The utility model relates to the technical field of equipment related to integrated circuit manufacturing, in particular to an electroplating bath structure for integrated circuit manufacturing, which comprises a trough body, two sides of the trough body are tightly welded with brackets, a cylinder is installed on the bracket, a fixed block is arranged at the output end of each cylinder, a connecting rod is arranged on one side of each fixed block, and a threaded sleeve is arranged at the end of the connecting rod away from the fixed block. The screw sleeve is provided with a screw device. The screw device includes a top cover, a screw and a clamping seat. The bottom end of the screw is provided with a clamping block. The clamping block is provided with a limit cover, and a clamping groove is arranged at the central position of the clamping seat. The utility model realizes liquid stirring in the shell through the combination of screw device and thread sleeve, which is convenient for disassembly and installation. When the cylinder works, the screw keeps rotating forward and backward, and the screw drives the agitator in the tank to turn over continuously, making the stirring more uniform and convenient to use, thus solving the problems of inconvenient installation and uneven stirring of the agitator in the plating tank.
【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路制造的电镀槽结构
本技术涉及集成电路制造相关设备
,具体为一种用于集成电路制造的电镀槽结构。
技术介绍
电镀槽是电镀设备中最基础的设备,主要功能是装置溶液。镀槽的使用方式有按手工操作的工艺流程生产线直线排列,也有因地制宜的根据现场空间分开镀种排列,如果是机械自动生产线,则基本上是按工艺流程排列的。槽子主要构件包括槽体、溶液加热及冷却装置、导电装置和搅拌装置等,槽体有时直接盛装溶液如热水槽等,有时作衬里的基体或骨架如钢槽的基本要求是不渗漏和具有一定的刚度与强度,以免由于槽体变形过大造成衬里层的破坏,钢槽底面应离地面10mm-12mm,以防腐蚀严重,电镀过程中搅拌装置不仅能加快电镀速度,而且使得电镀更加均匀,但是现有的电解槽使用电机作为驱动,一般朝向同一旋转方向不停搅拌电镀液,无法确保电镀的均匀度,同时搅拌装置并不需要在整个电镀过程中使用,现有的搅拌装置在拆卸和维修时都十分不便,鉴于此,我们提出一种用于集成电路制造的电镀槽结构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于集成电路制造的电镀槽结构,以解决上述
技术介绍
中提出的电镀槽内搅拌装置不便于安装和搅拌不均匀的问题问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于集成电路制造的电镀槽结构,包括槽体,所述槽体两侧均紧密焊接有支架,所述支架上安装有气缸,每个所述气缸的输出端均设有固定块,每个所述固定块上设有螺栓,且所述固定块通过所述螺栓与所述气缸的输出端螺纹连接,每个所述固定块的一侧均设有连接杆,所述连接杆远离所述固定块的一端设有螺纹套筒,所述螺纹套筒内设有螺旋装置;所述螺旋装置包括顶盖、螺杆和 ...
【技术保护点】
1.一种用于集成电路制造的电镀槽结构,包括槽体(1),其特征在于:所述槽体(1)两侧均紧密焊接有支架(11),所述支架(11)上安装有气缸(2),每个所述气缸(2)的输出端均设有固定块(21),每个所述固定块(21)上设有螺栓(211),且所述固定块(21)通过所述螺栓(211)与所述气缸(2)的输出端螺纹连接,每个所述固定块(21)的一侧均设有连接杆(22),所述连接杆(22)远离所述固定块(21)的一端设有螺纹套筒(23),所述螺纹套筒(23)内设有螺旋装置(3);所述螺旋装置(3)包括顶盖(31)、螺杆(32)和卡接座(33),所述螺杆(32)的顶面设有螺孔(321),且所述顶盖(31)通过所述螺孔(321)与所述螺杆(32)螺纹连接,所述螺杆(32)的底端设有卡接块(322),所述卡接块(322)与所述螺杆(32)的底端紧密焊接,所述卡接块(322)上套设有限位盖(323),且所述螺杆(32)通过所述限位盖(323)与所述卡接座(33)螺纹连接,位于所述卡接座(33)的中心位置处设有卡槽(331),所述卡接座(33)的底部紧密焊接有搅拌桨(4)。
【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路制造的电镀槽结构,包括槽体(1),其特征在于:所述槽体(1)两侧均紧密焊接有支架(11),所述支架(11)上安装有气缸(2),每个所述气缸(2)的输出端均设有固定块(21),每个所述固定块(21)上设有螺栓(211),且所述固定块(21)通过所述螺栓(211)与所述气缸(2)的输出端螺纹连接,每个所述固定块(21)的一侧均设有连接杆(22),所述连接杆(22)远离所述固定块(21)的一端设有螺纹套筒(23),所述螺纹套筒(23)内设有螺旋装置(3);所述螺旋装置(3)包括顶盖(31)、螺杆(32)和卡接座(33),所述螺杆(32)的顶面设有螺孔(321),且所述顶盖(31)通过所述螺孔(321)与所述螺杆(32)螺纹连接,所述螺杆(32)的底端设有卡接块(322),所述卡接块(322)与所述螺杆(32)的底端紧密焊接,所述卡接块(322)上套设有限位盖(323),且所述螺杆(32)通过所述限位盖(323)与所述卡接座(33)螺纹连接,位于所述卡接座(33)的中心位置处设有卡槽(331),所述卡接座(33)的底部紧密焊接有搅拌桨(4)。2.根据权利要求1所述的用于集成电路制造的电镀槽结构,其特征在于:所述搅...
【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人,
申请(专利权)人:深圳市众合和科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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