The invention relates to a preparation method of composite coating of atmospheric plasma spraying yttrium oxide coating, which is prepared by using atmospheric plasma spraying equipment. The preparation methods are: (1) preparing hard anodic oxidation on the surface of parts; (2) shielding the non-coated position of parts; (3) sandblasting treatment on the hard anodic oxidation area of parts; (4) preparing atmospheric plasma yttrium oxide coating on the sandblasting area of parts. Yttrium oxide coatings obtained by this method have excellent properties such as high hardness, high compactness, high tensile resistance, corrosion resistance and voltage resistance, which can effectively prolong the service life of parts.
【技术实现步骤摘要】
一种大气等离子体喷涂氧化钇涂层的复合涂层制备方法
本专利技术涉及一种热喷涂制备陶瓷涂层领域,特别是具有高硬度及高拉伸力涂层要求的涂层领域制备方法。
技术介绍
对于半导体设备企业来说,半导体零部件的发展对于半导体设备的发展起这至关重要的作用。随着半导体设备的不断发展,对刻蚀腔内的铝制零部件的耐腐蚀性要求越来越高。传统的铝制零部件采用阳极氧化的方式,在铝制零部件表面形成一层阳极膜来耐腐蚀,但其耐腐蚀性已不能满足先进半导体设备的要求,铝制零部件的寿命降低,其更换频率越来越高,目前,很多企业采用在铝基体上喷涂氧化钇的方式来增强其耐腐蚀耐磨性能,而随着越来越严格的力学性能要求,该种工艺仍不能满足需求,因此,为了提高铝制零部件的使用寿命,需要使用两种涂层复合涂覆在表面来增强效果的制备方法。硬质阳极氧化层相比铝基材具有更高的硬度,更好的耐腐蚀性抗电压性,首先在零件上制备阳极氧化层可以增强零件的抗腐蚀能力和硬度,随后在阳极氧化层上制备氧化钇涂层,可以起到更优秀的耐腐蚀抗击穿电压能力,采用大气等离子喷涂制备氧化钇涂层,一方面原因是因为采用热喷涂的方式制备的氧化钇涂层的致密性更好,与基体的结合力更好。另一方面是在刻蚀腔内,是刻蚀气体在侵蚀铝制零部件时,传统的氧化铝涂层中的铝原子比钇原子轻,氧化钇的耐物理腐蚀性更好;氧化钇的活性比氧化钇的活性大,更易与刻蚀气体反应,所获得的氟化钇比氟化铝更不易蒸发,因此氧化钇的耐化学腐蚀性比氧化铝更好。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种大气等离子体喷涂氧化钇涂层复合涂层的制备方法。为思想上述目的采用的技术方案是:一种大气等离子体喷涂氧化钇涂 ...
【技术保护点】
1.一种大气等离子体喷涂氧化钇涂层复合涂层的制备方法,其特征在于,该涂层制备方法包括以下步骤:(1)将零件表面制备硬质阳极氧化涂层;(2)对零件非涂层位置进行遮蔽保护;(3)对零件硬质阳极氧化区域进行喷砂处理;(4)对零件喷砂区域进行大气等离子体氧化钇涂层制备。
【技术特征摘要】
1.一种大气等离子体喷涂氧化钇涂层复合涂层的制备方法,其特征在于,该涂层制备方法包括以下步骤:(1)将零件表面制备硬质阳极氧化涂层;(2)对零件非涂层位置进行遮蔽保护;(3)对零件硬质阳极氧化区域进行喷砂处理;(4)对零件喷砂区域进行大气等离子体氧化钇涂层制备。2.按照权利要求1所述的氧化钇涂层复合涂层,其特征在于,步骤(1)所述硬质阳极氧化层,膜厚在50-90μm,制备后使用纯水封孔3-6小时。3.按照权利要求1所述的氧化钇涂层复合涂层,其特征在于,步骤(3)所述的喷砂处理,选用白刚玉砂材进行喷砂,设备为自动喷砂或手动喷砂,喷砂压力30-50psi,喷砂后粗糙度在3.75-7.5μm之间。4.按照权利要求1所述的氧化钇涂层复合涂层,其特征在于,步骤(4)所...
【专利技术属性】
技术研发人员:王嘉雨,郑广文,郁忠杰,徐俊阳,李加,
申请(专利权)人:沈阳富创精密设备有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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