管泵制造技术

一种管泵，包括金属制的泵壳体(21)和柔性管(23)，通过供给至驱动室(25)的间接介质，泵室(24)膨胀或收缩。树脂制的环状块(26)嵌合于柔性管(23)的端部的内侧，树脂制的凸缘(31)焊接于柔性管(23)的端部的外侧。金属制的紧固环(34)通过螺纹部件(35)紧固于泵壳体(21)，凸缘(31)在泵壳体(21)和紧固环(34)之间被施加压缩力。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】管泵
本技术涉及用于将液体涂布于被涂布物的管泵。
技术介绍
用于将光致抗蚀剂液等液体涂布于作为被涂布物的半导体晶片的泵包括管泵。管泵是使柔性管的弹性变形部在径向上膨胀收缩而进行泵动作的泵，也被称为管式隔膜泵。这种类型的泵具有泵壳体和装入其内部的柔性管，并且泵壳体的内部被柔性管的弹性变形部划分为内侧泵室和外侧的驱动室。当将由非压缩性流体构成的间接介质供给至驱动室时，弹性变形部收缩。另一方面，通过从驱动室排出间接介质，弹性变形部膨胀。在使用这样的柔性管的泵中，在弹性变形部收缩时，对柔性管的两端部施加将其拉向泵壳体内的方向的力。因此，需要将柔性管的两端部牢固地紧固于泵壳体。在专利文献1所描述的管泵中，在筒体的端部设有锥形状的嵌合面，柔性管的端部通过适配器紧固于嵌合面。专利文献2所描述的药液供给装置具有紧固部件，柔性管的端部被夹在紧固部件和泵壳体之间，通过将楔部件压入设于紧固部件的锥形状的槽，将柔性管的端部紧固于泵壳体。另外，专利文献3公开了一种液体喷出装置，该液体喷出装置具有配置于外壳容器的内部的橡胶管和配置于橡胶管的内侧的硅管，硅管被紧固于端部件的小径部和安装于端部件的套环之间。现有技术文献专利文献专利文献1：特开平11-117872号公报专利文献2：特开2010-38007号公报专利文献3：特开平9-303267号公报
技术实现思路
技术要解决的技术问题当增大从柔性管内的泵室排出的液体的排出压力、或提高排出容量时，在柔性管的弹性变形部收缩时，会对柔性管的两端部施加将其拉向泵壳体的内部的方向的大的力。因此，在像现有的泵那样通过施加径向的紧固力而将柔性管的端部紧固于泵壳体的构造中，无法提高柔性管的紧固力。因此，无法增大从泵室的液体的排出压力、或提高排出容量。进而，为对柔性管的端部施加径向的紧固力，像现有技术那样，必须将楔部件压入紧固部件的槽、或将用于紧固柔性管的端部的套环紧固于端部件，用于紧固柔性管的构造变得复杂。本技术的目的在于，提供可以将柔性管的端部牢固地紧固于泵壳体的简单构造的管泵。用于解决技术问题的方案本技术的管泵包括：金属制的泵壳体和柔性管，所述柔性管装入所述泵壳体内并分隔出内侧的泵室和外侧的驱动室，通过供给至所述驱动室的非压缩性的间接介质，所述泵室膨胀或收缩，所述管泵具有：树脂制的环状块，嵌合于所述柔性管的端部的内侧；树脂制的凸缘，焊接于所述柔性管的端部的外侧，并安装于设于所述泵壳体的端部的安装孔，所述柔性管的端部被夹在所述凸缘与所述环状块之间；以及金属制的紧固环，通过螺纹部件而被紧固于所述泵壳体，所述紧固环在与设于所述泵壳体的抵接面之间对所述凸缘施加中心轴方向的压缩力。在本技术的管泵中，所述管泵具有：环状突起，从与所述驱动室相接的所述凸缘的端面向中心轴方向内侧突出；嵌合孔，设于所述泵壳体的端部、且直径比所述安装孔小；以及金属制的辅助环，配置于所述环状突起的内周面，由所述金属制的辅助环和所述泵壳体对所述环状突起施加径向的压缩力。在本技术的管泵中，所述柔性管具有从所述凸缘的端面向所述驱动室的外部突出的突出端部，在由所述凸缘的端面和所述柔性管的所述突出端部的外周面所形成的角部设有焊接部。在本技术的管泵中，装配于所述泵壳体之前的所述凸缘的中心轴方向长度比所述凸缘的端面进行抵接的所述泵壳体的所述抵接面与所述泵壳体的端面之间的中心轴方向长度更长。在本技术的管泵中，在所述抵接面上设有咬入所述凸缘的爪部。在本技术的管泵中，在所述环状块上设有定位用的突部，并在所述紧固环上设有与所述定位用的突部抵接的止动件。在本技术的管泵中，在所述凸缘的内周面上设有咬入所述柔性管的外周面的突起。技术效果柔性管的两端部被夹在环状块和凸缘之间，并且柔性管被焊接于凸缘而与凸缘一体化。因此，即使因柔性管的弹性变形部在径向上弹性变形而对柔性管的两端部施加将其拉向泵壳体内的方向的大的力，两端部也不会从环状块和凸缘之间偏移。通过将柔性管焊接于凸缘，从而紧固柔性管的两端部的构造变得简单，并且管泵可以成为简单的构造。由于树脂制的凸缘以被夹在金属制的泵壳体和金属制的紧固环之间的方式被紧固，从而凸缘由于紧固力而弹性变形，可以提高间接介质与液体的密封性。附图说明图1是示出作为一实施方式的管泵的主视图。图2是图1的右视图。图3是图1及图2所示的泵单元的流出侧和流入侧的局部省略放大截面图。图4是示出组装完成前的泵单元的一端部的放大截面图。图5是示出作为另一实施方式的泵单元11的一端部的放大截面图。具体实施方式下面，基于附图对本技术的实施方式进行详细说明。如图1及图2所示，管泵10包括泵单元11和驱动单元12。在泵单元11上设有流入侧的接头13a和流出侧的接头13b。管泵10以流入侧的接头13a朝下、流出侧的接头13b朝上的方式安装于未图示的支承台上。收容抗蚀剂液等液体的液体容器14通过流入侧的流路15与流入侧的接头13a连接。将液体涂布于被涂布物的涂布器16通过流出侧的流路17与流出侧的接头13b连接。当通过驱动单元12驱动了泵单元11时，液体容器14内的液体向涂布器16供给。为了允许液体从液体容器14向泵单元11流动而阻止反方向的流动，在流入侧的流路15设有逆止阀18。为了允许液体从泵单元11向涂布器16流动而阻止反方向的流动，在流出侧的流路17设有逆止阀19。如图3所示，泵单元11具有金属制的泵壳体21。在泵壳体21上设有两个安装孔29和一个贯通孔22。安装孔29和贯通孔22的横截面为圆形。安装孔29设置为在泵壳体21的相对的两端面开口。贯通孔22具有比安装孔29小的内径，并贯通两端部的安装孔29之间。两个安装孔29的中心轴与贯通孔22的中心轴相同。贯通孔22和安装孔29之间的高低差成为与安装孔29以及贯通孔22的中心轴垂直的环状的抵接面30。在中心轴方向的位置关系上，将离贯通孔22的中心轴方向中央近的一方设为中心轴的轴向内侧，将离贯通孔22的中心轴方向中央远的一方设为中心轴的轴向外侧。在图3所示的泵单元11的流出侧，流出侧接头13b为轴向外侧，贯通孔22为轴向内侧。同样地，在图3所示的泵单元11的流入侧，流入侧接头13a为轴向外侧，贯通孔22为轴向内侧。由氟树脂形成的柔性管23装入贯通孔22中。贯通孔22被分隔成柔性管23内侧的泵室24和柔性管23外侧的驱动室25。当向驱动室25供给由液体等非压缩性流体构成的间接介质时，柔性管23向内侧方向变形，泵室24收缩，当从驱动室25排出间接介质时，柔性管23向外侧方向变形，泵室24膨胀。以这种方式，通过供给至驱动室25的非压缩性的间接介质，使泵室24膨胀或收缩。树脂制的环状块26嵌合于柔性管23的两端部的内侧。与泵室24连通的连通孔27在环状块26的外侧端部、即中心轴的轴向外侧的端部设于径向中心部，在环状块26上设有从环状块26的内侧端部、即中心轴的轴向内侧的端部朝向连通孔27而内径逐渐变小的锥面28。树脂制的环状的凸缘31分别配置于上下两侧的安装孔29，凸缘31与安装孔29之间由密封件32密封。各个凸缘31焊接于柔性管23的两端部的外表面。在柔性管23的两端部设有从凸缘31的中心轴方向外侧端面向驱动室25的外部突出的突出端部23b。通过凸缘31的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管泵，包括：金属制的泵壳体和柔性管，所述柔性管装入所述泵壳体内并分隔出内侧的泵室和外侧的驱动室，通过供给至所述驱动室的非压缩性的间接介质，所述泵室膨胀或收缩，所述管泵其特征在于，所述管泵具有：树脂制的环状块，嵌合于所述柔性管的端部的内侧；树脂制的凸缘，焊接于所述柔性管的端部的外侧，并安装于设于所述泵壳体的端部的安装孔，所述柔性管的端部被夹在所述凸缘与所述环状块之间；以及金属制的紧固环，通过螺纹部件而被紧固于所述泵壳体，所述紧固环在与设于所述泵壳体的抵接面之间对所述凸缘施加中心轴方向的压缩力。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.05 JP 2016-1332101.一种管泵，包括：金属制的泵壳体和柔性管，所述柔性管装入所述泵壳体内并分隔出内侧的泵室和外侧的驱动室，通过供给至所述驱动室的非压缩性的间接介质，所述泵室膨胀或收缩，所述管泵其特征在于，所述管泵具有：树脂制的环状块，嵌合于所述柔性管的端部的内侧；树脂制的凸缘，焊接于所述柔性管的端部的外侧，并安装于设于所述泵壳体的端部的安装孔，所述柔性管的端部被夹在所述凸缘与所述环状块之间；以及金属制的紧固环，通过螺纹部件而被紧固于所述泵壳体，所述紧固环在与设于所述泵壳体的抵接面之间对所述凸缘施加中心轴方向的压缩力。2.根据权利要求1所述的管泵，其特征在于，所述管泵具有：环状突起，从与所述驱动室相接的所述凸缘的端面向中心轴方向内侧突出；嵌合孔，设于所述泵壳体的端部、且直径比所述安装孔小...

【专利技术属性】
技术研发人员：村冈裕之，
申请(专利权)人：株式会社小金井，
类型：新型
国别省市：日本,JP