【技术实现步骤摘要】
一种超高温高真空管式热处理系统
本技术属于热处理设备、具体涉及一种超高温高真空管式热处理系统。
技术介绍
目前,现有的超高温高真空管式热处理系统都是分散型的,如真空系统是外接的,电控系统的独立的,无集成,占地面积大，操作维护都不便。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种超高温高真空管式热处理系统，集成度高，便于操作和维护。为了解决上述技术问题，本技术采用如下的技术方案：一种超高温高真空管式热处理系统，包括电控系统、设于电控系统上的热处理系统、分设于电控系统两侧的真空系统和供气系统，热处理系统包括加热炉体、设于加热炉体内的数层氧化铝保温层、横向贯穿加热炉体的真空管；真空系统包括依次连接的前级机械泵和分子泵，分子泵与真空管一端相连；供气系统包括依次连接的质量流量控制仪和混气罐，质量流量控制仪分别与多个气源相连，混气罐连接至真空管。所述氧化铝保温层为呈阶梯式的内外三层。所述分子泵通过挡板阀与真空管一端相连。所述混气罐与真空管连接处位于挡板阀与真空管一端之间。所述电控系统包括触摸控制屏、真空检测仪表、分子泵启动仪表、质量流量控制仪表。所述加热炉体顶部还设有报警灯。所述真空管为刚玉管。采用本技术的一种超高温高真空管式热处理系统，具有一下几个优点：1、通过将多个系统集成为一台整机，占地面积小、布置合理，操作维护方便。2、采用阶梯式的内外三层氧化铝保温层，使得保温层之间连接更紧致，保温效果更佳。3、采用质量流量控制仪，能够根据工艺要求，精确控制工艺中所进各气体的比例。4、通过挡板阀，能够对进气与抽真空进行有效切换。附图说明下面结合附图和具体实施方式本技术进行详细说明...
【技术保护点】
1.一种超高温高真空管式热处理系统，其特征在于：包括电控系统、设于电控系统上的热处理系统、分设于电控系统两侧的真空系统和供气系统，热处理系统包括加热炉体、设于加热炉体内的数层氧化铝保温层、横向贯穿加热炉体的真空管；真空系统包括依次连接的前级机械泵和分子泵，分子泵与真空管一端相连；供气系统包括依次连接的质量流量控制仪和混气罐，质量流量控制仪分别与多个气源相连，混气罐连接至真空管。
【技术特征摘要】
1.一种超高温高真空管式热处理系统，其特征在于：包括电控系统、设于电控系统上的热处理系统、分设于电控系统两侧的真空系统和供气系统，热处理系统包括加热炉体、设于加热炉体内的数层氧化铝保温层、横向贯穿加热炉体的真空管；真空系统包括依次连接的前级机械泵和分子泵，分子泵与真空管一端相连；供气系统包括依次连接的质量流量控制仪和混气罐，质量流量控制仪分别与多个气源相连，混气罐连接至真空管。2.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统，其特征在于：所述氧化铝保温层为呈阶梯式的内外三层。3.根据权利要求1所述的一种超高温...
【专利技术属性】
技术研发人员：凤旭，徐晓伟，周佳崎，
申请(专利权)人：上海微行炉业有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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