一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置，该夹心板包含：高导磁层，包覆在高导磁层上的高导电层，设置在高导磁层和高导电层之间的高强度耐高温胶层。其中，高导磁层包含：坡莫合金；高导电层包含：铝或铝合金。本发明专利技术的夹心板采用压敏胶粘合，降低了高导电导磁复合材料的成本，得到的铝坡莫合金夹心板具有较好的磁导率和导电率。

A kind of aluminium permalloy sandwich plate and its plasma treatment device

The invention discloses an aluminium permalloy sandwich plate and a plasma processing device prepared therefrom. The sandwich plate comprises a high conductivity layer, a high conductivity layer coated on the high conductivity layer, and a high strength high temperature resistant adhesive layer arranged between the high conductivity layer and the high conductivity layer. Among them, the high conductivity layer includes: permalloy; the high conductivity layer includes: aluminium or aluminium alloy. The sandwich plate of the invention adopts pressure sensitive adhesive to bond, reduces the cost of high conductive magnetic conductive composite material, and the obtained aluminum permalloy sandwich plate has good permeability and conductivity.

【技术实现步骤摘要】
一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置
本专利技术属于半导体领域，涉及一种夹心板，具体涉及一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置。
技术介绍
在使用电感耦合产生等离子体的机台上，如TSV（ThroughSiliconVias,硅穿孔）和ICP（InductivelyCoupledPlasma,电感耦合等离子体），需要使用磁屏蔽材料来屏蔽外部磁场对等离子体的干扰，需要高磁导率材料，而等离子刻蚀机的RF（RadioFrequency,射频）环境又要对电场屏蔽，需要高电导率材料。然而，目前磁导率高的材料电导率都不高，电导率高的材料磁导率又很低，不能满足同时对磁场和电场屏蔽需求。通过使用坡莫合金外表面镀高电导率镀层的方式可以形成高导电导磁复合材料，但是这种材料基材为坡莫合金，材料厚、价格贵，并且在坡莫合金表面镀高电导率材料的方法成本高。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置，该夹心板能够解决了现有技术制备的高导电导磁复合材料成本高的问题，采用压敏胶粘合，降低了高导电导磁复合材料的成本，得到的铝坡莫合金夹心板具有较好的磁导率和导电率。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种铝坡莫合金夹心板，该夹心板包含：高导磁层，包覆在高导磁层上的高导电层，设置在高导磁层和高导电层之间的高强度耐高温胶层。其中，所述的高导磁层包含：坡莫合金。其中，所述的高导电层包含：铝或铝合金。所述的高强度耐高温胶层包含：高强度耐高温压敏胶。所述的高强度耐高温压敏胶包含：聚丙烯酸酯。所述的坡莫合金包含以下组份：质量分数大于或等于50%的镍，余量为Fe和不可避免的杂质元素。所述的高导磁层的厚度为0.1mm～1mm。所述的高导电层的厚度为0.5mm～5mm。所述的高强度耐高温胶层的厚度大于0，且小于0.3mm。本专利技术还提供了一种根据所述的铝坡莫合金夹心板的用途，该用途包含：通过切割、折弯和冲裁的方式加工成为含坡莫合金的钣金件。本专利技术还提供了一种等离子体处理装置，该装置包含：反应腔，其由外壁围成且内部设置基座用于对待处理基片进行支撑；气体供应装置，其与所述的反应腔连接，用于输送反应气体至所述的反应腔内；以及射频功率源，其与所述的反应腔连接，用于施加射频功率至所述的反应腔，将反应腔内的反应气体电离产生等离子体；所述的反应腔的外壁材料由所述的铝坡莫合金夹心板构成。该装置为电容耦合等离子体处理装置或电感耦合等离子体处理装置。本专利技术的铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置，解决了现有技术制备的高导电导磁复合材料成本高的问题，具有以下优点：（1）本专利技术的夹心板通过高强度耐高温胶层将高导磁层和高导电层粘合在一起，降低了夹心板的制备成本，而且得到的夹心板具有较好的磁导率和导电率；（2）本专利技术的夹心板相较于现有技术在坡莫合金外表面镀高电导率镀层的方式获得的高导电导磁复合材料较薄，从而加工得到的钣金件较轻，满足半导体制造
对材料越来越高的要求；（3）本专利技术的夹心板采用高强度耐高温压敏胶粘合，使得高导磁层和高导电层之间粘合紧密，没有气泡，使得高导电层不易从高导磁层上脱落。附图说明图1为本专利技术的铝坡莫合金夹心板的结构示意图。图2为本专利技术的等离子体处理装置的结构示意图。图3为实施例4的电感耦合型等离子体反应装置的结构示意图。图4为实施例5的电容耦合型等离子体反应装置的结构示意图。具体实施方式以下结合附图和实施例对本专利技术的技术方案做进一步的说明。如图1所示，为本专利技术的铝坡莫合金夹心板的结构示意图，该夹心板包含：高导磁层10，包覆在高导磁层10上的高导电层20，设置在高导磁层10和高导电层20之间的高强度耐高温胶层30。上述高导磁层10包含：坡莫合金；高导电层20包含：铝或铝合金，铝合金包含（但不限于）：非热处理强化铝合金、热处理强化铝合金和铸造铝合金。上述高强度耐高温胶层30包含：高强度耐高温压敏胶。压敏胶能够使高导磁层10和高导电层20在粘合在一起时，高强度耐高温胶层30内没有气泡，避免由于高导磁层10和高导电层20之间存在较多气泡而粘合不紧高导电层20易脱落的问题。上述高强度耐高温压敏胶30包含：聚丙烯酸酯。上述坡莫合金包含以下组份：质量分数大于或等于50%的镍，余量为Fe和不可避免的杂质元素。上述高导磁层10的厚度为0.1mm～1mm。上述高导电层20的厚度为0.5mm～5mm。上述高强度耐高温胶层30的厚度大于0，且小于0.3mm。相较于现有技术在坡莫合金外表面镀高电导率镀层的方式获得的高导电导磁复合材料，该夹心板较薄，从而加工得到的钣金件较轻，满足半导体制造
对材料越来越高的要求。一种根据上述铝坡莫合金夹心板的用途，该用途包含：通过切割、折弯和冲裁的方式加工成为含坡莫合金的钣金件。一种等离子体处理装置，如图2所示，为本专利技术的等离子体处理装置的结构示意图，该装置包括：反应腔1，其由外壁围成且内部设置基座11用于对待处理基片12进行支撑；气体供应装置2，其与反应腔1连接，用于输送反应气体至反应腔1内；以及射频功率源3，其与反应腔1连接，用于施加射频功率至反应腔1，将反应腔1内的反应气体电离产生等离子体13。反应腔1的外壁材料由上述铝坡莫合金夹心板构成。该装置为电容耦合等离子体（InductivelyCoupledPlasma,ICP）处理装置或电感耦合等离子体（Capacitivelycoupledplasma,CCP）处理装置。上述电感耦合等离子体或电容耦合等离子体能够作为离子源驱动等离子体发生的装置。实施例1一种铝坡莫合金夹心板，该夹心板包含：高导磁层10，通过高强度耐高温胶层30粘贴在高导磁层10上的高导电层20。其中，高导磁层10为镍的质量分数为51%的坡莫合金（余量为Fe和不可避免的杂质元素），高导电层20为纯铝板，高强度耐高温胶层30为聚丙烯酸酯压敏胶。高导磁层10的厚度为0.1mm，高导电层20的厚度为0.5mm，高强度耐高温胶层30的厚度为0.1mm。实施例2一种铝坡莫合金夹心板，该夹心板包含：高导磁层10，通过高强度耐高温胶层30粘贴在高导磁层10上的高导电层20。其中，高导磁层10为镍的质量分数为80%的坡莫合金（余量为Fe和不可避免的杂质元素），高导电层20为纯铝板，高强度耐高温胶层30为聚丙烯酸酯压敏胶。高导磁层10的厚度为1mm，高导电层20的厚度为5mm，高强度耐高温胶层30的厚度为0.2mm。实施例3一种铝坡莫合金夹心板，该夹心板包含：高导磁层10，通过高强度耐高温胶层30粘贴在高导磁层10上的高导电层20。其中，高导磁层10为镍的质量分数为80%的坡莫合金（余量为Fe和不可避免的杂质元素），高导电层20为铝合金，该铝合金为非热处理强化铝合金，高强度耐高温胶层30为聚丙烯酸酯压敏胶。高导磁层10的厚度为0.1mm，高导电层20的厚度为0.5mm，高强度耐高温胶层30的厚度为0.1mm。对实施例1、实施例2和实施例3得到的铝坡莫合金夹心板分别通过切割、折弯和冲裁的方式，加工成为含坡莫合金的钣金件，在加工过程中铝坡莫合金夹心板并未在压力或者高温下发生高导电层的脱落，表明本专利技术的铝坡莫合金夹心板具有较好的抗压和耐高温特性。对实施例1、实施例2和实施例3得到的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铝坡莫合金夹心板，其特征在于，该夹心板包含：高导磁层（10），包覆在高导磁层（10）上的高导电层（20），设置在高导磁层（10）和高导电层（20）之间的高强度耐高温胶层（30）；所述的高导磁层（10）包含：坡莫合金；所述的高导电层（20）包含：铝或铝合金。

【技术特征摘要】
1.一种铝坡莫合金夹心板，其特征在于，该夹心板包含：高导磁层（10），包覆在高导磁层（10）上的高导电层（20），设置在高导磁层（10）和高导电层（20）之间的高强度耐高温胶层（30）；所述的高导磁层（10）包含：坡莫合金；所述的高导电层（20）包含：铝或铝合金。2.根据权利要求1所述的铝坡莫合金夹心板，其特征在于，所述的高强度耐高温胶层（30）包含：高强度耐高温压敏胶。3.根据权利要求2所述的铝坡莫合金夹心板，其特征在于，所述的高强度耐高温压敏胶（30）包含：聚丙烯酸酯。4.根据权利要求1所述的铝坡莫合金夹心板，其特征在于，所述的坡莫合金包含以下组份：质量分数大于或等于50%的镍，余量为Fe和不可避免的杂质元素。5.根据权利要求1所述的铝坡莫合金夹心板，其特征在于，所述的高导磁层（10）的厚度为0.1mm～1mm。6.根据权利要求1所述的铝坡莫合金夹心板，其特征在于，所述的高导电层（20）的厚度为0.5mm～5...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘季霖，王凯麟，吴狄，左涛涛，
申请(专利权)人：中微半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31