置于所述转动轴的外周侧的密封部件，所述共同臂具备：与所述本体部连接的基端部；保持所述轴承及所述密封部件的两个前端部；以及连接两个所述前端部各自和所述基端部的两个连接部，所述基端部、两个所述前端部以及两个所述连接部分体形成。2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，在所述关节部配置有以所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：矢澤隆之，高瀬陽介，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP