The invention provides an ultra-hard wear-resistant ITO glass, which comprises a glass substrate, on which Si3N4 layer, ITO layer, transition layer and hydrophobic layer are arranged in turn. The ultra-hard wear-resistant ITO glass provided by the invention first coats a Si3N4 layer on the glass substrate before coating the ITO layer, which improves the adhesion of the ITO layer, sets a hydrophobic layer on the surface, improves the contact angle of the glass surface, thereby improving the sliding degree of the glass surface, adds a transition layer between the ITO layer and the hydrophobic layer, and improves the hardness, wear resistance and resistance of the glass. Acid-base corrosion resistance.
【技术实现步骤摘要】
一种超硬耐磨ITO玻璃
本专利技术涉及玻璃
,具体涉及一种超硬耐磨ITO玻璃。
技术介绍
ITO(氧化铟锡)是一种N型氧化物半导体,由于其优良的导电性能和透光性能,通常喷涂在玻璃、塑料及电子显示屏上,用作透明导电薄膜,同时能够减少对人体有害的电子辐射及紫外辐射、红外辐射。普通的ITO玻璃,直接将ITO镀在玻璃基板表面,ITO膜层直接与空气接触,由于ITO膜层的硬度低、耐磨性差、耐腐蚀性差,导致ITO膜层容易损坏,影响了其导电性能。为了解决这一问题,部分企业制作出一种ITO玻璃,先通过磁控溅射法溅射一层ITO膜层,然后在ITO膜层上再旋涂上一层疏水层,利用疏水层优良的疏水性能,保护ITO层。但是,利用旋转阴极溅射沉积ITO层和疏水层,旋转阴极容易破坏其真空环境,且需要将阴极不断旋转,制作出的ITO层凹凸不平,影响了ITO层的电学性能。另外由于疏水层一般为氟的化合物,其与ITO没有结合力,且耐磨性能和耐腐蚀性能较差,依然无法解决普通ITO玻璃的耐磨性差、耐腐蚀性差问题。
技术实现思路
针对以上问题,本专利技术提供一种超硬耐磨ITO玻璃,硬度高、耐磨性好、耐酸碱腐蚀性能好、导电性能优异。为实现上述目的,本专利技术通过以下技术方案来解决:一种超硬耐磨ITO玻璃,包括玻璃基板,所述玻璃基板上依次设置有Si3N4层、ITO层、过渡层、疏水层。具体的,所述过渡层为Si3N4、SiO2中的一种。具体的,所述过渡层的厚度为0.5~3nm。具体的,所述疏水层为聚四氟乙烯薄膜、乙烯-四氟乙烯共聚物薄膜中的一种。具体的,所述疏水层的厚度为10~20μm。具体的,所述Si3N4层 ...
【技术保护点】
1.一种超硬耐磨ITO玻璃,其特征在于,包括玻璃基板(1),所述玻璃基板(1)上依次设置有Si3N4层(2)、ITO层(3)、过渡层(4)、疏水层(5)。
【技术特征摘要】
1.一种超硬耐磨ITO玻璃,其特征在于,包括玻璃基板(1),所述玻璃基板(1)上依次设置有Si3N4层(2)、ITO层(3)、过渡层(4)、疏水层(5)。2.根据权利要求1所述的一种超硬耐磨ITO玻璃,其特征在于,所述过渡层(4)为Si3N4、SiO2中的一种。3.根据权利要求2所述的一种超硬耐磨ITO玻璃,其特征在于,所述过渡层(4)的厚度为0.5~3nm。4.根据权利要求1所述的一种超硬耐磨ITO玻璃,其特征在于,所述疏水层(5)为聚四氟乙烯薄膜、乙烯-四氟乙烯共聚物薄膜中的一种。5.根据权利要求4所述的一种超硬耐磨ITO玻璃,其特征在于,所述疏水层(5)的厚度为10~20μm。6.根据权利要求1所述的一种超硬耐磨ITO玻璃,其特征在于,所述Si3N4层(2)的厚度为5~10nm。7.根据权利要求1所述的一种超硬耐磨ITO玻璃,其特征在于,所述ITO层(3)的厚度为10~45nm。8.根据权利要求1~7任一所述的一种超硬耐磨ITO玻璃,其特征在于,所述超硬耐磨ITO玻璃的制备方法包括以下步骤:S1清洗玻璃基板(1),...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪剑飞,李飞,魏先钊,陈雄,梁兴敦,
申请(专利权)人:东莞市银泰丰光学科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。