一种触控感应器及一种触控显示面板制造技术

本发明专利技术公开了一种触控感应器，包括呈三明治结构的导电网格层，该导电网格层包括朝向基板的第一黑化层、背向基板的第二黑化层、位于第一黑化层和第二黑化层之间的导电层。其中第一黑化层为氧化钼中添加有质量分数为3％‑5％的钽；第二黑化层为氧化钼中添加有质量分数为5％‑8％的钽；导电层为铜中添加有质量分数为15％‑20％的钽。在制备导电网格层时，会从第二黑化层方向依次刻蚀上述膜层；在上述膜层中掺杂不同浓度的钽，可以保证在制备导电网格层的过程中第一黑化层、第二黑化层、导电层的侧蚀量基本相同，从而可以使触控感应器具有较高的良品率。本发明专利技术实施例还提供了一种触控显示面板，同样具有上述有益效果。

【技术实现步骤摘要】
一种触控感应器及一种触控显示面板
本专利技术涉及触控
，特别是涉及一种触控感应器及一种触控显示面板。
技术介绍
随着近年来科技不断的进步以及触控显示产品行业的发展，触控感应器无论是从尺寸还是性能等方面都取得了极大的进展。相应的，用户对于触控产品的细节，外观等具有了更高的要求。近年来，金属网格(metalmesh)类触控感应器凭借其低电阻、一体化、制程简单的优势在市场中越来越受到关注。现阶段，在金属网格中主要起导电作用的导电层通常是以铜、铝等为主要材料。但是以金属为材料的导电层的反射率很高，会使得金属网格的线条明显。在现有技术中，为了降低导电层的反射率，通常会在导电层的两个表面分别设置两层黑化层，以降低金属网格层的反射率，使得金属网格的线条具有较低的可视性。但是在现有技术中，刻蚀得到的金属网格通常存在刻蚀不良，线条锯齿，异色等不良情况，使得触控感应器具有较低的良品率。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种触控感应器，具有较高的良品率；本专利技术的另一目的在于提供一种触控显示面板，具有较高的良品率。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种触控感应器，包括基板、位于所述基板表面的触控感应层；其中，所述触控感应层包括导电网格层；所述导电网格层包括朝向所述基板的第一黑化层、背向所述基板的第二黑化层、以及位于所述第一黑化层和所述第二黑化层之间的导电层；所述第一黑化层包括以下质量分数的组分：质量分数为95％-97％的氧化钼、质量分数为3％-5％的钽；所述第二黑化层包括以下质量分数的组分：质量分数为92％-95％的氧化钼、质量分数为5％-8％的钽；所述导电层包括以下质量分数的组分：质量分数为80％-85％的铜、质量分数为15％-20％的钽。可选的，所述第一黑化层的厚度的取值范围为45nm至50nm，包括端点值；所述第二黑化层的厚度的取值范围为45nm至50nm，包括端点值；所述导电层的厚度的取值范围为160nm至250nm，包括端点值。可选的，所述触控感应层包括相对设置的两个所述导电网格层，两个所述导电网格层之间设置有第一绝缘层；一所述导电网格层位于所述基板表面，另一所述导电网格层位于所述第一绝缘层背向所述基板一侧表面。可选的，所述触控感应层还包括位于另一所述导电网格层背向所述基板一侧表面的第二绝缘层。可选的，所述触控感应器还包括：位于所述第二绝缘层背向所述基板一侧表面的盖板。可选的，所述盖板为钢化玻璃盖板。可选的，所述触控感应层位于所述基板表面的可视区域；所述触控感应器还包括位于所述基板表面非可视区域的油墨层。可选的，所述油墨层为黑色油墨层。可选的，所述基板为玻璃基板。本专利技术还提供了一种触控显示面板，包括显示屏和如上述任一项所述的触控感应器。本专利技术所提供的一种触控感应器，包括基板和位于基板表面的触控感应层，该触控感应层包括呈三明治结构的导电网格层，该导电网格层包括朝向基板的第一黑化层、背向基板的第二黑化层、以及位于第一黑化层和第二黑化层之间的导电层。其中，第一黑化层为氧化钼中添加有质量分数为3％-5％的钽；第二黑化层为氧化钼中添加有质量分数为5％-8％的钽；导电层为铜中添加有质量分数为15％-20％的钽。在制备导电网格层时，通常是在一次刻蚀工艺中，从第二黑化层方向依次刻蚀第二黑化层、导电层以及第一黑化层；而钽具有很好的抗腐蚀性，在第一黑化层、第二黑化层以及导电层中掺杂不同浓度的钽，可以保证在制备导电网格层的过程中，第一黑化层、第二黑化层以及导电层的侧蚀量基本相同，从而避免了在刻蚀构成导电网格层的导电线时，各膜层侧蚀量不同的情况，从而可以有效避免刻蚀不良，线条锯齿，异色等不良情况，使得触控感应器具有较高的良品率。本专利技术实施例还提供了一种触控显示面板，同样具有上述有益效果，在此不再进行赘述。附图说明为了更清楚的说明本专利技术实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例所提供的一种触控感应器的结构示意图；图2为图1中导电网格层的结构示意图；图3为本专利技术实施例所提供的一种具体的触控感应器的结构示意图。图中：1.基板、2.触控感应层、21.导电网格层、211.第一黑化层、212.第二黑化层、213.导电层、22.第一绝缘层、23.第二绝缘层、3.油墨层、4.盖板。具体实施方式本专利技术的核心是提供一种触控感应器。在现有技术中，构成导电网格层的导电线通常为呈三明治型的三层结构，其中位于中间的为导电层，而位于两侧的为黑化层。在现有技术中，通常是在一次刻蚀工艺中，一次刻蚀上述呈三明治型的各个膜层而制备出导电网格层。在刻蚀过程中，经常会出现黑化层以及导电层侧蚀量不一致的情况，例如若黑化层的侧蚀量大于导电层的侧蚀量，容易暴露出导电层，从而产生异色的情况；若黑化层的侧蚀量明显小于导电层的侧蚀量，在保证导电网格层一定的线宽线距时，容易发生导电线断裂、刻蚀不良，线条锯齿等情况，即当黑化层与导电层的侧蚀量不一致时，易使得触控感应器具有较低的良品率。而本专利技术所提供的一种触控感应器，包括基板和位于基板表面的触控感应层，该触控感应层包括呈三明治结构的导电网格层，该导电网格层包括朝向基板的第一黑化层、背向基板的第二黑化层、以及位于第一黑化层和第二黑化层之间的导电层。其中，第一黑化层为氧化钼中添加有质量分数为3％-5％的钽；第二黑化层为氧化钼中添加有质量分数为5％-8％的钽；导电层为铜中添加有质量分数为15％-20％的钽。在制备导电网格层时，通常是在一次刻蚀工艺中，从第二黑化层方向依次刻蚀第二黑化层、导电层以及第一黑化层；而钽具有很好的抗腐蚀性，在第一黑化层、第二黑化层以及导电层中掺杂不同浓度的钽，可以保证在制备导电网格层的过程中，第一黑化层、第二黑化层以及导电层的侧蚀量基本相同，从而避免了在刻蚀构成导电网格层的导电线时，各膜层侧蚀量不同的情况，从而可以有效避免刻蚀不良，线条锯齿，异色等不良情况，使得触控感应器具有较高的良品率。为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参考图1以及图2，图1为本专利技术实施例所提供的一种触控感应器的结构示意图；图2为图1中导电网格层的结构示意图。参见图1，在本专利技术实施例中，所述触控感应器包括基板1、位于所述基板1表面的触控感应层2；其中，所述触控感应层2包括导电网格层21；所述导电网格层21包括朝向所述基板1的第一黑化层211、背向所述基板1的第二黑化层212、以及位于所述第一黑化层211和所述第二黑化层212之间的导电层213；所述第一黑化层211包括以下质量分数的组分：质量分数为95％-97％的氧化钼、质量分数为3％-5％的钽；所述第二黑化层212包括以下质量分数的组分：质量分数为92％-95％的氧化钼、质量分数为5％-8％的钽；所述导电层213包括以下质量分数的组分：质量分数为80％-8本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种触控感应器，其特征在于，包括基板、位于所述基板表面的触控感应层；其中，所述触控感应层包括导电网格层；所述导电网格层包括朝向所述基板的第一黑化层、背向所述基板的第二黑化层、以及位于所述第一黑化层和所述第二黑化层之间的导电层；所述第一黑化层包括以下质量分数的组分：质量分数为95％‑97％的氧化钼、质量分数为3％‑5％的钽；所述第二黑化层包括以下质量分数的组分：质量分数为92％‑95％的氧化钼、质量分数为5％‑8％的钽；所述导电层包括以下质量分数的组分：质量分数为80％‑85％的铜、质量分数为15％‑20％的钽。

【技术特征摘要】
1.一种触控感应器，其特征在于，包括基板、位于所述基板表面的触控感应层；其中，所述触控感应层包括导电网格层；所述导电网格层包括朝向所述基板的第一黑化层、背向所述基板的第二黑化层、以及位于所述第一黑化层和所述第二黑化层之间的导电层；所述第一黑化层包括以下质量分数的组分：质量分数为95％-97％的氧化钼、质量分数为3％-5％的钽；所述第二黑化层包括以下质量分数的组分：质量分数为92％-95％的氧化钼、质量分数为5％-8％的钽；所述导电层包括以下质量分数的组分：质量分数为80％-85％的铜、质量分数为15％-20％的钽。2.根据权利要求1所述的触控感应器，其特征在于，所述第一黑化层的厚度的取值范围为45nm至50nm，包括端点值；所述第二黑化层的厚度的取值范围为45nm至50nm，包括端点值；所述导电层的厚度的取值范围为160nm至250nm，包括端点值。3.根据权利要求1所述的触控感应器，其特征在于，所述触控感应层包括相对设置的两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘威，吴德生，
申请(专利权)人：信利光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44