镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:20382945 阅读:78 留言:0更新日期:2019-02-20 00:04
本申请涉及一种镀膜装置。镀膜装置包括顺次连通的第一缓冲室、真空蒸镀室、第二缓冲室、至少一个第一传动轮组、基板支撑轮组以及至少一个第二传动轮组。第一传动轮组设置于第一缓冲室,且与第一缓冲室内壁相切以对第一缓冲室形成密封。第一传动轮组转动以将基板传输至密闭的第一缓冲室。基板支撑轮组设置于真空蒸镀室,用于承接并支撑由第一缓冲室传输至第二缓冲室。第二传动轮组设置于第二缓冲室且与第二缓冲室内壁相切以对第二缓冲室形成密封。镀膜装置通过设置第一传动轮组与第一缓冲室内壁密封、第二传动轮组与第二缓冲室内壁密封,实现了基板在整个传输过程中的腔室密封。

coating device

This application relates to a coating device. The coating device comprises a sequentially connected first buffer chamber, a vacuum evaporation chamber, a second buffer chamber, at least one first drive wheel group, a base plate support wheel group and at least one second drive wheel group. The first transmission wheel group is arranged in the first buffer chamber and is tangent to the wall of the first buffer chamber to form a seal for the first buffer chamber. The first transmission wheel set rotates to transmit the base plate to the sealed first buffer chamber. The base plate supporting wheel set is arranged in the vacuum evaporation chamber for carrying and supporting the transmission from the first buffer chamber to the second buffer chamber. The second transmission wheel set is arranged in the second buffer chamber and is tangent to the wall of the second buffer chamber to form a seal for the second buffer chamber. The coating device realizes the chamber seal of the substrate in the whole transmission process by setting the first transmission wheel group and the first buffer chamber wall seal, the second transmission wheel group and the second buffer chamber wall seal.

【技术实现步骤摘要】
镀膜装置
本申请涉及镀膜
,特别是涉及一种镀膜装置。
技术介绍
在真空环境中,将材料加热并镀到基板上称为真空蒸镀,或叫真空镀膜。蒸镀是将待镀基板置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面沉积的过程。在真空镀膜过程中,基板连续从外界环境经输入口进入镀膜装置蒸镀,蒸镀完成后再由输出口输出镀膜装置。基板连续运动由常压进入真空环境,会携带部分空气进入真空镀膜装置。目前在基板连续进入及输出镀膜装置时怎样保持镀膜装置内部的真空环境,是目前亟需解决的问题。
技术实现思路
基于此,有必要针对上述基板连续真空镀膜处理所存在的问题,提供一种镀膜装置。一种镀膜装置,用于基板连续镀膜。所述镀膜装置包括:顺次连通的第一缓冲室、真空蒸镀室、第二缓冲室、至少一个第一传动轮组、基板支撑轮组以及至少一个第二传动轮。所述第一传动轮组设置于所述第一缓冲室,至少一个所述第一传动轮组与所述第一缓冲室的内壁相切,且至少有两个切点。所述第一传动轮组将所述第一缓冲室与外界隔开,且将所述基板传送至所述第一缓冲室。所述基板支撑轮组设置于所述真空蒸镀室,用于支撑传输所述基板并使其在所述真空蒸镀室内均匀镀膜。所述第二传动轮组设置于所述第二缓冲室,至少一个所述第二传动轮组与所述第二缓冲室的内壁相切,且至少有两个切点。所述第二传动轮组将所述第二缓冲室与外界隔开,且将所述基板由第二缓冲室输出。在本公开的一个示例性实施例中,所述第一传动轮组包括两个第一传动轮。所述第一传动轮分别与所述第一缓冲室的至少一个内壁相切,且相切于第一切点。两个所述第一传动轮之间设有可供所述基板传输的缝隙,以夹持固定所述基板,所述第一传动轮相背运动以将所述基板传输至所述第一缓冲室。在本公开的一个示例性实施例中,所述第一缓冲室的内壁包括前壁和至少一个第一侧壁,所述第一侧壁沿着所述基板的运动方向延伸,所述第一切点位于所述前壁和/或所述第一侧壁。在本公开的一个示例性实施例中,所述第一传动轮包括轮毂和密封圈,所述密封圈套设于所述轮毂的表面。在本公开的一个示例性实施例中,所述第二传动轮组包括两个第二传动轮,每个所述第二传动轮分别与所述第二缓冲室的至少一个内壁相切,且相切于第三切点。传输时,两个所述第二传动轮与所述基板的两个表面相切,以夹持固定并伸展所述基板。在本公开的一个示例性实施例中,所述镀膜装置还包括至少一个第三传动轮组,所述第三传动轮组设置于所述第一缓冲室,且位于所述第一传动轮组与所述镀膜腔室之间。所述第三传动轮组用于支撑传输所述基板。所述第三传动轮组包括两个第三传动轮,两个所述第三传动轮之间设有可供所述基板通过的缝隙,以夹持固定所述基板。在本公开的一个示例性实施例中,每个所述第三传动轮分别与所述第一侧壁相切,以将所述第三传动轮组与所述真空蒸镀室之间的第一缓冲室部分分隔为多个相邻的子腔室。在本公开的一个示例性实施例中,所述真空蒸镀室还包括依次设置的催化蒸镀室、镀膜蒸镀室和表面处理室。所述催化蒸镀室与所述第一缓冲室连接,所述表面处理室与所述第二缓冲室相连,所述催化蒸镀室、所述镀膜蒸镀室和所述表面处理室位于所述基板的同一侧,依次对所述基板进行镀膜处理。在本公开的一个优先的实施例中,所述真空蒸镀室还包括加热装置。所述加热装置设于所述基板的与所述催化蒸镀室、所述镀膜蒸镀室和所述表面处理室相对的一侧。在本公开的一个示例性实施例中,所述加热装置包括依次设置的第一加热区、第二加热区和第三加热区。所述第一加热区与所述催化蒸镀室相对设置,所述第二加热区与所述镀膜蒸镀室相对设置,所述第三加热区与所述表面处理室相对设置。在本公开的一个示例性实施例中,所述镀膜装置还包括放卷装置、第一导向装置、第二导向装置和收卷装置。所述放卷装置和所述第一导向装置依次设置于所述第一缓冲室远离所述第二缓冲室的一侧,所述放卷装置释放的所述基板通过所述第一导向装置进入所述第一缓冲室。所述第二导向装置和所述收卷装置依次设置于所述第二缓冲室远离所述第一缓冲室的一侧,所述收卷装置用以收纳经过所述第二导向装置的镀膜处理后的所述基板。在本公开的一个示例性实施例中,所述镀膜装置还包括冷却室,设置于所述真空蒸镀室与所述第二缓冲室之间,用于冷却由所述真空蒸镀室输出的所述基板。本申请提供一种镀膜装置,所述镀膜装置设置至少一个所述第一传动轮组、所述基板支撑轮组以及至少一个所述第二传动轮组。所述第一传动轮组与所述第一缓冲室的内壁相切,且至少有两个切点,这样,所述第一传动轮组将所述第一缓冲室空间与外界隔开,阻止空气沿所述第一缓冲室的内壁进入所述第一缓冲室。设置于所述真空蒸镀室的基板支撑轮组,用于支撑传输所述基板并使其在所述真空蒸镀室内均匀镀膜。所述第二传动轮组设置于所述第二缓冲室且与所述第二缓冲室内壁相切以对所述第二缓冲室形成密封。所述镀膜装置通过设置所述第一传动轮组与所述第一缓冲室内壁密封、所述第二传动轮组与所述第二缓冲室内壁密封,实现了所述基板整个传输过程中的腔室密封。附图说明图1为本申请一个实施例中提供的镀膜装置的结构示意图;图2为本申请一个实施例中提供的第一缓冲室的局部结构示意图;图3为本申请一个实施例中提供的第二缓冲室的局部结构示意图。附图标号说明:镀膜装置10基板100放卷装置110第一导向装置120收卷装置130第二导向装置140第一缓冲室20第一入口201第一出口202子腔室210前壁211第一侧壁212真空蒸镀室30蒸镀入口301蒸镀出口302催化蒸镀室310镀膜蒸镀室320表面处理室330第二缓冲室40第二入口401第二出口402后壁411第二侧壁412第一传动轮组50基板支撑轮组500第一切点501第二切点502第一传动轮510轮毂511密封圈512第二传动轮组60第三切点601第四切点602第二传动轮610第三传动轮组70第五切点701第六切点702第三传动轮710加热装置80第一加热区810第二加热区820第三加热区830冷却室90具体实施方式为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本申请进行进一步详细说明。应当理解,此处描述的具体实施例仅用以解释本申请,并不用于限定本申请。请参见图1,本申请实施例提供一种镀膜装置10。所述镀膜装置10用于基板100连续镀膜。所述镀膜装置10包括:顺次连通的第一缓冲室20、真空蒸镀室30、第二缓冲室40,至少一个第一传动轮组50、基板支撑轮组500以及至少一个第二传动轮组60。所述第一传动轮组50设置于所述第一缓冲室20,至少一个所述第一传动轮组50与所述第一缓冲室20的内壁相切,且至少有两个切点,所述第一传动轮组50将所述第一缓冲室20与外界隔开,且将所述基板100传送至所述第一缓冲室20。所述基板支撑轮组500设置于所述真空蒸镀室30,用于支撑传输所述基板100并使其在所述真空蒸镀室30内均匀镀膜。所述第二传动轮组60设置于所述第二缓冲室40,至少一个所述第二传动轮组60与所述第二缓冲室20的内壁相切,且至少有两个切点,所述第二传动轮组50将所述第二缓冲室20与外界隔开,且将所述基板100由所述第二缓冲室20输出。本申请提供一种镀膜装置10,所述镀膜装置10设置至少一个所述第一传动轮组50、所述基板支撑轮组500以及至少一个所述第二传动轮组60。所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜装置,用于在基板(100)表面连续镀膜,其特征在于,包括:顺次连通的第一缓冲室(20)、真空蒸镀室(30)和第二缓冲室(40);以及至少一个第一传动轮组(50),设置于所述第一缓冲室(20),至少一个所述第一传动轮组(50)与所述第一缓冲室(20)的内壁相切,且至少有两个切点,所述第一传动轮组(50)将所述第一缓冲室(20)与外界隔开,且将所述基板(100)传送至所述第一缓冲室(20);基板支撑轮组(500),设置于所述真空蒸镀室(30),用于支撑传输所述基板(100)并使其在所述真空蒸镀室(30)内均匀镀膜;至少一个第二传动轮组(60),设置于所述第二缓冲室(40),至少一个所述第二传动轮组(60)与所述第二缓冲室(20)的内壁相切,且至少有两个切点,所述第二传动轮组(50)将所述第二缓冲室(20)与外界隔开,且将所述基板(100)由所述第二缓冲室(20)输出。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜装置,用于在基板(100)表面连续镀膜,其特征在于,包括:顺次连通的第一缓冲室(20)、真空蒸镀室(30)和第二缓冲室(40);以及至少一个第一传动轮组(50),设置于所述第一缓冲室(20),至少一个所述第一传动轮组(50)与所述第一缓冲室(20)的内壁相切,且至少有两个切点,所述第一传动轮组(50)将所述第一缓冲室(20)与外界隔开,且将所述基板(100)传送至所述第一缓冲室(20);基板支撑轮组(500),设置于所述真空蒸镀室(30),用于支撑传输所述基板(100)并使其在所述真空蒸镀室(30)内均匀镀膜;至少一个第二传动轮组(60),设置于所述第二缓冲室(40),至少一个所述第二传动轮组(60)与所述第二缓冲室(20)的内壁相切,且至少有两个切点,所述第二传动轮组(50)将所述第二缓冲室(20)与外界隔开,且将所述基板(100)由所述第二缓冲室(20)输出。2.根据权利要求1所述的一种镀膜装置,其特征在于,所述第一传动轮组(50)包括两个第一传动轮(510);所述第一传动轮(510)分别与所述第一缓冲室(20)的至少一个内壁相切,且相切于第一切点(501);两个所述第一传动轮(510)之间设有可供所述基板(100)传输的缝隙,以夹持固定所述基板(100),所述第一传动轮(510)相背运动以将所述基板(100)传输至所述第一缓冲室(20)。3.如权利要求2所述的镀膜装置,其特征在于,所述第一缓冲室(20)的内壁包括前壁(211)和至少一个第一侧壁(212),所述第一侧壁(212)沿着所述基板(100)的运动方向延伸,所述第一切点(501)位于所述前壁(211)和/或所述第一侧壁(212)。4.如权利要求2或3所述的镀膜装置,其特征在于,所述第一传动轮(510)包括轮毂(511)和密封圈(512),所述密封圈(512)套设于所述轮毂(511)的表面。5.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述第二传动轮组(60)包括两个第二传动轮(610),每个所述第二传动轮(610)分别与所述第二缓冲室(20)的至少一个内壁相切,且相切于第三切点(601);两个所述第二传动轮(610)之间设有可供所述基板(100)传输的缝隙,以夹持固定所述基板(100),两个所述第二传动轮(610)相背运动,以将所述基板(100)由所述第二缓冲室(40)输出。6.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,还包括:至少一个第三传动轮组(70),所述第三传动轮组(70)设置于所述第一缓冲室(20),且位于所述第一传动轮组(50)与所述真空蒸镀室...

【专利技术属性】
技术研发人员:辛科杨立红
申请(专利权)人:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
类型:发明
国别省市:北京,11

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