The invention discloses an evaporation structure of a display panel, including a display panel; a number of magnets are distributed on one side of the display panel; a mask plate is arranged on the other side of the display panel; a number of supporting columns are supported between the mask plate and the display panel, and each supporting column corresponds to one of the magnets; an evaporation source has an evaporation side and faces the mask. Diaphragm. The evaporation structure of the display panel of the invention effectively prevents the deformation problem caused by the uneven distribution of the adsorption force produced by the magnet, ensures the uniformity of the thickness of each luminous layer structure after evaporation, and reduces the poor display rate of the display panel by adding a number of supporting columns in the corresponding area between the mask plate and the magnet.
【技术实现步骤摘要】
显示面板的蒸镀结构
本专利技术涉及显示面板蒸镀设备等领域,具体为一种显示面板的蒸镀结构。
技术介绍
在显示面板的制程中,需要采用蒸镀工艺形成对应的功能膜层。而蒸镀工艺一般在真空中通过电流加热,电子束轰击加热和激光加热等方法,使被蒸材料蒸发成原子或分子,它们随即以较大的自由程作直线运动,碰撞基片表面而凝结,形成薄膜。而在蒸镀时,需要用到掩膜板对非成膜区进行遮掩,以能够在指定的位置形成各个功能膜层。现有的蒸镀设备,在蒸镀显示面板时,蒸镀设备中的磁铁会对掩膜板产生吸附力从而吸附掩膜板。而现有蒸镀设备中的磁铁只能做成长条状,当磁铁通电后,靠近磁铁附近位置的磁场强度较强,远离磁铁位置的磁场强度较弱,因此会造成蒸镀设备中的掩膜板被磁铁吸附时的吸附力分布不均的情况,掩膜板因吸附力不均容易形变,最终影响蒸镀后功能膜层的膜厚的均一性,造成显示面板的显示不良。
技术实现思路
为了解决上述技术问题:本专利技术提供一种显示面板的蒸镀结构,通过在掩膜板与显示面板之间增加支撑柱,以防止因磁铁产生的吸附力分布不均带来的掩膜板形变的现象。解决上述问题的技术方案是:本专利技术提供一种显示面板的蒸镀结构,包括显示面板;若干磁铁,分布于所述显示面板的一侧;一掩膜板,设于所述显示面板的另一侧;若干支撑柱,支撑于所述掩膜板与所述显示面板之间,且每一支撑柱对应于其中一磁铁;蒸镀源,具有一蒸镀侧,朝向所述掩膜板。在本专利技术一实施例中,所述的显示面板的蒸镀结构还包括一底板,所述磁铁设于所述底板的一侧,所述显示面板设于所述底板的另一侧;所述显示面板包括玻璃基板,设于所述底板上;薄膜晶体管结构层,设于所述玻璃 ...
【技术保护点】
1.一种显示面板的蒸镀结构,其特征在于,包括显示面板;若干磁铁,分布于所述显示面板的一侧;一掩膜板,设于所述显示面板的另一侧;若干支撑柱,支撑于所述掩膜板与所述显示面板之间,且每一支撑柱对应于其中一磁铁;以及蒸镀源,具有一蒸镀侧,朝向所述掩膜板。
【技术特征摘要】
1.一种显示面板的蒸镀结构,其特征在于,包括显示面板;若干磁铁,分布于所述显示面板的一侧;一掩膜板,设于所述显示面板的另一侧;若干支撑柱,支撑于所述掩膜板与所述显示面板之间,且每一支撑柱对应于其中一磁铁;以及蒸镀源,具有一蒸镀侧,朝向所述掩膜板。2.根据权利要求1所述的显示面板的蒸镀结构,其特征在于,还包括一底板,所述磁铁设于所述底板的一侧,所述显示面板设于所述底板的另一侧;所述显示面板包括玻璃基板,设于所述底板上;薄膜晶体管结构层,设于所述玻璃基板上;像素限定层,设于所述薄膜晶体管结构层上,所述像素限定层设有开孔;间隔柱,设于所述像素限定层上;所述掩膜板设于所述间隔柱上,所述支撑柱与所述间隔柱同层设置。3.根据权利要求2所述的显示面板的蒸镀结构,其特征在于,所述掩膜板具有若干透孔区和非透孔区,每一透孔区对应其中一开孔。4.根据权利要求3所述的显示面板的蒸镀结构,其特征在于,所述透孔区成阵列排布,形成若干所述透孔区的行和列;所述支撑柱也成阵列排布且位于所述非透孔区,形成所述支撑柱的行和列,所述支撑柱的行平行于所述透孔区的行,所述支撑柱的列平行于所...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵凯祥,刘开欣,
申请(专利权)人:武汉华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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