【技术实现步骤摘要】
一种基于数字电路驱动的高速可变电容
本专利技术涉及领域,尤其涉及一种基于数字电路驱动的高速可变电容,可用于半导体大功率设备、高速匹配器和匹配网络、各类调谐电路等,并且可以替代部分传统的真空可变电容。
技术介绍
目前国内半导体行业发展较快,射频电源的应用日益广泛,射频电源对输出功率的匹配速度要求越来越高,目前匹配器中可变电容多数以电机机械驱动的真空可变电容为主,通过改变极片之间的有效面积改变电容值,而机械驱动受到电机启动速度、材料特性等影响,变化速度较慢,相比固态电子元器件,电机、联轴器等动力装置的抗震性能较差,导致可变电容可靠性较低,电容值变化速度无法满足需求。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种基于数字电路驱动的高速、高可靠性的可变电容。为实现上述专利技术目的,本专利技术的技术方案是:一种基于数字电路驱动的高速可变电容,包括可变电容的正输出引脚和负输出引脚,还包括多个电容单元以及位数与电容单元数量对应的AD转换器;多个所述电容单元并联设置,且电容单元一端并联后与所述正输出引脚连接,电容单元一端并联后与所述负输出引脚连接;所述电容单元包括串联的电容元件和固态继电器,各固态继电器分别连接所述AD转换器的一个输出端,AD转换器的输入端连接有模拟输入引脚,用于输入模拟信号,输入的模拟信号经AD转换器后转换为多位数字信号,多位数字信号分别控制各固态继电器的通断,通过固态继电器的通断控制电容单元工作数量,实现不同的电容输出;所述AD转换器的电源接口连接有电源引脚,所述AD转换器的接地端口连接有接地引脚。作为本方案的一种优选,所述固态继电器可以替代为三极管、高压PN ...
【技术保护点】
1.一种基于数字电路驱动的高速可变电容,包括可变电容的正输出引脚和负输出引脚,其特征在于,还包括多个电容单元以及位数与电容单元数量对应的AD转换器;多个所述电容单元并联设置,且电容单元一端并联后与所述正输出引脚连接,电容单元一端并联后与所述负输出引脚连接;所述电容单元包括串联的电容元件和固态继电器,各固态继电器分别连接所述AD转换器的一个输出端,AD转换器的输入端连接有模拟输入引脚,用于输入模拟信号,输入的模拟信号经AD转换器后转换为多位数字信号,多位数字信号分别控制各固态继电器的通断,通过固态继电器的通断控制电容单元工作数量,实现不同的电容输出;所述AD转换器的电源接口连接有电源引脚,所述AD转换器的接地端口连接有接地引脚。
【技术特征摘要】
1.一种基于数字电路驱动的高速可变电容,包括可变电容的正输出引脚和负输出引脚,其特征在于,还包括多个电容单元以及位数与电容单元数量对应的AD转换器;多个所述电容单元并联设置,且电容单元一端并联后与所述正输出引脚连接,电容单元一端并联后与所述负输出引脚连接;所述电容单元包括串联的电容元件和固态继电器,各固态继电器分别连接所述AD转换器的一个输出端,AD转换器的输入端连接有模拟输入引脚,用...
【专利技术属性】
技术研发人员:李光健,周航,
申请(专利权)人:北京北广科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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