一种气液分离装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及化工技术领域，公开一种气液分离装置，包括：真空管，其上设有抽气口；分离管，位于真空管内，分离管内用于流通含有氢气和/或氦气的液体；抽气单元，通过抽气口抽出真空管内的气体，使分离管内液体中含有的气体穿过分离管管壁进入真空管内。本发明专利技术通过抽气单元将真空管内的气体抽出，使真空管内的压强小于等于设定值，由于分离管内液体中含有的氢气或者氦气的相对分子质量比较小，且分离管内外存在压差，气体能够穿过分离管壁进入真空管内，并通过真空单元将其抽出，通过该气液分离装置提高了液体的纯净度。

A Gas-liquid Separation Device

The invention relates to the technical field of chemical industry, and discloses a gas-liquid separation device, which comprises a vacuum tube with an exhaust port on it; a separation tube, located in a vacuum tube, is used for circulating liquids containing hydrogen and/or helium in the separation tube; and a exhaust unit, which extracts gas from the vacuum tube through the exhaust port, so that the gas contained in the liquid in the separation tube passes through the wall of the separation tube and enters the vacuum tube. The gas in the vacuum tube is pumped out by the suction unit, so that the pressure in the vacuum tube is less than or equal to the set value. Because the relative molecular mass of hydrogen or helium in the liquid in the separation tube is relatively small, and there is a pressure difference inside and outside the separation tube, the gas can enter the vacuum tube through the wall of the separation tube and be pumped out by the vacuum unit, and the gas-liquid separation device is improved. The purity of the liquid is improved.

【技术实现步骤摘要】
一种气液分离装置
本专利技术涉及化工
，尤其涉及一种气液分离装置。
技术介绍
液体中经常会掺杂相对分子质量比较小的气体，而一般很难将其分离出来。例如化学上常用的正硅酸乙酯(Tetraethylorthosilicate，简称TEOS)，常温时为液态的有机物，通常使用储罐封装，将TEOS运输至使用点后，使用蒸发罐进行输送。由于TEOS是液态且刺激性气味、容易燃烧，输送时通常先将氦气接入储罐，将液态的TEOS压出，当TEOS到达设定压力后，将储罐中的TEOS输送出至蒸发系统，蒸发罐将TEOS加热蒸发后输送至使用点进行使用。经测试，输送过程中液态的TEOS中有氦气残留，现有技术中没有分离TEOS及氦气的装置，经检测发现，压出后的部分TEOS因其中氦气含量较高而导致其纯度较低，致使蒸发后的部分TEOS纯度不能满足使用条件，造成TEOS的浪费。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种气液分离装置，能够将TEOS中的氦气分离出来，以解决蒸发部分TEOS因其中氦气含量较高而导致其纯度较低，使该部分TEOS不满足使用条件的问题。为达上述目的，本专利技术采用以下技术方案：提供一种气液分离装置，其特征在于，包括：真空管，其上设有抽气口；分离管，位于所述真空管内且由可溶性聚四氟乙烯制成，所述分离管内用于流通含有氢气和/或氦气的液体；抽气单元，通过所述抽气口抽出所述真空管内的气体，使所述分离管内液体中含有的气体穿过所述分离管管壁进入所述真空管内。作为一种气液分离装置的优选方案，所述分离管为螺旋式分离管。作为一种气液分离装置的优选方案，所述真空管内设有泄漏检测仪，用于检测所述真空管内的所述液体。作为一种气液分离装置的优选方案，所述真空管内设有压力检测单元，用于检测所述真空管内的压力。作为一种气液分离装置的优选方案，所述真空管的绝对压强值大于5Pa。作为一种气液分离装置的优选方案，所述液体为正硅酸乙酯。作为一种气液分离装置的优选方案，还包括第一阀门，设于所述抽气单元与所述真空管的连接管路上。作为一种气液分离装置的优选方案，还包括第二阀门和第三阀门，分别设于所述分离管的介质进口和介质出口。作为一种气液分离装置的优选方案，所述第一阀门、所述第二阀门及所述第三阀门下方分别设有第一阀门支架、第二阀门支架及第三阀门支架。作为一种气液分离装置的优选方案，所述第一阀门和所述第三阀门的出口管路上分别设有第一阀门堵头和第三阀门堵头，所述第二阀门的进口管路上设有第二阀门堵头。本专利技术的有益效果为：通过抽气单元将真空管内的气体抽出，使真空管内的压强小于等于设定值，由于分离管内液体中含有的氢气或者氦气的相对分子质量比较小，且分离管内外存在压差，气体能够穿过分离管壁进入真空管内，并通过真空单元将其抽出，通过该气液分离装置提高了液体的纯净度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对本专利技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本专利技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术具体实施方式提供的气液分离装置的示意图；图2是本专利技术具体实施方式提供的气液分离装置的剖面图。图中：10-第一法兰，11-第二法兰，12-真空管，13-分离管，14-泄漏检测仪，210-介质进口，211-抽气口，212-第一阀门，213-第一阀门支架，214-第一阀门堵头，221-第二阀门，222-第二阀门支架，223-第二阀门堵头，230-介质出口，231-第三阀门，232-第三阀门支架，233-第三阀门堵头。具体实施方式为使本专利技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1和图2所示，本实施例提供一种气液分离装置，用于将混合在液态TEOS中的氦气分离分来。该装置包括真空管12和位于真空管12内的分离管13，分离管13内流通含有氦气的液态TEOS，分离管13与真空管12互相隔离，使分离管13与真空管12互不连通，当然，本专利技术的液体并不限于本实施例中的液态TEOS，还可以为其他液体，气体也并不限于本实施例中的氦气，还可以为氢气。真空管12上设有抽气口211，本实施例的气液分离装置还包括抽气单元，抽气单元与抽气口211连通，抽气单元用于抽出真空管12内的氦气，分离管13用于流通含有氦气的液态TEOS，使氦气穿过分离管13管壁进入真空管12内，其中，抽气单元为真空泵或真空负压站。抽气单元与真空管12的连接管路上设有第一阀门212，第一阀门212下方设有起支撑第一阀门212作用的第一阀门支架213，第一阀门212的出口管道上设有第一阀门堵头214，对真空管12进行二次密封，在不使用该装置时，防止外部颗粒进入真空管12，造成真空管12内部环境的污染。真空管12的两端设有第一法兰10和第二法兰11，第二法兰11设于真空的抽气口211一端，第一法兰10设于另外一端，第一法兰10和第二法兰11起连接外部管道、分离管13和真空管12的作用。抽气单元从真空管12中抽出的氦气通常排放到大气，由于液态TEOS会对环境造成污染，且容易燃烧，为了避免液态的TEOS泄漏到真空管12中后被排放到大气中，在真空管12内设置泄漏检测仪14，用于检测真空管12内的TEOS，一旦分离管13有裂纹或其他损坏，造成液态TEOS进入真空管12内，此时立即关闭第一阀门212，真空管12仍可以作为防护层，实现液态TEOS与空气隔绝，防止液态TEOS被排放至空气中而会环境造成污染或者燃烧。泄漏传感器14在检测到真空管12内含有TEOS时，会将其检测信号发送至控制器，由控制器控制第一阀门212关闭，并同时控制声光报警系统发出声音和产生光亮，提醒维修人员该气液分离装置发生泄漏，及时对该气液分离装置进行维修。本实施例的分离管13由可溶性聚四氟乙烯(简称PFA)制成，能够用于超高纯工业系统，分离管13内的压强大于真空管12内的压强，液态TEOS中的氦气能够穿过由PFA制成的分离管13的结构间隙，使相对分子质量比较小的氢气和氦气从分离管13进入真空管12内。为了将分离管13内的液态TEOS中掺杂的相对分子质量比较小的氦气尽可能多的通过分离管13管壁渗漏出来，需要增加分离管13的总长度，本实施例中分离管13为螺旋式分离管13，在有限的空间里增加了分离管13的长度，且这种设计还能使液态TEOS与氦气充分混合，使液态TEOS在分离管13内流动的过程中，利于掺杂在液态TEOS中的氦气沿其流动方向被逐渐分离出来。沿液态TEOS流动方向，由于液态TEOS中的氦气不断地被分离出来，沿分离管13径向靠近分离管13中心轴线方向，液态TEOS中含氦气浓度逐渐增高，可能会存在靠近分离管13中心轴线附近的氦气并未被完全分离出来而已经被排出的情况，而螺旋式结构的分离管13，能使液态TEOS与氦气充分混合，将氦气尽可能多的分离开来，且分离管13长度的增加，进一步增加了分离出的氦本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气液分离装置，其特征在于，包括：真空管(12)，其上设有抽气口(211)；分离管(13)，位于所述真空管(12)内且由可溶性聚四氟乙烯制成，所述分离管(13)内用于流通含有氢气和/或氦气的液体；抽气单元，通过所述抽气口(211)抽出所述真空管(12)内的气体，使所述分离管(13)内液体中含有的气体穿过所述分离管(13)管壁进入所述真空管(12)内。

【技术特征摘要】
1.一种气液分离装置，其特征在于，包括：真空管(12)，其上设有抽气口(211)；分离管(13)，位于所述真空管(12)内且由可溶性聚四氟乙烯制成，所述分离管(13)内用于流通含有氢气和/或氦气的液体；抽气单元，通过所述抽气口(211)抽出所述真空管(12)内的气体，使所述分离管(13)内液体中含有的气体穿过所述分离管(13)管壁进入所述真空管(12)内。2.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述分离管(13)为螺旋式分离管。3.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述真空管(12)内设有泄漏检测仪(14)，用于检测所述真空管(12)内的所述液体。4.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述真空管(12)内设有压力检测单元，用于检测所述真空管(12)内的压力。5.根据权利要求4所述的气液分离装置，其特征在于，所述真空管(12)的绝对压强值大于5Pa。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：常军，
申请(专利权)人：上海正帆半导体设备有限公司，上海正帆科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31