一种晶圆热处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆热处理装置，属于半导体设备工装技术领域。其包括加热腔室（11）和排风系统，晶圆（20）放置在加热腔室（11）内，排风系统设置在加热腔室（11）的顶部，包括排气腔体（13）、排气孔（15）、排气接口（17），所述排气腔体（13）与加热腔室（11）构成密闭空间，还包括吸油纸/膜（40），所述吸油纸/膜（40）铺设在排气腔体（13）的下方，其通过连接件与排气腔体（13）的底部固定。该装置可以有效解决因为挥发物引起的油污滴胶问题，省时省力省成本，提高了生产力。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆热处理装置
本技术涉及一种晶圆热处理装置，尤其是作业过程中顶部存在油污滴胶的热处理装置的顶部结构，属于半导体设备工装

技术介绍
在半导体器件制造的光刻工艺流程中，晶圆的热处理是极其重要的工艺步骤。一般来说，在晶圆上涂布光阻之后、曝光工艺完成之后、及显影工艺完成之后，均需使用热板对晶圆进行热处理，热处理会对光阻的膜厚以及最终的关键尺寸产生很大的影响。在晶圆的热处理过程中，由于光阻内存在大量的溶剂，烘烤过程中溶剂会挥发出来，被热板顶部的排风系统抽离至厂务的主排风系统。但由于顶部排风系统常开状态，顶部为常温状态，烘烤中在短时间内会产生大量的挥发物，溶剂的挥发物在100℃左右，当挥发物遇到顶部常温顶板后便会凝结，排风系统无法将挥发物瞬时全部抽走，凝结液达到一定重量后成油污滴胶便会滴落至产品表面，引起沾污。同时，对于设备的清洁频次较高，在满产情况下，隔2天或3天就要对顶部进行清洁，费时费力，不利于生产力的提高。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述热板顶部的不足，提供一种防止油污滴胶污染产品、有效降低顶部清洁频次的晶圆热处理装置。本技术的目的是这样实现的：本技术提供了一种晶圆热处理装置，其包括加热腔室和排风系统，晶圆放置在加热腔室内，排风系统设置在加热腔室的顶部，包括排气腔体、排气孔Ⅰ、排气接口，所述排气腔体与加热腔室构成密闭空间，还包括吸油纸/膜，所述吸油纸/膜铺设在排气腔体的下方，其通过连接件与排气腔体的底部固定。可选地，所述连接件为螺钉Ⅰ，所述螺钉Ⅰ设置在晶圆的垂直空间之外，其向上将吸油纸/膜与排气腔体的底部固定。可选地，所述连接件为上磁条和下磁条，所述上磁条设置于排气腔体的下方的晶圆的垂直空间之外，并用窄扣条和螺钉Ⅱ固定在排气腔体的底部，所述下磁条向上压住吸油纸/膜。进一步地，所述下磁条用吸油纸/膜包裹，向上压住吸油纸/膜。本技术还提供了一种晶圆热处理装置，包括下加热腔室、上盖和排风系统，所述上盖设置于下加热腔室的上方，与下加热腔室构成密闭空间，晶圆放置在加热腔室内，排风系统设置在上盖的中央，包括排气孔Ⅱ以及排气管道，还包括吸油纸/膜、一油污滴胶阻挡板和支撑架，所述支撑架设置于上盖的左右两个侧壁，所述油污滴胶阻挡板搁置在支撑架上，所述吸油纸/膜铺设在油污滴胶阻挡板的下方，其通过连接件与油污滴胶阻挡板固定。可选地，所述支撑架是滑轨。可选地，所述支撑架是若干个凸块。可选地，所述连接件为螺钉Ⅲ，所述螺钉Ⅲ设置在晶圆的垂直空间之外。可选地，所述连接件为上磁条和下磁条，所述上磁条设置于油污滴胶阻挡板的上方的晶圆的垂直空间之外，所述下磁条向上压住吸油纸/膜。进一步地，所述下磁条用吸油纸/膜包裹，向上压住吸油纸/膜。有益效果本技术在晶圆热处理装置的顶部下方增设吸油纸/膜，可以有效解决因为挥发物引起的油污滴胶问题，只需要更换吸油纸/膜或作简单的擦拭，无需再进行繁复的清洁工作，大大降低了顶部清洁频次，省时省力省成本，提高了生产力。附图说明图1是本技术一种晶圆热处理装置实施例一的示意图；图2是图1的变形的示意图；图3是本技术一种晶圆热处理装置实施例二的示意图；图4是图3的变形的示意图；其中：加热腔室11排气腔体13排气孔Ⅰ15排气接口17晶圆20油污滴胶30吸油纸/膜40螺钉Ⅰ43螺钉Ⅱ442螺钉Ⅲ49下加热腔室18上盖12排气孔Ⅱ19支撑架47滴胶阻挡板72。具体实施方式为了详细阐述本专利技术的精神实质，帮助本领域技术人员切实、全面的理解本专利技术的完整技术方案，下面将结合实施例和附图对本技术的技术方案进行详细说明。实施例一晶圆热处理装置包括加热腔室11和排风系统。加热腔室11是上开口的扁平的圆筒体或方筒体，其在一个侧壁上开设有门，在晶圆被送入或送出腔体时打开，在工艺过程进行时保持关闭。加热腔室11的侧壁以及门都采用双层不锈钢材料，在两层不锈钢板之间夹有石棉。热板10不直接接触晶圆20，晶圆20被放置在支撑杆14上，主要通过热辐射方式对晶圆进行加热。排风系统设置在加热腔室11的顶部，包括排气腔体13、排气孔Ⅰ15、排气接口17。排气腔体13可相对加热腔室11左右移动，并通过滑轨16进出加热腔室11，保证在加热过程中装置的气密性。排气孔Ⅰ15设置在排气腔体13的下方，一般呈圆形开口，其连通加热腔室11的内部，允许加热腔室11内的气体通过排气孔Ⅰ15进入排气腔体13内，最终通过排气接口17连接至厂务的排气系统排出。在加热腔室11的顶部、排气腔体13的下方铺设若干层吸油纸/膜40，吸油纸/膜40通过螺钉Ⅰ43固定于排气腔体13的不锈钢板上。由于螺钉Ⅰ43上同样会凝聚油污滴胶，螺钉Ⅰ43必须设置在晶圆的垂直空间之外，如图1所示。或者，吸油纸/膜40通过磁条固定于排气腔体13的下方，上磁条44用窄扣条441和螺钉Ⅱ442固定在排气腔体13的不锈钢板上，下磁条45用单层吸油纸/膜47包裹，向上压住吸油纸/膜40。或者可以将磁条设置于排气腔体13的下方的晶圆的垂直空间之外，如图2所示。吸油纸/膜40对油烟具有很强的吸附能力，使用时，油污滴胶30被吸油纸/膜40吸收并锁住在油纸/膜40，不会滴落在下方的晶圆上，烟气从排气孔Ⅰ15排出，可以有效解决因为挥发物引起的油污滴胶问题。在吸油纸/膜40饱和时，呈现油亮色时，将其更换新的吸油纸/膜40即可，吸油膜的安全性能好，更换很便捷。实施例二晶圆热处理装置包括下加热腔室18、上盖12和排风系统。下加热腔室18是上开口的扁平的方筒体，其在一个侧壁上开设有门，在晶圆被送入或送出腔体时打开，在工艺过程进行时保持关闭。上盖12设置于下加热腔室18的上方，与下加热腔室18构成密闭空间。上盖12和下加热腔室18的各个侧壁以及门都采用双层不锈钢材料，在两层不锈钢板之间夹有石棉。热板10不直接接触晶圆20，晶圆20被放置在支撑杆14上，主要通过热辐射方式对晶圆进行加热。排风系统设置在上盖12的中央，包括排气孔Ⅱ19以及排气管道。排气孔Ⅱ19一般呈圆形开口，其连通上盖12与下加热腔室18构成密闭空间的内部，允许气体通过排气孔Ⅱ19进入排气管道最终连接至厂务的排气系统排出。在上盖12的左右两侧壁设置支撑架47，支撑架47是焊接或螺钉固定的若干个凸块，也可以是滑轨。一油污滴胶阻挡板72搁置在支撑架47上，其尺寸大于晶圆20的尺寸。油污滴胶阻挡板72与上盖12的侧壁之间留有间隙Ⅰ。油污滴胶阻挡板72是活动的，可以拉出或推入，便于取出并清洁。一般地，油污滴胶阻挡板72的材质为不锈钢板。油污滴胶阻挡板72的下方铺设若干层吸油纸/膜40，吸油纸/膜40通过螺钉Ⅲ49固定于油污滴胶阻挡板72。由于螺钉Ⅲ49上同样会凝聚油污滴胶，螺钉Ⅲ49必须设置在晶圆的垂直空间之外，如图3所示。或者，吸油纸/膜40通过磁条固定于油污滴胶阻挡板72的下方，可以将上磁条44和下磁条45设置于晶圆的垂直空间之外。或者下磁条45用单层吸油纸/膜包裹，配合上磁条44可以设置在任何需要的地方，向上压住吸油纸/膜40，如图4所示。使用时，油污滴胶30的一部分通过油污滴胶阻挡板72与上盖12的间隙Ⅰ顺着气流升，凝结在油污滴胶阻挡板72的上表面，通过使用无尘布蘸清洗剂进行简单擦拭，这部分油污滴胶30即可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆热处理装置，其包括加热腔室（11）和排风系统，晶圆（20）放置在加热腔室（11）内，排风系统设置在加热腔室（11）的顶部，包括排气腔体（13）、排气孔Ⅰ（15）、排气接口（17），所述排气腔体（13）与加热腔室（11）构成密闭空间，其特征在于，还包括吸油纸/膜（40），所述吸油纸/膜（40）铺设在排气腔体（13）的下方，其通过连接件与排气腔体（13）的底部固定。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆热处理装置，其包括加热腔室（11）和排风系统，晶圆（20）放置在加热腔室（11）内，排风系统设置在加热腔室（11）的顶部，包括排气腔体（13）、排气孔Ⅰ（15）、排气接口（17），所述排气腔体（13）与加热腔室（11）构成密闭空间，其特征在于，还包括吸油纸/膜（40），所述吸油纸/膜（40）铺设在排气腔体（13）的下方，其通过连接件与排气腔体（13）的底部固定。2.根据权利要求1所述的晶圆热处理装置，其特征在于，所述连接件为螺钉Ⅰ（41），所述螺钉Ⅰ（41）设置在晶圆（20）的垂直空间之外，其向上将吸油纸/膜（40）与排气腔体（13）的底部固定。3.根据权利要求1所述的晶圆热处理装置，其特征在于，所述连接件为上磁条（44）和下磁条（45），所述上磁条（44）设置于排气腔体（13）的下方的晶圆的垂直空间之外，并用窄扣条（441）和螺钉Ⅱ（442）固定在排气腔体（13）的底部，所述下磁条（45）向上压住吸油纸/膜（40）。4.根据权利要求3所述的晶圆热处理装置，其特征在于，所述下磁条（45）用吸油纸/膜包裹，向上压住吸油纸/膜（40）。5.一种晶圆热处理装置，包括下加热腔室（18）、上盖（12）和排风系统，所述上盖（12）设置于下加热腔室（18）的上方...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈文军，蒋建勇，龙欣江，赖志明，陈锦辉，
申请(专利权)人：江阴长电先进封装有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32