【技术实现步骤摘要】
用于测试晶体硅体少子寿命的硅片表面处理装置
本技术涉及光伏
,尤其涉及一种用于测试晶体硅体少子寿命的硅片表面处理装置。
技术介绍
少数载流子寿命(简称少子寿命)是半导体晶体硅材料的一项重要参数,它对半导体器件性能、晶体硅太阳能电池的光电转换效率都有重要的影响。当载流子连续产生时,在太阳能电池中,寿命决定了电子和空穴的稳定数量,这些数量决定了器件产生的电压,因此,要求使用的硅材料的晶体硅体少子寿命应该尽可能高。由于不可避免地存在表面复合,硅片绝对体少子寿命通常很难得到。现有的晶体硅体少子寿命的测试方法主要有化学钝化法,也就是对硅片进行少子寿命测试之前,先使用钝化液对硅片进行表面处理,该表面处理具体为利用氟化氢溶液去除硅片表面氧化物、利用醌氢醌溶液对硅片表面钝化,从而尽可能的消除表面复合,使测试结果最大限度地接近硅片的绝对体少子寿命。然而,在对硅片进行表面处理的现有操作中,实验员通常借助酸液滴液管、量筒等简单仪器配制钝化液,不仅操作繁琐,且基于氟化氢溶液的强腐蚀性,需要实验员佩戴防护设备,极不方便。更进一步地,在使用钝化液对硅片进行表面处理时,由于仪器简单,实验员要么需要仔细观察谨慎操作方能控制钝化液中的成分配比参数达到理想值;要么只能凭借自己的操作经验,粗略配制钝化液,而无法准确控制钝化液的成分配比参数,造成不同两次表面处理操作中钝化液的参数很难实现一致性,从而影响测试结果。因此,亟需一种能够更好地测试晶体硅体少子寿命的硅片表面处理装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于测试晶体硅体少子寿命的硅片表面处理装置,以至少解决上述技术问题的其中之一。为 ...
【技术保护点】
1.一种用于测试晶体硅体少子寿命的硅片表面处理装置,其特征在于,所述表面处理装置包括第一溶液盛放槽、第二溶液盛放槽、混合槽、连通所述第一溶液盛放槽和所述混合槽的第一输送通道、连通所述第二溶液盛放槽和所述混合槽的第二输送通道、设置于所述第一输送通道处的第一阀以及设置于所述第二输送通道处的第二阀;所述第一溶液盛放槽的底端位于所述混合槽上方以使其内部的第一溶液可在重力作用下自动流向所述混合槽,所述第一阀可控地开启或闭合以导通或切断所述第一输送通道;所述第二溶液盛放槽的底端位于所述混合槽上方以使其内部的第二溶液可在重力作用下自动流向所述混合槽,所述第二阀可控地开启或闭合以导通或切断所述第二输送通道;所述混合槽用于将来自于所述第一溶液盛放槽的第一溶液和来自于所述第二溶液盛放槽的第二溶液混合成用于对硅片去除氧化物及钝化的钝化液。
【技术特征摘要】
1.一种用于测试晶体硅体少子寿命的硅片表面处理装置,其特征在于,所述表面处理装置包括第一溶液盛放槽、第二溶液盛放槽、混合槽、连通所述第一溶液盛放槽和所述混合槽的第一输送通道、连通所述第二溶液盛放槽和所述混合槽的第二输送通道、设置于所述第一输送通道处的第一阀以及设置于所述第二输送通道处的第二阀;所述第一溶液盛放槽的底端位于所述混合槽上方以使其内部的第一溶液可在重力作用下自动流向所述混合槽,所述第一阀可控地开启或闭合以导通或切断所述第一输送通道;所述第二溶液盛放槽的底端位于所述混合槽上方以使其内部的第二溶液可在重力作用下自动流向所述混合槽,所述第二阀可控地开启或闭合以导通或切断所述第二输送通道;所述混合槽用于将来自于所述第一溶液盛放槽的第一溶液和来自于所述第二溶液盛放槽的第二溶液混合成用于对硅片去除氧化物及钝化的钝化液。2.根据权利要求1所述的用于测试晶体硅体少子寿命的硅片表面处理装置,其特征在于,所述第一阀和所述第二阀均设置为流量阀,所述表面处理装置还包括控制器,所述控制器与所述第一阀、所述第二阀分别相连接以用于控制所述第一阀、所述第二阀开启或闭合。3.根据权利要求1所述的用于测试晶体硅体少子寿命的硅片表面处理装置,其特征在于,所述第二输送通道的出口端处的横截面积与所述第一输送通道的出口端处的横截面积的比值为S2:S1;在竖直方向上,所述第二溶液盛放槽与所述第一溶液盛放槽的等深位置处的横截面积比值为R2:R1;其中,S2:S1与R2:R1相同且均满足所述第二溶液和所述第一溶液配制钝化液时的目标配比。4.根据权利要求3所述的用于测试晶体硅体少子寿命的硅片表面处理装置,其特征在于,所述表面处理装置还包括连通所述第二溶液盛放槽和所述混合槽的两个第五输送通道以及设置于所述第五输送通道处的第五阀,所述第五阀可控地开启或闭合以导通或切断所述第五输送通道;其中,其一所述第五输送通道的出口端处的横截面积与所述第一输送通道的出口端处的横截面积的比值为S3:S1大于S2:S1,另一所述第五输送通道的出口端处的横截面积与所述第一输送通道的出口端处的横截面积的比值为S3:S1小于S2:S1。5.根据权利要求4所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:李栋,王钰雅,
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,阿特斯阳光电力集团有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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