This application relates to a coating device. The coating device comprises a sequentially connected first buffer chamber, a vacuum evaporation chamber, a second buffer chamber, at least one first drive wheel group, a base plate support wheel group and at least one second drive wheel group. The first transmission wheel group is arranged in the first buffer chamber and is tangent to the wall of the first buffer chamber to form a seal for the first buffer chamber. The first transmission wheel set rotates to transmit the base plate to the sealed first buffer chamber. The base plate supporting wheel set is arranged in the vacuum evaporation chamber for carrying and supporting the transmission from the first buffer chamber to the second buffer chamber. The second transmission wheel set is arranged in the second buffer chamber and is tangent to the wall of the second buffer chamber to form a seal for the second buffer chamber. The coating device realizes the chamber seal of the substrate in the whole transmission process by setting the first transmission wheel group and the first buffer chamber wall seal, the second transmission wheel group and the second buffer chamber wall seal.
【技术实现步骤摘要】
镀膜装置
本申请涉及镀膜
,特别是涉及一种镀膜装置。
技术介绍
在真空环境中,将材料加热并镀到基板上称为真空蒸镀,或叫真空镀膜。蒸镀是将待镀基板置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面沉积的过程。在真空镀膜过程中,基板连续从外界环境经输入口进入镀膜装置蒸镀,蒸镀完成后再由输出口输出镀膜装置。基板连续运动由常压进入真空环境,会携带部分空气进入真空镀膜装置。目前在基板连续进入及输出镀膜装置时怎样保持镀膜装置内部的真空环境,是目前亟需解决的问题。
技术实现思路
基于此,有必要针对上述基板连续真空镀膜处理所存在的问题,提供一种镀膜装置。一种镀膜装置,用于基板连续镀膜。所述镀膜装置包括:顺次连通的第一缓冲室、真空蒸镀室、第二缓冲室、至少一个第一传动轮组、基板支撑轮组以及至少一个第二传动轮。所述第一传动轮组设置于所述第一缓冲室,至少一个所述第一传动轮组与所述第一缓冲室的内壁相切,且至少有两个切点。所述第一传动轮组将所述第一缓冲室与外界隔开,且将所述基板传送至所述第一缓冲室。所述基板支撑轮组设置于所述真空蒸镀室,用于支撑传输所述基板并使其在所述真空蒸镀室内均匀镀膜。所述第二传动轮组设置于所述第二缓冲室,至少一个所述第二传动轮组与所述第二缓冲室的内壁相切,且至少有两个切点。所述第二传动轮组将所述第二缓冲室与外界隔开,且将所述基板由第二缓冲室输出。在本公开的一个示例性实施例中,所述第一传动轮组包括两个第一传动轮。所述第一传动轮分别与所述第一缓冲室的至少一个内壁相切,且相切于第一切点。两个所述第一传动轮之间设有可供所述基板传输的缝隙,以夹持固定所述基板,所述第一传动轮 ...
【技术保护点】
1.一种镀膜装置,用于在基板(100)表面连续镀膜,其特征在于,包括:顺次连通的第一缓冲室(20)、真空蒸镀室(30)和第二缓冲室(40);以及至少一个第一传动轮组(50),设置于所述第一缓冲室(20),至少一个所述第一传动轮组(50)与所述第一缓冲室(20)的内壁相切,且至少有两个切点,所述第一传动轮组(50)将所述第一缓冲室(20)与外界隔开,且将所述基板(100)传送至所述第一缓冲室(20);基板支撑轮组(500),设置于所述真空蒸镀室(30),用于支撑传输所述基板(100)并使其在所述真空蒸镀室(30)内均匀镀膜;至少一个第二传动轮组(60),设置于所述第二缓冲室(40),至少一个所述第二传动轮组(60)与所述第二缓冲室(20)的内壁相切,且至少有两个切点,所述第二传动轮组(50)将所述第二缓冲室(20)与外界隔开,且将所述基板(100)由所述第二缓冲室(20)输出。
【技术特征摘要】
1.一种镀膜装置,用于在基板(100)表面连续镀膜,其特征在于,包括:顺次连通的第一缓冲室(20)、真空蒸镀室(30)和第二缓冲室(40);以及至少一个第一传动轮组(50),设置于所述第一缓冲室(20),至少一个所述第一传动轮组(50)与所述第一缓冲室(20)的内壁相切,且至少有两个切点,所述第一传动轮组(50)将所述第一缓冲室(20)与外界隔开,且将所述基板(100)传送至所述第一缓冲室(20);基板支撑轮组(500),设置于所述真空蒸镀室(30),用于支撑传输所述基板(100)并使其在所述真空蒸镀室(30)内均匀镀膜;至少一个第二传动轮组(60),设置于所述第二缓冲室(40),至少一个所述第二传动轮组(60)与所述第二缓冲室(20)的内壁相切,且至少有两个切点,所述第二传动轮组(50)将所述第二缓冲室(20)与外界隔开,且将所述基板(100)由所述第二缓冲室(20)输出。2.根据权利要求1所述的一种镀膜装置,其特征在于,所述第一传动轮组(50)包括两个第一传动轮(510);所述第一传动轮(510)分别与所述第一缓冲室(20)的至少一个内壁相切,且相切于第一切点(501);两个所述第一传动轮(510)之间设有可供所述基板(100)传输的缝隙,以夹持固定所述基板(100),所述第一传动轮(510)相背运动以将所述基板(100)传输至所述第一缓冲室(20)。3.如权利要求2所述的镀膜装置,其特征在于,所述第一缓冲室(20)的内壁包括前壁(211)和至少一个第一侧壁(212),所述第一侧壁(212)沿着所述基板(100)的运动方向延伸,所述第一切点(501)位于所述前壁(211)和/或所述第一侧壁(212)。4.如权利要求2或3所述的镀膜装置,其特征在于,所述第一传动轮(510)包括轮毂(511)和密封圈(512),所述密封圈(512)套设于所述轮毂(511)的表面。5.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述第二传动轮组(60)包括两个第二传动轮(610),每个所述第二传动轮(610)分别与所述第二缓冲室(20)的至少一个内壁相切,且相切于第三切点(601);两个所述第二传动轮(610)之间设有可供所述基板(100)传输的缝隙,以夹持固定所述基板(100),两个所述第二传动轮(610)相背运动,以将所述基板(100)由所述第二缓冲室(40)输出。6.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,还包括:至少一个第三传动轮组(70),所述第三传动轮组(70)设置于所述第一缓冲室(20),且位于所述第一传动轮组(50)与所述真空蒸镀室...
【专利技术属性】
技术研发人员:辛科,杨立红,
申请(专利权)人:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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